ʻ
Ma ke kahua o ka hana semiconductor, ʻo ia ka mea koʻikoʻi e hoʻoholo ai i ka pololei o ke kaʻina hana chip, ʻo ke kūpaʻa o ke kaiapuni kūloko o ka mīkini photolithography he mea nui. Mai ka hauʻoli o ke kumu kukui ultraviolet loa a hiki i ka hana ʻana o ka nanoscale precision motion platform, ʻaʻole hiki ke hoʻololi iki i kēlā me kēia loulou. ʻO nā kumu Granite, me kahi pūʻulu o nā waiwai kūʻokoʻa, e hōʻike ana i nā pono like ʻole i ka hōʻoia ʻana i ka hana paʻa o nā mīkini photolithography a me ka hoʻonui ʻana i ka pololei photolithography. ʻ
ʻO ka hana pale electromagnetic maikaʻi loa
Hoʻopiha ʻia ka loko o kahi mīkini photolithography me kahi kaiapuni electromagnetic paʻakikī. Electromagnetic interference (EMI) i hana ʻia e nā ʻāpana e like me nā kumu kukui ultraviolet kiʻekiʻe, nā kaʻa kaʻa, a me nā lako mana kiʻekiʻe, inā ʻaʻole i hoʻomalu pono ʻia, e hoʻopilikia nui i ka hana o nā mea uila pololei a me nā ʻōnaehana optical i loko o ka lako. No ka laʻana, hiki i ke keakea ke hoʻololi iki i nā hiʻohiʻona photolithography. Ma nā kaʻina hana holomua, lawa kēia e alakaʻi i nā pilina transistor hewa ma ka chip, e hōʻemi nui ana i ka hua chip. ʻ
ʻO ka Granite kahi mea ʻole metala a ʻaʻole hoʻokele uila iā ia iho. ʻAʻohe hanana induction electromagnetic ma muli o ka neʻe ʻana o nā electrons manuahi i loko e like me nā mea metala. ʻO kēia hiʻohiʻona e lilo ia i kino pale electromagnetic kūlohelohe, hiki ke hoʻopaʻa pono i ke ala hoʻoili o ka interference electromagnetic kūloko. Ke hoʻolaha ʻia ke kahua mākēneki i hana ʻia e ke kumu hoʻopilikia electromagnetic o waho i ke kumu granite, no ka mea, ʻaʻole magnetik ka granite a ʻaʻole hiki ke hoʻopaneʻe ʻia, paʻakikī ke komo ʻana i ke kahua magnetic alternating, no laila e pale ai i nā ʻāpana kumu o ka mīkini photolithography i kau ʻia ma ke kumu, e like me nā mea ʻike kikoʻī a me nā mea hoʻoponopono lens optical i ka wā o ka hoʻololi ʻana o ka hoʻololi ʻana o ka electromagnetic. kaʻina hana photolithography. ʻ
ʻOi aku ka maikaʻi o ka ʻoluʻolu
Ma muli o ka maʻalahi o ke kukui ultraviolet (EUV) e nā mea a pau, e like me ka ea, pono e hana nā mīkini lithography EUV i loko o kahi kaiapuni. I kēia manawa, lilo i mea koʻikoʻi ka hoʻohālikelike ʻana o nā mea hana me ke kaiapuni vacuum. I loko o kahi ʻūhā, hiki ke hoʻoheheʻe ʻia nā mea waiwai, hoʻopau a hoʻokuʻu i ke kinoea. ʻAʻole hoʻopau wale ke kinoea i hoʻokuʻu ʻia i ke kukui EUV, e hōʻemi ana i ka ikaika a me ka maikaʻi o ka lawe ʻana i ke kukui, akā hiki ke hoʻohaumia i nā lens optical. No ka laʻana, hiki i ka mahu wai ke hoʻokahe i nā lens, a hiki i nā hydrocarbons ke waiho i nā papa kalapona ma nā lens, e hoʻopilikia nui i ka maikaʻi o ka lithography. ʻ
