Ma ke kahua o ka hana ʻenehana kiʻekiʻe a me ka noiʻi ʻepekema ʻokiʻoki, ua lilo ka ultra-precision motion module o ka lewa lana i mea kī nui no ka hana maikaʻi a me ke ana ʻana me kāna hana pololei. ʻO ke kumu kūpono o ka granite, ma ke ʻano he kumu kākoʻo, he koi koʻikoʻi no ka ʻoihana hana, a ʻo nā kūlana kūlohelohe kūpono ke kumu e hōʻoia ai i kāna hana paʻa a me ka hopena maikaʻi loa.
ʻO ka mea mua, ka hoʻomalu wela: precision "stabilizer"
ʻOiai ua ʻike ʻia ka granite no kona kūpaʻa, ʻaʻole ia e pale ʻole i nā loli wela. ʻOiai he haʻahaʻa kona coefficient o ka hoʻonui wela, ma ke ʻano he 5-7 ×10⁻⁶/℃, i nā hiʻohiʻona hoʻokele hoʻoneʻe ultra-precision, hiki ke hoʻololi i ka wela maʻalahi a hoʻololi i ka pololei o ka module. I loko o ka papa hana hana semiconductor chip, pono ke kaʻina hana lithography i ka pololei o ke kūlana danami-level, a ke piʻi nei ka mahana ambient e 1 ° C, a ʻo ke kumu granite me ka lōʻihi ʻaoʻao o 1 mika ke hana i kahi hoʻonui laina a i ʻole ka hoʻopaʻa ʻana o 5-7 microns. Hoʻouna ʻia kēia hoʻololi liʻiliʻi e ke ʻano o ka holo ʻana o ka ea, lawa ia e hoʻokaʻawale i ke ʻano lithography chip a hoʻemi nui i ka hua. No laila, i lako me ka granite precision base o ka ea e lana ana i ka ultra-precision motion module, pono e hoomaluia ka wela o ka hana maikai ma 20 ° C ± 1° C, me ke kokua ana o na lako wela mau, e like me ka wela mau a me ka ea ea, ka hoomau ana i ka malama ana a me ka hooponopono ana i ka wela o ka ambient, e hooiaio i ka holo ana o ka wela ma ka liʻiliʻi liʻiliʻi.
ʻO ka lua, ka hoʻokele haʻahaʻa: ke kī i ka pale ʻana i ka moisture-proof "pōhaku"
ʻO ka haʻahaʻa kekahi kumu nui e pili ana i ka hana o ka base granite precision. Ma kahi kūlana haʻahaʻa kiʻekiʻe, ua maʻalahi ka granite e hoʻomoʻa i ka mahu wai, hiki ke alakaʻi i ka condensation ma luna o ka ʻili, ʻaʻole ia e pili wale i ka paʻa o ka pilina o ka granite a me ka ultra-precision motion module o ka ea lana, akā hiki ke hoʻoulu i ka ʻili a hoʻemi i ka nani a me ka pololei i ka holo lōʻihi. I ka hale hana wili lens optical, inā ʻoi aku ka nui o ka haʻahaʻa ma mua o 60% RH no ka manawa lōʻihi, e hoʻopili ʻia ka mahu wai ma luna o ka ʻili o ke kumu granite i ka neʻe ʻana o ka mea hoʻoheheʻe holo hau, no laila e hoʻemi ʻia ka pololei o ka lens, a hewa ka ʻili. No laila, pono e mālama pono ʻia ka haʻahaʻa haʻahaʻa o ka wahi hana ma waena o 40% -60% RH, hiki ke nānā ʻia a hoʻoponopono ʻia i ka manawa maoli ma o ka hoʻokomo ʻana i nā dehumidifiers, nā mea ʻike haʻahaʻa a me nā mea hana ʻē aʻe e pale aku ai i ka pōʻino i ke kumu granite ma muli o ka haʻahaʻa kiʻekiʻe, a e hōʻoia i ka hana maʻemaʻe o ke ʻano o ka holo ʻana o ka ea.
