Ma nā kahua e like me ka hana ʻana o ka semiconductor a me nā mea ana pololei, ʻo ka pololei o nā kahua kikoʻī granite e hoʻoholo pololei i ka maikaʻi o ka hana o nā lako. No ka hōʻoia ʻana e kūlike ka pololei o ka paepae me nā kūlana, pono e hana ʻia nā hoʻoikaika ʻana mai ʻelua mau ʻano: ka ʻike ʻana i nā ʻōkuhi koʻikoʻi a me ka hoʻokō ʻana me nā kūlana maʻamau.
ʻIke ʻana i ka ʻōkuhi koʻikoʻi: Ka mana o ka pololei ma nā ʻano he nui
Ka ʻike ʻana i ka palahalaha: Ke hoʻoholo nei i ka "palahalaha" o ka mokulele kuhikuhi
ʻO ka pālahalaha ke kumu nui o nā kahua kikoʻī granite, a ua ana pinepine ʻia e nā interferometers laser a i ʻole nā pae uila. Hiki i ka interferometer laser ke ana pololei i nā undulations minuke ma ka ʻili o ka paepae ma ka hoʻopuka ʻana i kahi kukuna laser a me ka hoʻohana ʻana i ke kumumanaʻo o ka hoʻopilikia ʻana o ka mālamalama, me ka pololei e hiki ana i ka pae sub-micron. Ana ka pae uila ma ka neʻe ʻana i nā manawa he nui a kahakiʻi i kahi palapala ʻāina contour ʻekolu-dimensional o ka ʻili o ka paepae e ʻike ai inā he mau protrusions kūloko a i ʻole nā depressions. No ka laʻana, pono nā kahua granite i hoʻohana ʻia i nā mīkini photolithography semiconductor e loaʻa ka pālahalaha o ± 0.5μm/m, ʻo ia hoʻi, ʻaʻole pono e ʻoi aku ka ʻokoʻa kiʻekiʻe i loko o ka lōʻihi 1-mika ma mua o ka hapalua micrometer. Ma o nā lako ʻike kikoʻī kiʻekiʻe wale nō hiki ke hōʻoia ʻia kēia kūlana koʻikoʻi.
2. Ka ʻike ʻana i ke kū pololei: E hōʻoia i ka "kū pololei" o ka neʻe linear
No nā kahua e halihali ana i nā ʻāpana neʻe pololei, he mea nui loa ka pololei. ʻO nā ʻano maʻamau no ka ʻike ʻana, ʻo ia ke ʻano uea a i ʻole ka laser collimator. Pili ke ʻano uea i ke kau ʻana i nā uea kila kiʻekiʻe a me ka hoʻohālikelike ʻana i ka hakahaka ma waena o ka ʻili o ka paepae a me nā uea kila e hoʻoholo ai i ka pololei. Hoʻohana ka laser collimator i nā ʻano hoʻolaha linear o ka laser e ʻike i ka hewa linear o ka ʻili hoʻonohonoho o ke ala alakaʻi paepae. Inā ʻaʻole kūlike ka pololei me ke kūlana, e hoʻoneʻe ia i nā lako i ka wā o ka neʻe ʻana, e hoʻopilikia ana i ka pololei o ke kaʻina hana a i ʻole ke ana ʻana.
3. Ka ʻike ʻana i ka ʻili ʻāwili: E hōʻoia i ka "maikaʻi" o ka hoʻopili ʻana
Hoʻopilikia ka ʻoʻoleʻa o ka ʻili o ke kahua i ke kūpono o ke kau ʻana o nā ʻāpana. Ma ke ʻano laulā, hoʻohana ʻia kahi mika ʻoʻoleʻa stylus a i ʻole kahi microscope optical no ka ʻike ʻana. Hoʻopaʻa ka mea kani ʻano stylus i nā loli kiʻekiʻe o ke ʻano microscope ma ka hoʻopili ʻana i ka ʻili o ke kahua me kahi probe maikaʻi. Hiki i nā microscope optical ke nānā pololei i ke ʻano o ka ʻili. I nā noi kikoʻī kiʻekiʻe, pono e hoʻomalu ʻia ka ʻoʻoleʻa o ka ʻili o nā kahua granite ma Ra≤0.05μm, ʻo ia ka mea like me ka hopena aniani, e hōʻoia ana e kūpono pono nā ʻāpana kikoʻī i ka wā o ke kau ʻana a me ka pale ʻana i ka haʻalulu a i ʻole ka neʻe ʻana i hana ʻia e nā hakahaka.
Eia nā kūlana kikoʻī: nā kūlana honua a me ka mana kūloko o ka ʻoihana
I kēia manawa, ma ka honua holoʻokoʻa, hoʻohana pinepine ʻia nā kūlana ISO 25178 a me GB/T 24632 ma ke ʻano he kumu no ka hoʻoholo ʻana i ka pololei o nā kahua granite, a aia nā hoʻokaʻawale maopopo no nā ʻōkuhi e like me ka pālahalaha a me ka pololei. Eia kekahi, hoʻonohonoho pinepine nā ʻoihana hana kiʻekiʻe i nā kūlana mana kūloko koʻikoʻi. No ka laʻana, ʻo ke koi pālahalaha no ka paepae granite o ka mīkini photolithography he 30% kiʻekiʻe ma mua o ke kūlana honua. I ka wā e hana ai i nā hoʻokolohua, pono e hoʻohālikelike ʻia nā ʻikepili i ana ʻia me nā kūlana like. ʻO nā kahua wale nō e hoʻokō piha ana i nā kūlana hiki ke hōʻoia i ka hana paʻa i nā lako kikoʻī.
He papahana ʻōnaehana ka nānā ʻana i ka pololei o nā kahua kikoʻī granite. Ma ka hoʻāʻo pono ʻana i nā ʻōkuhi koʻikoʻi e like me ka pālahalaha, ka pololei, a me ka ʻoʻoleʻa o ka ʻili, a me ka pili ʻana i nā kūlana honua a me nā ʻoihana, hiki ke hōʻoia ʻia ka pololei kiʻekiʻe a me ka hilinaʻi o ke kahua, e kau ana i kahi kahua paʻa no nā kahua hana kiʻekiʻe e like me nā semiconductors a me nā mea hana kikoʻī.
Ka manawa hoʻouna: Mei-21-2025