Pehea e hoʻomaikaʻi ai nā kumu mīkini Granite Kiʻekiʻe i ka Wafer Inspection Mea Pono.

In ka ʻoihana hana semiconductor, he mea koʻikoʻi ka pololei o nā mea nānā wafer no ka hōʻoia ʻana i ka maikaʻi o nā kaapuni hoʻohui. ʻO nā kumu mīkini granite kiʻekiʻe, e like me nā mea i hāʻawi ʻia e ZHHIMG®, he hana koʻikoʻi i ka hoʻonui ʻana i ka hana o ia mau mea hana. Eia pehea lākou e hoʻololi ai.
Hoʻohanohano ʻia ʻo Dimensional StabilityGranite haʻahaʻa haʻahaʻa haʻahaʻa loa, ma kahi o (4-8) × 10⁻⁶/℃, haʻahaʻa loa ma mua o nā metala he nui. I loko o ke kaiapuni paʻa o nā hale hana semiconductor, kahi e hiki ai i ka liʻiliʻi liʻiliʻi ke hoʻololi i ke ana ʻana, e paʻa mau nā kumu mīkini granite. Mālama kēia paʻa i ka pololei o ka hoʻonohonoho ʻana o nā ʻāpana i nā mea nānā wafer, e pale ana i nā ʻokiʻoki i hoʻoiho ʻia i ka wela e hiki ke hoʻopilikia i ka pololei o nā hopena nānā.

Hoʻopiha pinepine ʻia nā papahele Vibration DampingProduction me nā haʻalulu mai nā kumu like ʻole. ʻO nā waiwai hoʻoheheʻe ʻia o Granite, me ka ratio damping o 0.05-0.1, e hoʻopaʻa pono a hoʻopau i kēia mau haʻalulu. No ka wafer insp
ka mea e koi ana i ke kiʻi kiʻi hoʻonā kiʻekiʻe a me ka heluhelu sensor kikoʻī, ʻo ka hoʻemi ʻana i nā haʻalulu i hāʻawi ʻia e nā kumu granite he waiwai nui. Hoʻemi ʻo ia i ke keʻakeʻa i hiki ke hoʻopuehu i nā kiʻi a i ʻole nā ​​​​ʻikepili sensor, e hiki ai i nā mea hana ke hopu i ka ʻike maopopo a pololei e pili ana i ka ʻili o ka wafer a me ka hoʻolālā o loko.
ʻO ke kūpaʻa kiʻekiʻe a me ka pale ʻana me ka nui o kahi kokoke i 3100 kg/m³, hāʻawi nā kumu mīkini granite o ZHHIMG® i ka paʻa paʻa. Hiki iā lākou ke kākoʻo i nā ʻāpana koʻikoʻi o nā mea nānā wafer me ka ʻole deforming, mālama i ka alignment o nā ʻōnaehana optical a me mechanical. Eia kekahi, ʻo ka paʻakiki kiʻekiʻe o ka granite (Mohs scale 6–7) a me ke kūpaʻa ʻaʻahu maikaʻi e hōʻoia i ka paʻa ʻana o ka ʻili o ka waihona mīkini i ka palahalaha a me ka maʻalahi i ka manawa. Pono kēia kūlike no ka pololei o ka wā lōʻihi, no ka mea hiki ke hoʻohaʻahaʻa haʻahaʻa i ka pololei o ka mea hana.
Kemika InertnessSemiconductor manufacturing pili i ka hoʻolaha ʻana i nā ʻano kemika. ʻO ka ʻeleʻele kemika o Granite ka mea e pale ai i ka ʻino mai kēia mau mea. Mālama kēia waiwai i ka pono o ka waihona mīkini, pale i ka pōʻino i hoʻokomo ʻia i ke kemika e hiki ke hoʻopilikia i ka paʻa a me ka pololei o nā mea nānā.
I ka hopena, ʻaʻole ʻo nā kumu mīkini granite kiʻekiʻe he ʻāpana wale nō akā he mea kī nui no ka hoʻokō ʻana i nā koi pololei o nā mea nānā wafer. Ke koho ʻana i nā waihona mīkini granite, e koho i nā mea hoʻolako hilinaʻi e like me ZHHIMG®. Me nā palapala hōʻoia he nui a me ka hoʻokō i ka maikaʻi, ZHHIMG® e hōʻoia i kēlā me kēia waihona mīkini granite e hāʻawi i ka hilinaʻi a me ka hana e pono ai no ka hana semiconductor holomua.