I ka hana semiconductor, ʻo ka mīkini photolithography kahi mea nui e hoʻoholo ai i ka pololei o nā chips, a ʻo ke kumu granite, me kāna mau hiʻohiʻona nui, ua lilo ia i mea pono ʻole o ka mīkini photolithography.
Paʻa wela: ʻO ka "Paku" e kū'ē i nā hoʻololi wela
Ke hoʻohana ʻia ka mīkini photolithography, hana ia i ka nui o ka wela. ʻO ka hoʻololi ʻana o ka mahana o 0.1 ℃ wale nō ke hoʻololi i nā mea hana a hoʻopilikia i ka pololei o ka photolithography. He haʻahaʻa loa ka coefficient o ka hoʻonui wela o ka granite, ʻo 4-8 × 10⁻⁶/℃ wale nō, ʻo ia ka 1/3 o ke kila a me ka 1/5 o ka alumini alumini. ʻO kēia ka mea e hiki ai i ke kumu granite ke mālama i ke kūpaʻa dimensional i ka wā e hana ai ka mīkini photolithography no ka manawa lōʻihi a i ka wā e loli ai ka mahana o ke kaiapuni, e hōʻoiaʻiʻo ana i ke kūlana pololei o nā ʻāpana optical a me nā hana mechanical.
Super anti-vibration performance: ʻO ka "sponge" e hoʻopaʻa i ka haʻalulu
I loko o kahi hale hana semiconductor, hiki i ka hana o nā mea hana a puni a me ka neʻe ʻana o nā kānaka ke hana i nā haʻalulu. He kiʻekiʻe kiʻekiʻe a me kahi ʻano paʻakikī o Granite, a he mau mea hoʻoheheʻe maikaʻi loa ia, me ka ratio damping 2 a 5 mau manawa o nā metala. Ke hoʻoili ʻia nā haʻalulu o waho i ke kumu granite, hoʻololi ka friction ma waena o nā kristal mineral kūloko i ka ikehu vibration i ka ikehu wela no ka hoʻopau ʻana, hiki ke hōʻemi nui i ka haʻalulu i ka manawa pōkole, e ʻae i ka mīkini photolithography e hoʻihoʻi koke i ka paʻa a pale i ka blurring a i ʻole misalignment o ke kumu photolithography ma muli o ka haʻalulu.
Paʻa kemika: ʻO ke "Kāi" o kahi Kaiapuni Maʻemaʻe
Hoʻopili ʻia ka loko o ka mīkini photolithography me nā ʻano media kemika, a ʻo nā mea metala maʻamau e maʻalahi i ka corrosion a i ʻole ka hoʻokuʻu ʻana o nā ʻāpana. Hoʻokumu ʻia ka Granite me nā minerale e like me ka quartz a me ka feldspar. Loaʻa iā ia nā waiwai kemika paʻa a me ke kūpaʻa ʻino ikaika. Ma hope o ka hoʻoluhi ʻia ʻana i loko o ka waika a me ka alkali, liʻiliʻi loa ka ʻino o ka ʻili. Eia nō naʻe, ʻaʻohe ʻōpala a i ʻole lepo e hoʻohua ai kona ʻano paʻa, e hoʻokō ana i nā koi o nā kūlana kiʻekiʻe o ka lumi hoʻomaʻemaʻe a hōʻemi i ka hopena o ka hoʻohaumia ʻana i ka wafer.
Hiki ke hoʻololi ʻia: ʻO ka "mea kūpono" no ka hana ʻana i nā pae kikoʻī
Pono e hoʻokomo ʻia nā ʻāpana koʻikoʻi o ka mīkini photolithography ma kahi ʻaoʻao kuhikuhi kiʻekiʻe. ʻO ke ʻano o loko o ka granite he ʻano like ʻole a maʻalahi ke hana ʻia i ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe ma o ka wili, polishing a me nā ʻano hana ʻē aʻe. Hiki i kona palahalaha ke hiki i ≤0.5μm / m, a ʻo ka roughness ʻili Ra he ≤0.05μm, e hāʻawi ana i kahi kumu hoʻonohonoho pololei no nā mea e like me nā lens optical.
ʻO ke ola lōʻihi a me ka mālama ʻole: ʻO nā "mea hana ʻoi" no ka hōʻemi ʻana i ke kumu kūʻai
Ke hoʻohālikelike ʻia me nā mea metala i hiki ke luhi a me ka haki ʻana i ka hoʻohana lōʻihi ʻana, ʻaʻole loaʻa ka granite i ka deformation plastik a i ʻole nā haʻihaʻi ma lalo o nā ukana maʻamau, ʻaʻole pono ia i ka mālama ʻana i ka ʻili, no laila e pale aku i ka pilikia o ka uhi ʻana i ka peeling a me ka haumia. Ma nā noi kūpono, ma hope o ka hoʻohana ʻia ʻana no nā makahiki he nui, hiki i nā mea hōʻailona hana koʻikoʻi o ke kumu granite ke kūpaʻa mau, e hōʻemi ana i ka hana a me ka mālama ʻana i nā mea hana.
Mai ka paʻa wela, ke kū ʻana o ka vibration i ka inertness kemika, nā hiʻohiʻona he nui o ka base granite e hoʻokō pono i nā koi o ka mīkini photolithography. Ke hoʻomau nei ka hoʻomohala ʻana o ke kaʻina hana chip i ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe, e hoʻomau ʻia nā kumu granite i kahi hana hiki ʻole ke hoʻololi ʻia i ke kahua o ka hana semiconductor.
Ka manawa hoʻouna: Mei-20-2025