Mai ka hoʻopilikia electromagnetic a i ka hoʻohālikelike ʻana o ka vacuum: ʻO ke ʻano hiki ʻole ke hoʻololi ʻia o nā kumu granite i nā mīkini lithography.

ʻ
Ma ke kahua o ka hana semiconductor, ma ke ʻano he lako hana koʻikoʻi e hoʻoholo ai i ka pololei o ke kaʻina hana chip, he mea nui loa ke kūpaʻa o ke kaiapuni kūloko o ka mīkini photolithography. Mai ka hoʻonāukiuki ʻana o ke kumu kukui ultraviolet koʻikoʻi a hiki i ka hana o ka paepae neʻe nanoscale precision, ʻaʻohe ʻokoʻa iki ma kēlā me kēia loulou. ʻO nā kumu Granite, me kahi moʻo o nā waiwai kū hoʻokahi, hōʻike i nā pono like ʻole i ka hōʻoia ʻana i ka hana paʻa o nā mīkini photolithography a me ka hoʻonui ʻana i ka pololei o ka photolithography.
Hana pale electromagnetic maikaʻi loa
Ua piha ka loko o kahi mīkini photolithography i kahi ʻano electromagnetic paʻakikī. ʻO ka hoʻopilikia electromagnetic (EMI) i hana ʻia e nā ʻāpana e like me nā kumu kukui ultraviolet koʻikoʻi, nā motika hoʻokele, a me nā lako mana alapine kiʻekiʻe, inā ʻaʻole i kāohi pono ʻia, e hoʻopilikia nui i ka hana o nā ʻāpana uila pololei a me nā ʻōnaehana optical i loko o nā lako. No ka laʻana, hiki i ka hoʻopilikia ke hana i nā ʻokoʻa iki i nā ʻano photolithography. I nā kaʻina hana hana holomua, ua lawa kēia e alakaʻi ai i nā pilina transistor hewa ma ka chip, e hōʻemi nui ana i ka hua chip.
He mea hao ʻole ka Granite a ʻaʻole ia e alakaʻi i ka uila iā ia iho. ʻAʻohe hanana hoʻokomo electromagnetic i hoʻokumu ʻia e ka neʻe ʻana o nā electrons manuahi i loko e like me nā mea hao. ʻO kēia ʻano e hana ai i kahi kino pale electromagnetic kūlohelohe, hiki ke ālai pono i ke ala hoʻoili o ka hoʻopilikia electromagnetic kūloko. Ke hoʻolaha ka ʻāpana magnetic alternating i hana ʻia e ke kumu hoʻopilikia electromagnetic waho i ke kumu granite, ʻoiai ʻaʻole magnetic ka granite a ʻaʻole hiki ke magnetized, paʻakikī ke komo ʻana o ke kahua magnetic alternating, no laila e pale ana i nā ʻāpana koʻikoʻi o ka mīkini photolithography i kau ʻia ma ke kumu, e like me nā sensor precision a me nā mea hoʻoponopono lens optical, mai ka mana o ka hoʻopilikia electromagnetic a me ka hōʻoia ʻana i ka pololei o ka hoʻoili ʻana o ke ʻano i ka wā o ke kaʻina hana photolithography.

Hoʻohālikelike maikaʻi loa i ka mīkini hoʻomaʻemaʻe
Ma muli o ka maʻalahi o ka hoʻopili ʻia ʻana o ke kukui ultraviolet koʻikoʻi (EUV) e nā mea āpau, me ka ea, pono e hana nā mīkini lithography EUV i loko o kahi ʻano hakahaka. I kēia manawa, lilo ka hoʻohālikelike ʻana o nā ʻāpana lako me ke ʻano hakahaka i mea koʻikoʻi loa. I loko o kahi hakahaka, hiki i nā mea ke hoʻoheheʻe, hoʻoheheʻe a hoʻokuʻu i ke kinoea. ʻAʻole wale ke kinoea i hoʻokuʻu ʻia e hoʻopili i ka mālamalama EUV, e hōʻemi ana i ka ikaika a me ka pono o ka hoʻoili ʻana o ke kukui, akā hiki nō hoʻi ke hoʻohaumia i nā aniani optical. No ka laʻana, hiki i ka mahu wai ke hoʻopau i nā aniani, a hiki i nā hydrocarbons ke waiho i nā papa kalapona ma luna o nā aniani, e hoʻopilikia nui ana i ka maikaʻi o ka lithography.
