ʻO ka paepae granite, ma ke ʻano he mea kuhikuhi no ke ana pololei a me ka hana ʻana, ʻo kona mālama pololei ʻana e pili pono i ka maikaʻi o ka hana. Hāʻawi kēia i kahi hoʻolālā mālama ʻōnaehana e uhi ana i ka mālama ʻana i ke kaiapuni, mālama i kēlā me kēia lā a me ka calibration ʻoihana e hōʻoia i ka mālama ʻana o ka paepae i ka pololei o ka nanometer-level no ka manawa lōʻihi.
1. Mana Kaiapuni: E kūkulu i kahi pale pale pololei
Hoʻoponopono i ka mahana a me ka haʻahaʻa
Pono e hoʻopaʻa ʻia ka mahana o ka hana ma 20±1 ℃. ʻO kēlā me kēia 1 ℃ fluctuation e hoʻololi i ka wela o ka paepae granite ma 0.5-1μm / m. Hiki ke hoʻokomo ʻia kahi ʻōnaehana wela mau i loko o ka hale hana no ka pale ʻana i nā puka makani ea mai ka puhi pololei ʻana i ka paepae.
Pono e mālama ʻia ka haʻahaʻa ma waena o 40% a 60%. Hiki i ka ha'aha'a ha'aha'a ke ho'opilikia i ka uila i ke ana.
Kaʻawale haʻalulu
Pono e mālama ʻia ka paepae mai nā kumu haʻalulu e like me nā mīkini stamping a me nā mīkini wili. Manaʻo ʻia e mālama i kahi mamao ma mua o 3 mau mika mai nā mea uila.
Inā ʻaʻole hiki ke pale ʻia ka haʻalulu, hiki ke hoʻokomo ʻia nā mea hoʻoheheʻe puna wai ma lalo o ke kahua e hōʻemi i ka hopena o ka haʻalulu o ke kaiapuni ma ka palahalaha o ka paepae (hiki ke hōʻemi i ka haʻalulu o waho ma mua o 80%).
2. Ka mālama ʻana i kēlā me kēia lā: ʻO ka mālama pono ʻana mai ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka pale
Kūlana hoʻomaʻemaʻe ʻili
Wehe i ka lepo: E holoi i ka ʻili me ka ʻili deers a i ʻole ka lole lint-free ma ka ʻaoʻao like i kēlā me kēia lā e pale aku i nā ʻāpana lepo (≥5μm) mai ka haki ʻana i ka paepae. Hiki ke holoi mālie ʻia nā ʻili paʻakikī me ka ethanol anhydrous (ka maʻemaʻe ≥99.7%). ʻAʻole pono e hoʻohana i nā solvents ikaika e like me ka acetone.
Degreasing: Inā pili ia me nā ʻaila hinu, e holoi me kahi mea hoʻomaʻemaʻe kūʻokoʻa i hoʻoheheʻe ʻia, a laila holoi me ka wai deionized a maloʻo ka ea e pale ai i ka ʻaila mineral mai ke komo ʻana i nā pores liʻiliʻi o ka paepae.
Ka hoʻouka a me ka pale kuʻi
Pono e hoʻomalu ʻia ka mana haʻahaʻa o ka paepae i loko o 70% o ka ukana i helu ʻia (no ka laʻana, no kahi kahua 1000kg, ʻōlelo ʻia ʻo ≤700kg ka ukana) e pale i ka deformation mau loa i hoʻokumu ʻia e ka overload kūloko.
Ua kapu loa ia e hahau i na mea hana ma ka anuu. I ka lawelawe ʻana i nā mea hana, e hoʻokomo i nā mīkina lima palupalu e pale ai i nā mea ʻoi mai ka ʻoki ʻana i ka ʻili (ʻo nā ʻōpala me ka hohonu ʻoi aku ma mua o 20μm e pili i ke ana o ke ala māmā i ʻike ʻia).