Loaʻa i ka Granite nā waiwai kemika paʻa a paʻakikī hoʻi e hoʻokuʻu i ke kinoea i loko o kahi kaiapuni. Wahi a ka ho'āʻo ʻoihana, i loko o ka mīkini paʻi kiʻi kiʻi kiʻi kiʻi hoʻohālikelike ʻia (e like me ka ultra-clean vacuum environment kahi i loaʻa ai ka ʻōnaehana optical illumination a me ka ʻōnaehana optical imaging i loko o ke keʻena nui, e koi ana i ka H₂O <10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa, ka mea haʻahaʻa haʻahaʻa ma mua o nā mea haʻahaʻa haʻahaʻa o waho. metala. ʻO kēia ka mea e hiki ai i loko o ka mīkini photolithography ke mālama i kahi kiʻekiʻe vacuum degere a me ka maʻemaʻe no ka manawa lōʻihi, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka transmittance kiʻekiʻe o ka kukui EUV i ka wā o ka hoʻouna ʻana a me kahi ʻano hoʻohana ultra-maʻemaʻe no nā lens optical, hoʻonui i ke ola lawelawe o ka ʻōnaehana optical, a hoʻonui i ka hana holoʻokoʻa o ka mīkini photolithography. ʻ
ʻO ke kūpaʻa haʻalulu ikaika a me ke kūpaʻa wela
I ka wā o ke kaʻina hana photolithography, pono ka pololei o ka nanometer i ka mīkini paʻi kiʻi kiʻi ʻaʻole e loaʻa ka haʻalulu liʻiliʻi a i ʻole ka wela wela. ʻO nā haʻalulu kaiapuni i hana ʻia e ka hana ʻana o nā mea hana ʻē aʻe a me ka neʻe ʻana o nā limahana i loko o ka hale hana, a me ka wela i hana ʻia e ka mīkini paʻi kiʻi ponoʻī i ka wā e hana ai, hiki ke hoʻopilikia i ka pololei o ka photolithography. He kiʻekiʻe kiʻekiʻe a me kahi ʻano paʻakikī o ka Granite, a he kūpaʻa maikaʻi loa. He paʻa kona ʻano ʻano aniani mineral i loko, hiki ke hoʻemi pono i ka ikehu vibration a hoʻopaʻa koke i ka hoʻolaha vibration. Hōʻike nā ʻikepili hoʻokolohua ma lalo o ke kumu haʻalulu like, hiki i ka base granite ke hoʻemi i ka amplitude vibration ma mua o 90% i loko o 0.5 kekona. Ke hoʻohālikelike ʻia me ke kumu metala, hiki iā ia ke hoʻihoʻi i nā mea hana i ka paʻa ʻoi aku ka wikiwiki, e hōʻoia i ke kūlana pili pololei ma waena o ka lens photolithography a me ka wafer, a pale aku i ka blurring a i ʻole misalignment ma muli o ka haʻalulu. ʻ
I kēia manawa, haʻahaʻa loa ka coefficient o ka hoʻonui wela o ka granite, ma kahi o (4-8) ×10⁻⁶/℃, ʻoi aku ka haʻahaʻa ma mua o nā mea metala. I ka wā o ka hana ʻana o ka mīkini photolithography, ʻoiai inā e loli ana ka wela o loko ma muli o nā kumu e like me ka hoʻomohala ʻana o ka wela mai ke kumu kukui a me ka friction mai nā ʻāpana mechanical, hiki i ke kumu granite ke mālama i ke kūpaʻa dimensional a ʻaʻole e loaʻa ka deformation koʻikoʻi ma muli o ka hoʻonui ʻana o ka wela a me ka ʻokiʻoki. Hāʻawi ia i ke kākoʻo paʻa a hilinaʻi no ka ʻōnaehana optical a me ke kahua neʻe pololei, e mālama ana i ke kūlike o ka pololei photolithography.
Ka manawa hoʻouna: Mei-20-2025