Ma ke kahua o ke ana pololei ʻana, ʻo ke kūpaʻa o ke kumu o nā lako ana e hoʻoholo pololei i ka hilinaʻi o ka ʻikepili. ʻO ka pilikia hewa ana i hoʻokumu ʻia e ka deformation thermal o nā kumu hao i hoʻolei ʻia ua hoʻopilikia lōʻihi i ka ʻoihana hana. Eia nō naʻe, ʻo ka paepae mea ana pālahalaha granite i hoʻokuʻu ʻia e ZHHIMG, me kāna palapala hōʻoia pololei AAA e uhaʻi ana i nā kūlana ʻoihana, hāʻawi i kahi hopena kipi no ke ana pololei kiʻekiʻe.
ʻO ka pilikia deformation thermal o nā kumu hao hao: ʻO ka mea pepehi kanaka ʻike ʻole ʻia o nā hewa ana
Ua hoʻohana nui ʻia nā kumu hao i hoʻolei ʻia i nā lako ana ma muli o ko lākou kumukūʻai haʻahaʻa a me ka paʻakikī ikaika. Eia nō naʻe, i nā hana maoli, ua puka mālie mai ka hemahema o ko lākou kūpaʻa wela maikaʻi ʻole. ʻO ke koina o ka hoʻonui wela o ka hao i hoʻolei ʻia he 11-12 ×10⁻⁶/℃. Ke hana nei nā lako a i ʻole e loli ka mahana ambient, he mea maʻalahi loa ia i ka deformation thermal. No ka laʻana, i ka wā e loli ai ka mahana ambient i loko o ka hale hana ma 5℃, hiki i ke kumu hao i hoʻolei ʻia ke hana i kahi deformation linear o 0.0055-0.006mm. ʻO kēlā ʻano loli liʻiliʻi e hoʻololi pololei i ka kuhikuhi ana, e hoʻonui ana i ka hewa ana.
Eia kekahi, ʻaʻole like ka hoʻoili wela o ke kumu hao i hoʻolei ʻia. Ke hana nei nā lako, e hoʻoulu ka hoʻomehana kūloko i kahi "hopena gradient thermal", e hopena ana i ka hoʻopilikia a me ka deformation ma ka ʻili o ke kumu. I ke ana ʻana o ka flatness, hiki i kēia deformation ke hana i kahi ʻokoʻa ma ke kūlana pili ma waena o ka probe ana a me ka mea e ana ʻia ana, a laila e hoʻopuka ana i ka ʻikepili ana hewa. Wahi a nā helu helu ʻoihana, no nā lako ana me nā kumu hao i hoʻolei ʻia, ʻoi aku ka nui o nā hewa i hana ʻia e ka deformation thermal ma mua o 40% o nā hewa āpau, e hoʻopilikia nui ana i ka pololei o ka nānā ʻana i ka maikaʻi o ka huahana.
ʻO ka holomua ʻenehana o ka paepae granite ZHHIMG: Hoʻopau i ka deformation thermal mai ke aʻa
Hoʻohana ka paepae mea ana pālahalaha granite ZHHIMG i ka granite kūlohelohe ma ke ʻano he mea kumu, e hoʻoponopono ana i ka pilikia o ka deformation thermal mai ke ʻano o ka mea. ʻO ke coefficient o ka hoʻonui wela o ka granite he 5-7 ×10⁻⁶/℃ wale nō, ʻo ia ka hapalua wale nō o ka hao i hoʻolei ʻia. Eia kekahi, he paʻa a like kona ʻano kūloko. ʻOiai ma lalo o nā loli wela koʻikoʻi, hiki iā ia ke mālama i ka nui a me ke ʻano paʻa. Hōʻike ka ʻikepili keʻena hoʻokolohua i loko o kahi kaiapuni me ka loli o ka mahana o 20℃, ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka deformation linear o ka paepae granite ma mua o 0.0014mm, kokoke i ka liʻiliʻi.
Ma waho aʻe o nā pono waiwai, ua hoʻohana ʻo ZHHIMG i kahi ʻenehana hana ultra-precision i hoʻopaʻa ʻia. Ma o nā ʻano hana wili a me ka polishing CNC, ua hoʻonui ʻia ka pālahalaha o ka ʻili o ka paepae i ±0.001mm/m, e hōʻea ana i ka pae kiʻekiʻe loa i ka ʻoihana. I kēia manawa, ua hoʻolālā ʻia kahi ʻano hoʻokuʻu koʻikoʻi kū hoʻokahi i loko o ka paepae, kahi e hoʻonui hou ai i ka paʻakikī a hoʻopuehu pono i nā deformations minuke i hoʻokumu ʻia e ke koʻikoʻi wela, e hōʻoiaʻiʻo ana e paʻa a hilinaʻi hoʻi ke kuhikuhi ana i nā manawa a pau.
Palapala hōʻoia pololei pae Aaa: He kūpaʻa maikaʻi i kākoʻo ʻia e ka mana
Ua hala ka paepae granite ZHHIMG i ka palapala hōʻoia pololei pae AAA e kahi ʻoihana mana honua. Pono kēia kūlana hōʻoia e hoʻomalu mau ʻia ka hewa ana o nā lako i loko o ±0.3μm ma lalo o nā loli kaiapuni he nui e like me ka mahana, ka makū a me ka haʻalulu. No ka hoʻokō ʻana i kēia kūlana, ua hoʻokumu ʻo ZHHIMG i kahi ʻōnaehana hoʻomalu maikaʻi piha: mai ka nānā ʻana i ka ʻai granite maka, ka hana pololei a hiki i ka nānā ʻana i nā huahana i hoʻopau ʻia, ua nānā pono ʻia kēlā me kēia loulou e nā lako nānā automated. No ka laʻana, hoʻohana ʻia kahi interferometer laser e hana i ka scan micron-level o ka ʻili paepae e hōʻoia i ka hoʻonui ʻia ʻana o ka hewa flatness. Ua hōʻoia ʻia ke kūpaʻa wela o ka paepae ma ka hoʻohālike ʻana i nā kaiapuni koʻikoʻi ma o kahi keʻena hoʻokolohua mahana a me ka makū mau.
Ma nā noi hana, ua hōʻike ka paepae ZHHIMG i nā pono koʻikoʻi i nā ʻoihana e like me nā semiconductors, nā aniani optical, a me nā ʻōmole kikoʻī. Ma hope o ka hoʻolauna ʻana o kekahi ʻoihana semiconductor i kēia paepae, ua hoʻemi ʻia ka hewa ana o ka palahalaha e 90%, a ua hoʻonui ʻia ka nui o ka hua huahana e 15%, e hoʻoponopono pono ana i ka pilikia hana hou i hoʻokumu ʻia e nā hewa ana.
I ke kua o ka hoʻonui ʻana o ka ʻoihana hana i ka pololei kiʻekiʻe a me ke akamai, ua wehewehe hou ka paepae mea ana pālahalaha granite ZHHIMG i ke kūlana o ke ana pololei me kona mana hope loa ma luna o ka deformation thermal a me ka palapala hōʻoia pololei AAA. ʻAʻole ia e hāʻawi wale i nā hōʻoia ana hilinaʻi no nā ʻoihana, akā hoʻolaha pū kekahi i ka lele ʻenehana o ka ʻoihana mai ka "hoʻoholo empirical" a i ka "ʻike pololei".
Ka manawa hoʻouna: Mei-12-2025