3. ʻOihana Calibration: ʻO ke kumu o ka mālama pono ʻana i ka ʻepekema
Hoʻonohonoho pōʻaiapuni calibration
Nā hiʻohiʻona hoʻohana maʻamau: Hoʻopololei i hoʻokahi hapaha a hoʻohana i ka interferometer laser e ʻike i ka palahalaha (me ka pololei o ± 0.5μm/m).
ʻO ka hoʻohana pinepine ʻana a i ʻole nā ʻano ʻino: Ka hoʻoponopono ʻana i kēlā me kēia mahina, me ka nānā ʻana i ka nānā ʻana i nā wahi pili wela (e like me ka lihi o ka paepae kokoke i nā kumu wela).
ʻO ka hana hope-calibration
Inā ʻike ʻia ka hoʻokaʻawale ʻana o ka palahalaha (e like me > ± 1μm/m), pono e hoʻopaʻa ʻia a hoʻoponopono ʻia e ka ʻenehana loea e hoʻohana ana i ka micro-powder W1.5. Ua kapu loa ka wili ana ia ia iho me ka pepa.
Ma hope o ka calibration, pono e hoʻopaʻa ʻia ka ʻikepili a hoʻopaʻa ʻia, a pono e hoʻokumu ʻia kahi pihi attenuation pololei o ka paepae e wānana i nā koi mālama ma mua.
4. Ka mālama ʻana a me ka lawe ʻana: E pale i ka poho pololei huna
Nā mea nui no ka mālama lōʻihi
I ka wā e mālama ai, pono e uhi ʻia me kahi uhi pale lepo. Pono e kākoʻo ʻia ka lalo e nā helu ʻekolu ( aia ke kiko kākoʻo ma 2/9 o ka lōʻihi o ka paepae) i mea e pale ai i ka deformation kulou i hana ʻia e ka umekaumaha (hiki i kahi paepae 1-mika ke sag e 0.3μm ma muli o ke kākoʻo hoʻokahi-point lōʻihi).
E hoʻoneʻe i ke kūlana o nā wahi kākoʻo o ka paepae i kēlā me kēia manawa (i kēlā me kēia mahina) e pale aku i ke kaomi kūloko lōʻihi.
Hoʻolālā palekana kaʻa
ʻO ka lawe ʻana i kahi mamao pōkole: E uhi ʻia me ka ʻūhā hoʻohāhā, e hoʻoponopono i loko o kahi kiʻi paʻa, a mālama i ka wikiwiki i loko o 2g.
Kaʻa kaʻa lōʻihi: Pono e hoʻopiha ʻia me ka nitrogen maloʻo. Ma hope o ka hōʻea ʻana, pono e waiho ʻia e kū no 24 mau hola a hiki i ka equilibrium ma mua o ka wehe ʻana i mea e pale ai i ka wai condensation mai ka hoʻopilikia ʻana i ka pololei.
5. Manaʻo hewa: Nā ʻenehana no ka ʻike ʻana i nā pilikia mua
Nānā maka: E nānā mau i ka ʻili me ke aniani hoʻonui 40x. Inā ʻike ʻia nā ʻōpala mau a i ʻole ka emi ʻana o ka ʻōlinolino, hōʻike paha ia i ka emi ʻana o ka pololei.
ʻIke leo: E kaomi mālie i ka paepae. Inā haʻahaʻa ke kani (ʻo ka mea maʻamau he leo akaka), aia paha nā micro-cracks i loko. E kāpae koke i ka hoʻohana ʻana no ka ʻike.
Ma o kēia pūnaewele mālama, hiki i ka ZHHIMG® granite platform ke mālama i kahi pālahalaha o ± 1μm / m no nā makahiki 10,ʻoi aku iʻoi aku ma mua oʻekolu manawa iʻoi aku ka lōʻihi o ke ola pololei o nā paepae i mālamaʻoleʻia. Ua hōʻoia ka hoʻomaʻamaʻa ma hope o ka hoʻohana ʻana o kekahi hale hana semiconductor i kēia hopena, ua hoʻemi ʻia ka pinepine o ka calibration platform e 50%, a ua mālama ʻia ke kumukūʻai mālama makahiki ma mua o 150,000 yuan.
Ka manawa hoʻouna: Jun-18-2025