He hoʻololi i ka pololei o ka ʻoki ʻana i ka wafer! Pehea e mālama ai i kahi kūlana ± 5um no kahi kumu pōhaku?

I ke kaua hope loa o ka "nanoprecision" i ka hana semiconductor, ʻo ka hapa iki o ka ʻoki ʻoki wafer hiki ke hoʻololi i kahi puʻupuʻu i ʻōpala. ʻO ke kumu granite ka hero unsung e hoʻomalu i ka ± 5um repeat positioning pololei, kākau hou i nā lula o ka hana pololei me kāna mau mea kupanaha maoli ʻekolu.

ʻO ka "hoʻokūpaʻa heleuma" e kūʻē i ka deformation wela: ʻO ka coefficient o ka hoʻonui wela o ka granite he haʻahaʻa e like me 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, ʻo ia wale nō ka hapakolu o nā mea metala. Ma lalo o ka hopena wela i hana ʻia e ka hana kiʻekiʻe o ka ʻoki ʻoki wafer, e hoʻololi ʻia nā mea maʻamau ma muli o ka hoʻonui ʻana o ka wela a me ka ʻoki ʻana, e hoʻololi i ke kūlana o ke poʻo ʻoki. Eia nō naʻe, hiki i ke kumu granite ke "hoʻoneʻe ʻole", me ka hoʻopau ʻana i ka hoʻololi ʻana i ke kūlana i hoʻokumu ʻia e ka thermal deformation a kau i kahi kumu paʻa no ka pololei.

ʻO ka "pale mālie" o ka haʻalulu haʻalulu: ʻO ka leo mau o nā mea mīkini a me ka haʻalulu mau o nā mea hana i loko o ka hale hana hiki ke manaʻo ʻia he "pepehi make" i ka pololei. ʻO ke ʻano aniani o ka granite e like me ka mea hoʻoheheʻe haʻalulu maoli, hiki ke hoʻololi wikiwiki i nā haʻalulu o waho a me nā haʻalulu mechanical i hana ʻia e nā mea hana i ka ikehu wela no ka hoʻopau ʻana. ʻOiai ʻo nā kumu ʻē aʻe e "ʻoluʻolu" ana ma muli o ka haʻalulu, ua hana ke kumu granite i kahi kahua paʻa no ke poʻo ʻoki ʻole e neʻe ʻole, e hiki ai i ka ± 5um pololei.

Corrosion-resistant "Eternal Fortress" : Hoʻopiha ʻia nā hale hana Semiconductor i nā mea ʻino e like me nā etching solutions a me nā mea hoʻomaʻemaʻe wai a me ka alkali. I loko o ia ʻano kaiapuni, ʻeleʻele a deform nā kumu metala. ʻO Granite, me kona kūpaʻa paʻa kemika, ʻaʻole ia e pane me kēia mau mea kemika. ʻAʻole i ka nui o nā makahiki i hoʻohana ʻia, hiki iā ia ke mālama i ka kūpaʻa o ke kūkulu ʻana a hoʻomau mau i ka ʻoki ʻoki kiʻekiʻe.

Mai ke talena waiwai a hiki i ka hana ultra-precision, ua hōʻike ke kumu granite me kona ikaika ʻaʻole hiki i nā mea āpau ke hoʻokō i nā pilikia paʻakikī o ka hana semiconductor. Ma muli o kēia mau pono kūlohelohe hiki ʻole ke hoʻololi ʻia ua lilo nā kumu granite i kī no nā mea ʻoki wafer e hoʻokō ai i ka pololei o ka hoʻonohonoho ʻana o ± 5um, a ua hoʻoikaika hou i ka ʻoihana semiconductor e neʻe mau i ka pololei kiʻekiʻe!