ʻO ke kolu, ka hōʻoiaʻiʻo maʻemaʻe: ka "mālama" o ka pololei
ʻAʻole hiki ke hoʻohaʻahaʻa ʻia ka pōʻino o nā ʻāpana lepo i ke kumu granite precision o ke ʻano o ka holo ʻana o ka ea. I ka manawa e komo ai nā ʻāpana liʻiliʻi i ka ʻāpana kiʻiʻoniʻoni kinoea ma waena o ka slider float gas a me ke kumu granite, hiki iā lākou ke hoʻopau i ka like ʻole o ka kiʻiʻoniʻoni kinoea, hoʻonui i ka friction, a ʻokiʻoki hoʻi i ka ʻili o ke kumu, e hōʻemi ana i ka pololei o ka neʻe ʻana. I loko o ka hale hana machining ultra-precision o nā ʻāpana aerospace, inā hāʻule nā ʻāpana lepo o ka lewa ma ke kumu granite, hiki ke hoʻokaʻawale ʻia ka neʻe ʻana o ka mea hana machining, e pili ana i ka pololei o ka mīkini o nā ʻāpana. No laila, pono e ho'oma'ema'e loa 'ia ka wahi hana, a hiki i ka 10,000 a i 'ole ke ki'eki'e o ka ma'ema'e ma'ema'e, ma o ka ho'okomo 'ana i nā lako ho'oma'ema'e ea, e like me nā kānana ea ki'eki'e (HEPA), kānana i ka lepo i ka lewa, i ka manawa like, pono nā limahana e komo i ka lole lepo lepo, nā uhi kāma'a, a pēlā aku, e ho'emi i ka lepo i lawe 'ia e kanaka. E mālama pono i ke kaiapuni hana o ka base granite a me ka ea lele ultra-precision motion module.
ʻEhā, hoʻokaʻawale haʻalulu: hana maʻemaʻe o ka "shock pad"
ʻO ka haʻalulu o waho ka ʻenemi o ka pololei o ka module ultra-precision motion o ka lele lele. ʻOiai ʻo ka base granite precision i loaʻa i kekahi mana vibration attenuation, hiki i ka haʻalulu ikaika kiʻekiʻe ke haki i kona palena paʻa. Hoʻouna ʻia ka haʻalulu i hana ʻia e nā kaʻa a puni ka hale hana a me ka hana ʻana o nā mea hana mīkini nui i ke kumu granite ma o ka ʻāina, kahi e hoʻopilikia ai i ka pololei o ka neʻe ʻana o ka module neʻe ultra-precision o ka lele lele. Ma ka CMM kiʻekiʻe, hiki i ka haʻalulu ke ana i ka pilina ma waena o ke ana ʻana a me ka mea hana i paʻa ʻole, e hopena i ka ʻae ʻana o ka ʻikepili ana. I mea e hoʻoponopono ai i kēia pilikia, pono ia e hoʻohana i nā hana hoʻokaʻawale haʻalulu maikaʻi, e like me ke kau ʻana i nā pads hoʻokaʻawale vibration i ka wahi i hoʻonohonoho ʻia ai nā mea hana, ke kūkulu ʻana i ke kahua hoʻokaʻawale haʻalulu, a i ʻole ka hoʻohana ʻana i ka ʻōnaehana hoʻokaʻawale haʻalulu ikaika e hoʻopau i ka haʻalulu o waho, a hana i kahi noho mālie a paʻa i ka hana no ke kumu granite precision a me ka ea lele ultra-precision motion module.
Ma ka hoʻokō piha ʻana i nā koi kūlohelohe o ka mahana, ka haʻahaʻa, ka maʻemaʻe a me ka mana vibration, hiki i ka granite precision base o ka ultra-precision motion module o ka mokulele lele ke hāʻawi i ka pāʻani piha i kāna mau pono hana, hāʻawi i ka hōʻoia hilinaʻi no nā hana ultra-precision ma nā ʻano āpau, a kōkua i ka ʻoihana e neʻe i kahi kiʻekiʻe kiʻekiʻe o ka hana ʻana a me ka pae noiʻi ʻepekema.
Ka manawa hoʻouna: Apr-08-2025