I ke ao o ka hana ʻenehana kiʻekiʻe, kahi e emi ana nā nui o nā hiʻohiʻona i loko o ke aupuni nanometer, ʻo ka hilinaʻi o ka kaohi maikaʻi e hilinaʻi piha ana i ka pololei a me ke kūpaʻa o nā mea ana. ʻO ke kikoʻī, ʻo ka Automatic Line Width Measuring Equipment—he mea hana kihi i ka semiconductor, microelectronics, a me ka hana hōʻike pālahalaha—pono e hana me ka hilinaʻi piha. ʻOiai ʻo nā optics holomua a me nā algorithms wikiwiki e hana i ke ana hana, ʻo ia ke kumu hana passive, akā koʻikoʻi, e kuhikuhi ana i ka palena hana hope loa o ka ʻōnaehana. ʻO kēia kumu pinepine ka Automatic Line Width Measuring Equipment.kumu mīkini granitea me kāna ʻākoakoa granite lako hana ana laulā laina aunoa.
ʻAʻole he hoʻoholo maʻalahi ke koho ʻana i nā mea kūkulu; he kauoha ʻenekinia ia. Ma nā hoʻonā koʻikoʻi e pono ai no ke ana ʻana i ka laulā o ka laina, lilo nā mea pili i ke kaiapuni i mea liʻiliʻi ʻole i ke ola o kēlā me kēia lā i mau kumu hewa weliweli. Hiki i nā mea e like me ka thermal drift, ka ambient vibration, a me ke kolo ʻana o ke kūkulu ke hoʻokuke maʻalahi i nā ana ma waho o nā ʻae ʻia. ʻO kēia pilikia ke kumu e huli nui ai nā ʻenekinia kikoʻī i ka granite kūlohelohe e kūkulu i nā ʻāpana koʻikoʻi loa o kā lākou lako metrology.
ʻO ke Kino o ka Precision: No ke aha i ʻoi aku ai ka Granite ma mua o ka Metala
I mea e maopopo ai i ka pono o ke kumu mīkini granite o ka lako hana ana i ka laulā laina aunoa, pono kekahi e mahalo i ke ʻano physics e hoʻomalu ana i ke ana ʻana me ka pololei kiʻekiʻe. ʻO ka pololei kahi hana o ke kūpaʻa o ka mōlina kuhikuhi. Pono ke kumu e hōʻoia i ka paʻa ʻana o ke kūlana pili ma waena o ke sensor (kāmela, laser, a i ʻole probe) a me ka specimen i ka wā o ke kaʻina hana ana, a pinepine i nā milliseconds wale nō.
1. He mea nui ka paʻa wela: ʻO nā metala e like me ke kila a me ka alumini he mau alakaʻi wela kūpono a loaʻa iā lākou nā Coefficients of Thermal Expansion (CTE) kiʻekiʻe. ʻO ke ʻano kēia e wela koke lākou, e hoʻomaʻalili koke, a loli nui ka nui me nā loli liʻiliʻi o ka mahana. ʻO ka loli ʻana o kekahi mau kekelē wale nō e alakaʻi i nā loli dimensional i loko o kahi ʻano metala e ʻoi aku ma mua o ka waihona hewa i ʻae ʻia no ke ana ʻana o ka sub-micron.
ʻO ka Granite, ʻoi aku hoʻi ka granite ʻeleʻele kiʻekiʻe, hāʻawi i kahi hopena maikaʻi loa. ʻO kona CTE he ʻelima a ʻumi manawa ka haʻahaʻa ma mua o nā metala maʻamau. ʻO kēia wikiwiki hoʻonui haʻahaʻa ke ʻano o ka hui granite o nā lako hana ana laulā laina Automatic e mālama i kona kūpaʻa geometrical ʻoiai ke loli iki ka mahana o ka hale hana a i ʻole ke hoʻoulu nā ʻāpana kūloko i ka wela. Hāʻawi kēia inertia thermal kūikawā i ka paʻa lōʻihi e pono ai no ka metrology hiki ke hana hou ʻia a hilinaʻi hoʻi, i kēlā me kēia lā.
2. Hoʻopau i ka haʻalulu no ka moakāka: ʻO ka haʻalulu, inā paha e hoʻouna ʻia ma o ka papahele hale hana a i hana ʻia e nā pae neʻe ponoʻī o ka mīkini a me nā mea hoʻoluʻu, ʻo ia ka ʻenemi o ke kiʻi kiʻekiʻe a me ke kūlana. Inā haʻalulu ke poʻo ana a i ʻole ke kahua i ka wā o ka hopu ʻana i ka ʻike maka, e palalulu ke kiʻi, a e hoʻopilikia ʻia ka ʻikepili kūlana.
