ʻ
ʻ
Ma ka honua pololei o ka hana semiconductor, ʻo ka hoʻāʻo ʻole ʻana i nā wafers kahi loulou nui e hōʻoia i ka maikaʻi o nā chips. ʻO ke kumu pōhaku koʻikoʻi ʻole ʻo ia ka "hero unsung" nāna e hoʻoholo i ka pololei o ka ʻike. Pehea ka hopena o ka honua i nā hopena hōʻike? E alakaʻi kēia ʻatikala i kahi loiloi hohonu mai nā ana e like me nā waiwai waiwai a me ka hoʻolālā hoʻolālā. ʻ
1. Stable Foundation: ʻO nā pono kūlohelohe o ka granite e waiho i kahi kumu paʻa no ka pololei
1. Hana maikaʻi loa i ka seismic
I ka wā o ka hana ʻana o ka wafer non-destructive hoʻāʻo ʻana, ʻo ka hoʻololi ʻana o ka kaʻa a me ka neʻe ʻana o nā ʻāpana mechanical e hoʻopuka i nā haʻalulu. Inā ʻaʻole i hoʻopaʻa pono ʻia kēia mau haʻalulu, e hoʻopilikia nui lākou i ka pololei o ka hoʻāʻo ʻana. ʻO ka loko o ka granite i hui pū ʻia me nā kristal mineral e like me ka quartz a me ka feldspar. Hāʻawi kona ʻano kūʻokoʻa iā ia me kahi mana hoʻoheheʻe kūlohelohe maoli, hiki ke hoʻopili ma luna o 90% o ka ikehu vibration o nā mea hana. Hōʻike ka ʻikepili ana maoli o kekahi mea hana semiconductor ma hope o ka hoʻohana ʻana i ke kumu granite, ua hoʻemi ʻia ka amplitude vibration o nā mea ʻike maka mai 12μm a i 2μm, me ka pale pono ʻana i ka ʻae ʻana o ka hōʻailona ʻike i hoʻokumu ʻia e ka haʻalulu. ʻ
2. Haʻahaʻa haʻahaʻa loa o ka hoʻonui wela
I ka wā o ke kaʻina hana ʻike, ʻo nā mea e like me ka hoʻomehana ʻana o nā mea hana a me nā loli i ka mahana o ke kaiapuni e hoʻopili i ka paʻa o ka waihona mīkini. Hoʻonui nui ʻia nā mea maʻamau i ka wā wela, akā ʻo ka coefficient o ka hoʻonui wela o ka granite he 1/5 wale nō o ke kila. ʻOiai inā e loli ka mahana ambient ma 10 ℃, hiki ke nānā ʻole ʻia kona deformation. ʻO kēia ka mea e hiki ai i ke kumu granite ke hāʻawi i kahi kahua kuhikuhi paʻa no nā mea nānā, e hōʻoia ana i ke kūlana pili ma waena o ka probe inspection a me ka wafer e kūpaʻa mau i nā manawa a pau a pale i nā hewa nānā i hoʻokumu ʻia e ka deformation thermal. ʻ
ʻO ka lua, ka hoʻolālā pololei: Hoʻonui hou ka hoʻolālā ʻana i ka hilinaʻi o ka ʻike
ʻO ka hoʻoponopono kiʻekiʻe a me ka hōʻoiaʻiʻo palahalaha
Hoʻohana ʻia ke kumu granite kiʻekiʻe e ka ʻenehana CNC linkage five-axis kiʻekiʻe, me kahi pālahalaha o ± 0.5μm / m, e hāʻawi ana i kahi kuhikuhi hoʻonohonoho ultra-flat no nā lako nānā. I ka nānā ʻana i ka wafer, koʻikoʻi ka verticality a me ka pae o ka probe inspection i nā hopena nānā. Hiki i kahi kumu granite kiʻekiʻe ke hōʻoia i ka hoʻonohonoho pono ʻana o ka probe, e ʻoi aku ka pololei a me ka hilinaʻi o ka ʻikepili nānā. ʻ
2. Hoʻololi hoʻonohonoho hoʻololi
Hiki ke hoʻopilikino ʻia nā kumu mīkini Granite no nā ʻokoʻa wafer non-destructive hoʻāʻo a me nā koi kaʻina. No ka laʻana, no ka hoʻokō ʻana i nā koi o nā mea nānā optical no ka noʻonoʻo māmā, hiki ke mālama kūikawā ʻia ka ʻili o ka waihona mīkini; No ka hoʻokō ʻana i nā koi hoʻonohonoho o nā lako hoʻāʻo ultrasonic, hiki ke hana mua ʻia ke kumu me nā lua hoʻonohonoho pololei a me nā pā kelepona, hiki ke hoʻokomo wikiwiki a pololei i nā mea hana a hoʻemi i nā deviations ʻike i hoʻokumu ʻia e nā hewa hoʻonohonoho. ʻ
Iii. Paʻa lōʻihi: E hōʻemi i ka pohō pololei ma muli o ka mālama ʻana i nā mea hana
He kiʻekiʻe ka paʻakikī o Granite a me ke kūpaʻa paʻa ikaika, me ka paʻakikī Mohs o 6 a 7, ʻo ia hoʻi ʻekolu mau manawa o ka pale ʻana o ke kila maʻamau. I ka wā lōʻihi o ka nānā ʻana, ʻaʻole hiki ke ʻaʻahu ka ʻili o ka waihona mīkini a hiki ke mālama mau i kahi kūlana pololei. I ka hoʻokaʻawale ʻana, hiki i nā kumu i hana ʻia i nā mea ʻē aʻe ke hoʻololi i ka kuhikuhi hoʻonohonoho ʻana o nā mea hana ma muli o ka ʻaʻahu a me ka waimaka, a laila e pili ana i ka pololei ʻike a koi ʻia ka calibration a me ka mālama pinepine. ʻO ka lōʻihi o ka lawelawe ʻana a me ke kūpaʻa kiʻekiʻe o ka waihona granite e hōʻemi pono i ka pinepine o ka mālama ʻana i nā mea hana a hoʻohaʻahaʻa i ka hopena o ka pohō pololei e hiki mai ana i ka wā o ka mālama ʻana. ʻ
Mai ka haʻalulu, ka wela a hiki i ka hoʻolālā pololei, ʻo kēlā me kēia hiʻohiʻona o ke kumu granite ke pale nei i ka pololei o ka hoʻāʻo ʻole ʻana i nā wafers. I kēia au hana semiconductor e ʻimi nei i ka pololei loa, ʻo ke koho ʻana i kahi kumu granite kiʻekiʻe e like me ka hoʻohui ʻana i kahi papa paʻa o ka ʻinikua i ka pololei a me ka hilinaʻi o nā hopena hōʻike. ʻ
Ka manawa hoʻouna: Jun-18-2025