8 mau noi maʻamau o nā ʻāpana Granite Precision i nā lako Semiconductor

I loko o ka ʻoihana semiconductor, kahi i kapa ʻia ai ka "nanometer" ke ana maʻamau o ke ana ʻana, ʻaʻole hiki ke kūkākūkā ʻia ke kūpaʻa o nā lako. I ka emi ʻana o nā kikowaena chip i 5nm a ma ʻō aku, ua piʻi ka noi no ka damping vibration a me ke kūpaʻa wela i nā pae kiʻekiʻe loa. Ua hoʻololi ʻia nā ʻāpana granite precision mai kahi koho kiʻekiʻe i ka "DNA" koʻikoʻi o nā lako hana semiconductor.

Ma ke ʻano he mea hoʻolako alakaʻi i nā hale hana paʻa kiʻekiʻe, kālailai ʻo ZHHIMG® i nā noi koʻikoʻi ʻewalu kahi i lilo ai ka granite i meʻe leo ʻole o ka fab.

1. Nā Kumu Mīkini Lithography

ʻO ka mīkini lithography ka ʻāpana lako paʻakikī loa i loko o ke kaulahao semiconductor. Pono ke kumu e kākoʻo i nā ʻōnaehana optical nui me ka noho mālie loa. ʻO ke kiʻekiʻe o ka mānoanoa o Granite a me ka damping kūloko e ʻae iā ia e omo i nā micro-vibrations mai ke kaiapuni a puni, e hōʻoiaʻiʻo ana e noho kūlike ke kumu kukui ma ka pae atomika.

2. Nā Pae Neʻe o ka Ea Bearing

Pono ka lawe ʻana i ka wafer wikiwiki i ka neʻe ʻana me ka ʻole o ka friction. No ka mea hiki ke hoʻopili ʻia ka granite i ka palahalaha sub-micron, lawelawe ia ma ke ʻano he hoa kūpono no ka ʻenehana ea. Hoʻohele ka "cushion air" ma luna o ka ʻili granite me ka ʻole o ke komo ʻana, e hāʻawi ana i ka neʻe ultra-smooth e pono ai no ka scan a me ke kau ʻana.

3. Nā Paepae Nānā Wafer & Metrology

Ma hope o ke kālai ʻia ʻana, pono e nānā ʻia nā wafers no nā kīnā. ʻO kēlā me kēia hoʻonui wela i loko o ka mōlina mīkini e hopena i kahi "maikaʻi wahaheʻe" a i ʻole kahi kīnā i hala.Nā ʻāpana granite kikoʻīe hoʻolako i kahi ʻano inert thermally, e hōʻoiaʻiʻo ana he ʻano maoli ka ʻikepili nānā ʻana o ka ʻili o ka wafer, ʻaʻole ka distortion o ka mīkini.

4. Nā ʻōnaehana neʻe Gantry (Nā ʻōnaehana alahaka)

I ke kālai ʻana i ka wikiwiki a i ʻole ka hoʻopaʻa ʻana i ka uea, pono e neʻe wikiwiki ka "alahaka" a i ʻole ka gantry me ka ʻole o ka haʻalulu. Hāʻawi kahi gantry granite i kahi lakio paʻa-i-ka-nui maikaʻi loa i hoʻohālikelike ʻia me ka hao i hoʻolei ʻia, e hōʻemi nui ana i ka "manawa hoʻonohonoho" - ka manawa e pono ai ka mīkini e kali no ka pau ʻana o nā haʻalulu ma mua o ka hiki ke hana i kāna hana aʻe.

5. Nā Mōlina Lako Hana Hoʻoponopono Laser

Ke loaʻa kahi kīnā ma kahi pale maka a i ʻole wafer, hoʻohana ʻia nā lasers no ka hoʻoponopono pololei. Pono kēia i kahi kahua kūkulu i piha ʻole i ka magnetic a me ka conductive. He mea hoʻokaʻawale kūlohelohe ka Granite, e pale ana i ka hoʻopilikia electromagnetic mai ka hoʻopilikia ʻana i ke ala laser akahai.

6. CMM (Nā Mīkini Ana Hoʻohui) no nā Lumi Maʻemaʻe

Pono ka kaohi maikaʻi i loko o ka hale semiconductor i nā CMM e hiki ke kū i nā protocols lumi maʻemaʻe paʻa. ʻAʻole e like me ka metala, hiki ke hoʻokahe i nā ʻāpana a i ʻole ka oxidize, he kūpaʻa ka granite i ka waikawa a me ka pale ʻana i ka popo, e mālama ana i kahi ʻano lako paʻa kiʻekiʻe me ka ʻole o ka hoʻohaumia ʻana i ke kaiapuni.

7. Nā Kumu Hoʻopili Kemika Mekanika (CMP)

Hoʻokomo ka hana CMP i ka slurry a me nā mea kemika e ʻānai loa i nā metala. ʻO ke kūpaʻa kemika kūlohelohe o Granite e lilo ia i mea kūpono no ke kumu hoʻonohonoho o nā ʻāpana polishing, e hōʻoiaʻiʻo ana i kahi ola lawelawe lōʻihi ʻoiai ma nā wahi kemika ʻino.

8. Nā ʻōnaehana hoʻokomo ʻana o ka ion

Pono nā wahi uila kiʻekiʻe i loko o nā mea hoʻokomo ion i nā ʻāpana e hoʻopilikia ʻole i nā kukuna ion a i ʻole e hana i ka arcing uila. ʻO nā waiwai dielectric o Granite e lilo ia i koho palekana a paʻa no ke kau ʻana i nā ʻāpana uila a me nā ʻāpana vacuum koʻikoʻi.

No ke aha ʻo ZHHIMG® no ke kahua Semiconductor?

Ma ZHHIMG®, maopopo iā mākou he ʻoi aku ka nui o ke kumu lako semiconductor ma mua o kahi ʻāpana pōhaku wale nō—he mea hana i hoʻoponopono ʻia. ʻO kā mākou granite ʻeleʻele kūikawā, i hui pū ʻia me kā mākou 30+ mau makahiki o ka ʻike wili lima, e hiki ai iā mākou ke hoʻokō i nā pae pālahalaha a me nā parallelism e hoʻokō ai i nā koi koʻikoʻi o ka wā sub-micron.

• Mea Hana: ʻO ka granite ʻeleʻele ZHHIMG® kiʻekiʻe ka paʻa, ʻano lahilahi loa.

• Pololei: Nā māka pololei e like me ka DIN 876 Papa 00 a i ʻole nā ​​​​kikoʻī JIS/ASME maʻamau.

• Hoʻopilikino: Ua hoʻokomo mua ʻia nā mea hoʻokomo i hoʻohui ʻia, nā T-slots, a me nā ala ea-bearing i loko o kā mākou mau hale hana mahana mau 10,000m².