He paʻa nā waiwai kemika o ka Granite a ʻaʻole hoʻokuʻu pinepine i ke kinoea i loko o kahi ʻano hakahaka. Wahi a nā hoʻāʻo loea, i loko o kahi ʻano hakahaka mīkini photolithography simulated (e like me ke ʻano hakahaka ultra-maʻemaʻe kahi i loaʻa ai ka ʻōnaehana optical hoʻomālamalama a me ka ʻōnaehana optical kiʻi i loko o ke keʻena nui, e koi ana i ka H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa), haʻahaʻa loa ka helu gassing o ke kumu granite, haʻahaʻa loa ma mua o nā mea ʻē aʻe e like me nā metala. Hiki i kēia ke mālama i loko o ka mīkini photolithography i kahi kekelē hakahaka kiʻekiʻe a me ka maʻemaʻe no ka manawa lōʻihi, e hōʻoia ana i ka transmittance kiʻekiʻe o ka mālamalama EUV i ka wā o ka hoʻouna ʻana a me kahi ʻano hoʻohana ultra-maʻemaʻe no nā aniani optical, e hoʻolōʻihi ana i ke ola lawelawe o ka ʻōnaehana optical, a hoʻonui i ka hana holoʻokoʻa o ka mīkini photolithography.
Ke kūpaʻa haʻalulu ikaika a me ke kūpaʻa wela
I ka wā o ke kaʻina hana photolithography, ʻo ka pololei ma ka pae nanometer e koi ana ʻaʻole pono ka mīkini photolithography e loaʻa i ka haʻalulu iki a i ʻole ka hoʻololi wela. ʻO nā haʻalulu kaiapuni i hana ʻia e ka hana o nā lako ʻē aʻe a me ka neʻe ʻana o nā limahana i loko o ka hale hana, a me ka wela i hana ʻia e ka mīkini photolithography ponoʻī i ka wā o ka hana, hiki ke hoʻopilikia i ka pololei o ka photolithography. He kiʻekiʻe ka mānoanoa o ka Granite a he ʻano paʻakikī, a he kūpaʻa haʻalulu maikaʻi loa. He paʻa kona ʻano kristal mineral kūloko, hiki ke hoʻēmi pono i ka ikehu haʻalulu a kāohi koke i ka hoʻolaha haʻalulu. Hōʻike nā ʻikepili hoʻokolohua ma lalo o ke kumu haʻalulu like, hiki i ke kumu granite ke hoʻemi i ka amplitude haʻalulu ma mua o 90% i loko o 0.5 kekona. Ke hoʻohālikelike ʻia me ke kumu metala, hiki iā ia ke hoʻihoʻi koke i nā lako i ke kūpaʻa, e hōʻoia ana i ke kūlana pili pololei ma waena o ka lens photolithography a me ka wafer, a pale i ka blurring pattern a i ʻole misalignment i hoʻokumu ʻia e ka haʻalulu.
I kēia manawa, haʻahaʻa loa ke koina o ka hoʻonui wela o ka granite, ma kahi o (4-8) ×10⁻⁶/℃, ʻoi aku ka haʻahaʻa ma mua o nā mea metala. I ka wā o ka hana ʻana o ka mīkini photolithography, ʻoiai inā loli ka mahana o loko ma muli o nā mea e like me ka hana wela mai ke kumu kukui a me ka friction mai nā ʻāpana mechanical, hiki i ke kumu granite ke mālama i ke kūpaʻa dimensional a ʻaʻole e loli nui ma muli o ka hoʻonui wela a me ka ʻūlū ʻana. Hāʻawi ia i ke kākoʻo paʻa a hilinaʻi no ka ʻōnaehana optical a me ke kahua neʻe pololei, e mālama ana i ke kūlike o ka pololei o ka photolithography.