I ka hana ʻana o ka semiconductor, ʻo ka mīkini photolithography kahi mea nui e hoʻoholo ai i ka pololei o nā ʻāpana, a ʻo ke kumu granite, me kona mau ʻano he nui, ua lilo ia i ʻāpana pono ʻole o ka mīkini photolithography.
Paʻa wela: ʻO ka "Pale" e kūʻē i nā loli mahana
Ke hana nei kahi mīkini photolithography, hoʻopuka ia i ka nui o ka wela. ʻOiai ka loli ʻana o ka mahana o 0.1℃ wale nō paha ke kumu o ka deformation o nā ʻāpana lako a hoʻopilikia i ka pololei o ka photolithography. He haʻahaʻa loa ke coefficient o ka hoʻonui ʻana o ka thermal o ka granite, ʻo 4-8 ×10⁻⁶/℃ wale nō, ʻo ia hoʻi ma kahi o 1/3 o ke kila a me 1/5 o ka alumini alloy. Hiki i kēia ke hoʻopaʻa i ke kumu granite i ka paʻa o ka dimensional ke hana ka mīkini photolithography no ka manawa lōʻihi a i ʻole ke loli ka mahana o ke kaiapuni, e hōʻoia ana i ke kūlana pololei o nā ʻāpana optical a me nā ʻano mechanical.
Hana anti-vibration nui: ʻO ka "hupa" e omo i ka haʻalulu
I loko o kahi hale hana semiconductor, hiki i ka hana ʻana o nā lako a puni a me ka neʻe ʻana o nā kānaka ke hoʻoulu i nā haʻalulu. He kiʻekiʻe ka nui o ka Granite a he ʻano paʻakikī, a he mau waiwai damping maikaʻi loa ia, me ka lakio damping 2 a 5 mau manawa o nā metala. Ke hoʻouna ʻia nā haʻalulu o waho i ke kumu granite, hoʻololi ka friction ma waena o nā kristal mineral kūloko i ka ikehu haʻalulu i ikehu wela no ka hoʻoheheʻe ʻana, hiki ke hōʻemi nui i ka haʻalulu i ka manawa pōkole, e ʻae ana i ka mīkini photolithography e hoʻihoʻi koke i ke kūpaʻa a pale i ka blurring a i ʻole ka misalignment o ke ʻano photolithography ma muli o ka haʻalulu.
Paʻa Kemika: ʻO ke "Kahu" o kahi Kaiapuni Maʻemaʻe
Hoʻopili ka loko o kahi mīkini photolithography me nā ʻano kemika like ʻole, a he maʻalahi nā mea metala maʻamau i ka pala a i ʻole ka hoʻokuʻu ʻia ʻana o nā ʻāpana. Hana ʻia ka Granite me nā minelala e like me ka quartz a me ka feldspar. Loaʻa iā ia nā waiwai kemika paʻa a me ke kūpaʻa ikaika i ka pala. Ma hope o ka hoʻomoʻa ʻia ʻana i loko o nā hopena waikawa a me ka alkali, ua liʻiliʻi loa ka pala o ka ʻili. I kēia manawa, ʻaneʻane ʻaʻole e hoʻopuka kona ʻano mānoanoa i nā ʻōpala a i ʻole ka lepo, e hoʻokō ana i nā koi o nā kūlana lumi maʻemaʻe kiʻekiʻe loa a e hōʻemi ana i ka pilikia o ka haumia wafer.
Ka hoʻololi ʻana i ka hana ʻana: ʻO ka "mea kūpono" no ka hana ʻana i nā pae hoʻohālikelike pololei
Pono e hoʻokomo ʻia nā ʻāpana koʻikoʻi o ka mīkini photolithography ma kahi ʻili kuhikuhi kiʻekiʻe. He like ke ʻano o loko o ka granite a maʻalahi ke hana ʻia i ka pololei loa ma o ka wili ʻana, ka poli ʻana a me nā ʻano hana ʻē aʻe. Hiki i kona pālahalaha ke hiki i ka ≤0.5μm/m, a ʻo ka ʻili o Ra he ≤0.05μm, e hāʻawi ana i kahi kumu hoʻonohonoho pololei no nā ʻāpana e like me nā aniani optical.
Ke ola lōʻihi a me ka mālama ʻole ʻia: ʻO nā "mea hana ʻoi" no ka hoʻemi ʻana i ke kumukūʻai
Ke hoʻohālikelike ʻia me nā mea metala i maʻalahi i ka luhi a me ka nahā i ka hoʻohana lōʻihi ʻana, ʻaʻole i loaʻa ka granite i ka deformation plastic a i ʻole ka haki ma lalo o nā ukana maʻamau, a ʻaʻole pono ia e mālama ʻia ka ʻili, no laila e pale aku ai i ka pilikia o ka ʻili ʻana o ka uhi a me ka haumia. I nā noi hana, ma hope o ka hoʻohana ʻia ʻana no nā makahiki he nui, hiki i nā hōʻailona hana koʻikoʻi o ke kumu granite ke noho paʻa, e hōʻemi ana i nā kumukūʻai hana a me ka mālama ʻana o nā lako.
Mai ke kūpaʻa wela, ke kū'ē ʻana i ka haʻalulu a i ka inertness kemika, ua hoʻokō pono nā ʻano he nui o ke kumu granite i nā koi o ka mīkini photolithography. I ka hoʻomau ʻana o ke kaʻina hana chip i ka hoʻomohala ʻana i ka pololei kiʻekiʻe, e hoʻomau nā kumu granite i ka pāʻani i kahi kuleana nui i ke kahua o ka hana semiconductor.
Ka manawa hoʻouna: Mei-20-2025