Ma ke kahua o ka hana semiconductor, ʻo ka pololei sub-micron ke kī i ka hōʻoia ʻana i ka hana chip, a ʻo ke kumu granite (ZHHIMG®), me kona mau waiwai mea, ka hana pololei a me ka hoʻolālā hou, ua lilo ia i hōʻoia koʻikoʻi no ka hoʻokō ʻana i kēia pololei.
Mai ka nānā ʻana i nā waiwai o nā mea, ʻo ka granite ʻeleʻele i koho ʻia e ZHHIMG® he density ma kahi o 3100kg/m³, me kahi ʻano kūloko paʻa. Hāʻawi kēia density kiʻekiʻe iā ia me ke kūpaʻa a me ka paʻa loa. I ka wā o ka hana ʻana o nā lako semiconductor, ʻo ka hoʻohuli ʻana o nā motika a me ka neʻe ʻana o nā ʻāpana mechanical i loko o nā lako e hoʻoulu ai i nā haʻalulu. Hiki i ke kumu granite ke omo pono ma luna o 90% o ka ikehu haʻalulu, e hōʻemi nui ana i ka hopena o ka haʻalulu ma ka pololei o nā lako. I kēia manawa, ʻo kona coefficient haʻahaʻa loa o ka hoʻonui ʻana i ka thermal e hiki ai iā ia ke mālama i kona deformation i loko o kahi pae liʻiliʻi loa i ka wā e loli ai ka mahana ambient, e hāʻawi ana i kahi kahua kākoʻo paʻa no nā lako semiconductor a pale i ka neʻe ʻana o nā ʻāpana lako ma muli o nā loli o ka mahana, hiki ke hoʻopilikia i ka pololei.
Ma ke ʻano o ka hana ʻana a me ka hana ʻana, ua hoʻohana ka hale hana ZHHIMG® i nā lako hana holomua honua a he ʻehā mau mīkini wili nui loa (ʻoi aku ke kumukūʻai o kēlā me kēia mīkini ma mua o 500,000usd), hiki ke hana i ka wili pololei kiʻekiʻe ma ka granite. Ma o ka mīkini CNC linkage ʻelima-axis a me nā kaʻina hana ʻē aʻe, hiki i ka pālahalaha o ke kumu mīkini ke hiki i ka pae nanometer, e hāʻawi ana i kahi ʻili kuhikuhi ultra-flat no ka hoʻokomo ʻana i nā lako semiconductor a me ka hōʻoia ʻana i ke kūlana pololei o kēlā me kēia ʻāpana o nā lako. Eia kekahi, ʻo ka hale hana mahana a me ka haʻahaʻa mau (e uhi ana i kahi ʻāpana o 10,000 mika square) e hāʻawi i kahi kūlana paʻa no ka hana ʻana. ʻO nā ʻauwaha anti-vibration 500mm ka laulā a me 2000mm ka hohonu a puni, a me nā cranes leo ʻole, e hoʻokaʻawale pono i ka hoʻopilikia haʻalulu o waho a hōʻoia i ka pololei o ka hana ʻana o ke kumu mīkini.
Eia kekahi, loaʻa iā ZHHIMG® kahi hiki ke hoʻopilikino ikaika. No nā koi kūikawā o nā lako semiconductor, hiki ke hana mua ʻia nā lua hoʻokomo pololei a me nā pā kaula e hoʻokō ai i ka hoʻohālikelike kūpono ma waena o nā lako a me ke kumu. I ka manawa like, me ka hui pū ʻana me ka metrology papa honua a me nā lako hoʻāʻo e like me ke anakahi minuke Mahr Kelemania (me ka pololei o 0.5um) a me ka pae uila Swiss WYLER, ua nānā pono ʻia ke kumu mīkini a ua hoʻoponopono ʻia e hōʻoia i hiki i kēlā me kēia kumu mīkini ke hoʻokō i nā koi koʻikoʻi o nā lako semiconductor no ka pololei o ka pae sub-micron.
ʻO ka hui pū ʻana o kēia mau pono e hoʻolilo ai i ke kumu granite ZHHIMG® i koho hilinaʻi no ka hoʻokō ʻana i ka pololei sub-micron i nā lako semiconductor, e kōkua ana i ka hana semiconductor e neʻe i nā kahua kikoʻī kiʻekiʻe.
Ka manawa hoʻouna: Iune-18-2025