Hāʻawi ka ʻōnaehana kristal kūloko o ka Granite i nā waiwai damping maikaʻi loa i hoʻohālikelike ʻia me ka hao i hoʻolei ʻia a i ʻole ke kila. Hoʻopili ia a hoʻopuehu koke i ka ikehu mechanical, e pale ana i nā haʻalulu mai ka laha ʻana ma o ka hale a me ke keakea ʻana i ke ana. ʻO kēia kumu damping kiʻekiʻe e ʻae i ka hale granite e hāʻawi i kahi kahua mālie a paʻa, e hiki ai ke wikiwiki i ka throughput me ka mālama ʻana i nā kūlana pololei paʻa loa.
ʻEnekinia ʻana i ka ʻAha Granite: Ma ʻō aku o kahi Poloka wale nō
ʻOi aku ka hoʻohana ʻana i ka granite ma mua o kahi kahua maʻalahi; hoʻopuni ia i ka ʻākoakoa granite o nā lako ana laulā laina aunoa. Hoʻokomo pinepine kēia i ke kumu mīkini, nā kolamu kū pololei, a, i kekahi mau hihia, nā hale alahaka a i ʻole nā hale gantry. ʻAʻole wale kēia mau ʻāpana he mau pōhaku i ʻoki ʻia; he mau ʻāpana i hana ʻia me ka ʻenehana kiʻekiʻe loa, pololei loa.
Ke Hoʻokō ʻana i ka Pālahalaha Sub-Micron: He hana noʻeau a he ʻepekema ke kaʻina hana o ka hoʻololi ʻana i ka granite maka i loko o kahi ʻāpana metrology-grade. Hoʻokomo ʻia ka mea i nā ʻano hana wili kūikawā, lapping, a me ka polishing e hiki ai ke hoʻokō i ka pālahalaha o ka ʻili a me ka pololei i ana ʻia ma nā hapa o ka micrometer. He mea koʻikoʻi kēia ʻili pālahalaha loa no nā ʻōnaehana hoʻomalu neʻe hou, e like me nā pae ea-bearing, e lana ana ma luna o kahi ʻili lahilahi o ka ea a koi i kahi ʻili kuhikuhi planar kokoke i ka maikaʻi loa e hoʻokō ai i ka neʻe ʻana me ka frictionless a pololei loa.
ʻO ke kūpaʻa o ke kumu mīkini granite nui o ka lako hana ana laulā laina Automatic kekahi mea nui ʻaʻole hiki ke kūkākūkā ʻia. Hōʻoia ka paʻa e kūʻē ke ʻano i ka deflection ma lalo o nā mana ikaika o nā motika linear wikiwiki a me ke kaumaha o ka pūʻolo optics. ʻO kēlā me kēia deflection hiki ke ana ʻia e hoʻokomo i nā hewa geometric, e like me ka non-squareness ma waena o nā axes, kahi e hoʻopilikia pololei ai i ka pololei o ke ana.
Hoʻohui a me ka Waiwai Lōʻihi
ʻO ka hoʻoholo ʻana e hoʻohana i kahi kahua granite he hoʻopukapuka kālā koʻikoʻi lōʻihi ia i ka hana a me ke ola o nā lako. ʻO kahi mīkini i hoʻopaʻa ʻia e kahi kahua granite lako ana laina laina paʻa, ʻaʻole ia e hoʻoponopono i nā pilikia i ka hala ʻana o ka manawa a mālama i kona geometry i hoʻoponopono ʻia e ka hale hana no nā makahiki, e hōʻemi ana i ke alapine a me ka paʻakikī o nā pōʻaiapuni hoʻoponopono hou.
I ka ʻākoakoa holomua, pono e hoʻopili ʻia nā ʻāpana hoʻonohonoho pololei, e like me nā mea hoʻokomo wili, nā pine dowel, a me nā alahao linear, i loko o ka hale granite. Pono kēia kaʻina hana i nā ʻenehana hoʻopaʻa akamai e hōʻoia i ka paʻa o ka mea ma waena o ka mea paʻa metala a me ka granite a ʻaʻole e hoʻokomo i ke kaumaha kūloko a i ʻole ka mismatch thermal. No laila, lilo ka ʻākoakoa granite o nā lako ana laina laina Automatic holoʻokoʻa i hoʻokahi ʻano hoʻokahi i hoʻolālā ʻia no ka paʻakikī kiʻekiʻe a me ka palekana o ke kaiapuni.
I ka hoʻoikaika ʻana o nā mea hana no nā hua kiʻekiʻe a me nā kikoʻī paʻa—e koi ana i ka pololei o ke ana ʻana e kūlike me ka hiki ke hana—e hohonu wale ana ka hilinaʻi ʻana i nā waiwai mechanical kūloko o ka granite. Hōʻike ka Automatic Line Width Measuring Equipment i ka piko o ka metrology ʻoihana, a ʻo kona kahua paʻa, ke kumu granite, e noho mau ana ke kiaʻi mālie e hōʻoiaʻiʻo ana i kēlā me kēia ana i lawe ʻia he hōʻike maoli a pololei o ka maikaʻi o ka huahana. ʻO ka hoʻopukapuka kālā ʻana i kahi kahua granite kiʻekiʻe, he hoʻopukapuka kālā ia i ka maopopo loa o ke ana ʻana.
Ka manawa hoʻouna: Dec-03-2025