Hoʻokaʻawale i ka "pōhaku ikaika" ma hope o ka hana semiconductor - Pehea e hiki ai i nā ʻāpana kikoʻī granite ke hoʻololi hou i ka palena pololei o ka hana ʻana i ka chip

ʻO ka Precision Revolution i ka hana semiconductor: Ke hui ka granite i ka ʻenehana micron
1.1 Nā mea i manaʻo ʻole ʻia i ka ʻepekema waiwai
Wahi a ka 2023 SEMI International Semiconductor Association hōʻike, 63% o nā mea holomua holomua o ka honua ua hoʻomaka e hoʻohana i nā kumu granite ma mua o nā paepae metala kuʻuna. ʻO kēia pōhaku maoli, ka mea i hoʻokumu ʻia mai ka condensation pelemaka i loko o ka Honua, ke kākau hou nei i ka mōʻaukala o ka hana semiconductor ma muli o kāna mau waiwai kino.

ʻO ka pōmaikaʻi inertia thermal: ʻo ka nui o ka hoʻonui wela o ka granite 4.5 × 10⁻⁶/℃ he 1/5 wale nō ia o ke kila kila, a mālama ʻia ka paʻa o ± 0.001mm i ka hana mau o ka mīkini lithography.

ʻO nā hiʻohiʻona hoʻoheheʻe haʻalulu: ʻoi aku ka nui o ka friction coefficient i loko o 15 mau manawa ma mua o ka hao hao, hoʻopili pono i nā lako micro-vibration.

ʻO ke ʻano magnetization Zero: hoʻopau loa i ka hewa magnetic i ke ana laser

1.2 ʻO ka huakaʻi metamorphosis mai koʻu a i ka fab
I ka lawe ʻana i ka waihona hana akamai a ZHHIMG ma Shandong ma ke ʻano he laʻana, pono e loaʻa kahi ʻāpana o ka granite maka:

ʻO ka mīkini hana ʻoi loa: ʻelima-axis linkage machining center no 200 mau hola o ka wili mau ʻana, ka ʻili ʻili a hiki i Ra0.008μm

ʻO ka hoʻomaʻamaʻa ʻana i ka wā kahiko: 48 mau hola o ka hoʻokuʻu ʻana i ke koʻikoʻi kūlohelohe i ka hale hana mahana a me ka haʻahaʻa, e hoʻomaikaʻi ana i ka paʻa o ka huahana e 40%
ʻO ka lua, e haki i nā pilikia kūpono ʻeono o ka hana semiconductor "hoʻonā pōhaku"
2.1 Papahana hoʻemi ʻana o ka ʻāpana wafer

Hōʻike hōʻike: Ma hope o ka loaʻa ʻana o kahi chip i Kelemania e hoʻohana i kā mākou paepae papa pōhaku lana kinoea:

Anawaena wafer	ka hoemi ana o ka chip	hoʻomaikaʻi pālahalaha
12 iniha	67%	≤0.001mm
18 iniha	82%	≤0.0005mm

2.2 Ka hoʻopololei pololei ʻana o ka lithographic

Pūnaehana uku pānaʻi: nānā ʻia ka sensor seramika i hoʻopili ʻia i ke ʻano hoʻololi i ka manawa maoli a hoʻoponopono maʻalahi i ke ʻano o ka paepae.
ʻIke ʻikepili: ma lalo o ka loli o 28 ℃ ± 5 ℃, ʻoi aku ka pololei o ka hoʻopili ʻana ma lalo o 0.12μm