Pehea e nānā ai i ka pololei o kahi paepae pololei granite? E hōʻoia inā he maʻamau ka pololei?

Ma nā kula e like me ka hana semiconductor a me nā mea ana i ka pololei, ʻo ka pololei o nā paepae precision granite e hoʻoholo pololei i ka maikaʻi o ka hana o nā mea hana. No ka hōʻoia ʻana i ka pololei o ka paepae i nā kūlana, pono e hana ʻia nā hana mai ʻelua ʻaoʻao: ka ʻike ʻana i nā hōʻailona koʻikoʻi a me ka hoʻokō ʻana i nā kūlana maʻamau. ʻ

ʻIke hōʻailona kumu: Manaʻo nui-dimensional o ka pololei
ʻIke palahalaha: E hoʻoholo ana i ka "flatness" o ka mokulele kuhikuhi
ʻO ka flatness ka hōʻailona koʻikoʻi o nā paepae precision granite, a ua ana pinepine ʻia e nā interferometers laser a i ʻole nā ​​​​pae uila. Hiki i ka laser interferometer ke ana pololei i nā minuke undulations ma ka ʻili o ka paepae ma ka hoʻokuʻu ʻana i kahi kukuna laser a me ka hoʻohana ʻana i ke kumu o ka hoʻopili māmā, me ka pololei e hiki i ka pae sub-micron. E ana ka pae uila ma o ka neʻe ʻana i nā manawa he nui a huki i ka palapala ʻāina ʻekolu-dimensional o ka ʻili o ka paepae e ʻike ai inā aia kekahi protrusions kūloko a i ʻole ke kaumaha. No ka laʻana, ʻo nā paepae granite i hoʻohana ʻia i nā mīkini kiʻi kiʻi semiconductor pono e loaʻa kahi pālahalaha o ± 0.5μm/m, ʻo ia hoʻi ʻo ka ʻokoʻa kiʻekiʻe i loko o ka lōʻihi 1-mika ʻaʻole pono ma mua o ka hapalua micrometer. Ma o nā lako ʻike kiʻekiʻe wale nō e hiki ai ke hōʻoia i kēia kūlana koʻikoʻi. ʻ
2. ʻIke pololei: E hōʻoia i ka "pololei" o ka neʻe laina
No nā paepae e lawe ana i nā ʻāpana neʻe pololei, he mea nui ka pololei. ʻO nā ala maʻamau no ka ʻike ʻana ʻo ke ala uea a i ʻole ka laser collimator. ʻO ke ʻano uea e pili ana i ka hoʻopaneʻe ʻana i nā uea kila kiʻekiʻe a me ka hoʻohālikelike ʻana i ke āpau ma waena o ka ʻili o ka paepae a me nā uea kila e hoʻoholo ai i ka pololei. Hoʻohana ka laser collimator i nā hiʻohiʻona hoʻolaha laina o ka laser no ka ʻike ʻana i ka hewa laina o ka ʻili hoʻonohonoho o ke ala alakaʻi kahua. Inā ʻaʻole kūpono ka pololei i ka maʻamau, e hoʻoneʻe ʻia nā mea hana i ka wā o ka neʻe ʻana, e pili ana i ka hoʻoili ʻana a i ʻole ke ana ʻana. ʻ
3. Ka ʻike ʻana i ka ʻino o ka ʻili: E hōʻoia i ka "maikaʻi" o ka pilina
Hoʻopilikia ka ʻili o ka ʻili i ke kūpono o ka hoʻokomo ʻana. ʻO ka maʻamau, hoʻohana ʻia kahi mika roughness stylus a i ʻole microscope optical no ka ʻike. Hoʻopaʻa ka mea kani ʻano stylus i nā hoʻololi kiʻekiʻe o ka ʻaoʻao microscopic ma o ka hoʻopili ʻana i ka ʻili o ke kahua me kahi ʻimi maikaʻi. Hiki i nā microscopes optical ke nānā pono i ke ʻano o ka ʻili. I nā noi kiʻekiʻe, pono e hoʻomalu ʻia ka ʻili o nā papa pōhaku granite ma Ra≤0.05μm, e like me ka hopena e like me ke aniani, e hōʻoia i ka paʻa ʻana o nā mea kikoʻī i ka wā o ka hoʻonohonoho ʻana a me ka pale ʻana i ka vibration a i ʻole ka neʻe ʻana i hana ʻia e nā āpau. ʻ
Hoʻopili nā kūlana kikoʻī: nā kuʻuna honua a me ka mana kūloko o ka ʻoihana
I kēia manawa, ma ke ao holoʻokoʻa, hoʻohana maʻamau ʻia nā kūlana ISO 25178 a me GB / T 24632 i kumu no ka hoʻoholo ʻana i ka pololei o nā paepae granite, a aia nā hoʻokaʻawale ʻokoʻa no nā hōʻailona e like me ka palahalaha a me ka pololei. Eia kekahi, hoʻonohonoho pinepine nā ʻoihana hana kiʻekiʻe i nā kūlana mana kūloko. No ka laʻana, ʻo 30% ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka pono palahalaha no ka paepae granite o ka mīkini photolithography. I ka hana ʻana i nā hoʻokolohua, pono e hoʻohālikelike ʻia nā ʻikepili i ana ʻia me nā kūlana kūpono. ʻO nā paepae wale nō i hoʻokō pono i nā kūlana hiki ke hōʻoia i ka hana paʻa i nā mea hana pololei. ʻ
ʻO ka nānā ʻana i ka pololei o nā papa kuhikuhi granite he papahana ʻōnaehana. Ma ka hoʻāʻo pono ʻana i nā hōʻailona koʻikoʻi e like me ka palahalaha, pololei, a me ka ʻili o ka ʻili, a me ka mālama ʻana i nā kūlana o ka honua a me ka ʻoihana, hiki ke hōʻoia i ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe a me ka hilinaʻi o ka paepae, e kau ana i ke kahua paʻa no nā māla hana kiʻekiʻe e like me semiconductors a me nā mea kani.