Ma nā ʻāpana hea o ka ʻōnaehana hoʻoili wafer e hoʻohana ʻia ai nā mea granite?

Hoʻohana nui ʻia nā mea Granite i ka ʻoihana semiconductor ma muli o ko lākou mau hiʻohiʻona maikaʻi loa, e like me ke kūpaʻa kiʻekiʻe, ka hoʻonui haʻahaʻa haʻahaʻa, a me ke kūpaʻa kiʻekiʻe i ka corrosion.Hana kēia mau waiwai i ka granite i mea kūpono no ke kūkulu ʻana i nā mea kikoʻī kiʻekiʻe i loko o kahi ʻōnaehana hoʻoili wafer.

Ma ke kaʻina hana semiconductor, he hana koʻikoʻi ka ʻōnaehana hoʻoili wafer i ka lawe ʻana i nā wafers ma nā pae like ʻole o ke kaʻina hana.ʻO ka pololei a me ka pololei nā koi koʻikoʻi no kēia mau ʻōnaehana no ka mea hiki ke hoʻopilikia i ke kaʻina holoʻokoʻa.No laila, pono e hana ʻia nā ʻāpana i loko o ka ʻōnaehana hoʻoili wafer mai nā mea kiʻekiʻe kiʻekiʻe, a hoʻokō ka granite i kēlā mau pae.

ʻO kekahi mau ʻāpana o ka ʻōnaehana hoʻoili wafer i hana ʻia mai nā mea granite penei:

1. Paʻaʻauʻau Chuck

Hoʻohana ʻia ka papa ʻaina vacuum no ka hoʻopaʻa ʻana i ka wafer i ka wā o ke kaʻina hana, a pono e loaʻa kahi ʻili paʻa e hōʻoia ʻole i ka pōʻino o ka wafer.ʻO Granite kahi mea kūpono no ka hana ʻana i kēia papaʻaina no ka mea he palahalaha, ʻaʻole porous ka ʻili e hāʻawi ai i ke kūpaʻa kiʻekiʻe a me ka pololei.Eia kekahi, he haʻahaʻa haʻahaʻa ko ka granite o ka hoʻonui ʻana i ka wela, e pale aku i nā loli wela e hiki ke hoʻololi i ka nui o ka wafer.

2. Pae Aina Ea

Hoʻohana ʻia ka pae ea e lawe i ka wafer ma nā ʻano like ʻole o ka hana hana.Hoʻolālā ʻia ke kahua e hāʻawi i kahi neʻe frictionless, e koi ana i ka pololei kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa.Hoʻohana ʻia ka Granite i kēia noi no ka mea he pōhaku ʻoʻoleʻa a paʻakikī, a kūʻē i ka deformation a me ka ʻaʻahu i ka wā.

3. Nā alakaʻi alakaʻi laina laina

Hoʻohana ʻia nā alakaʻi alakaʻi laina e alakaʻi i ka pae ea, a pono lākou e hoʻonohonoho pono e hōʻemi i nā hewa.Hoʻohana ʻia ka Granite no ke kūkulu ʻana i kēia alakaʻi no ka mea ʻoi aku ka maikaʻi o ka mīkini paʻa a me ka ikaika.ʻO ka mea hoʻi he corrosion-resistant, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka lōʻihi o ka ʻōnaehana alakaʻi.

4. Na Lako Metrology

Hoʻohana ʻia nā mea metrology e ana i nā ana a me nā waiwai o ka wafer i ka wā o ka hana ʻana.ʻO ka Granite kahi mea kūpono no ke kūkulu ʻana i kēia mea hana no ka mea he kiʻekiʻe ka ʻoʻoleʻa, haʻahaʻa hoʻonui, a me ka liʻiliʻi deformation ma lalo o ka ukana.Eia kekahi, ʻo ke kūpaʻa wela o ka granite e hōʻoia i ka paʻa mau ʻana o nā lako metrology a pololei i ka manawa.

I ka hopena, hilinaʻi ka ʻoihana semiconductor i ka pololei a me ka pololei, a ua hōʻoia ʻia nā mea granite i hilinaʻi nui a paʻa i ka hana hana.Me nā mea koʻikoʻi he nui i loko o ka ʻōnaehana hoʻoili wafer e koi ana i ke kūpaʻa kiʻekiʻe, ka pololei, a me ka hoʻonui haʻahaʻa haʻahaʻa, ua huli nā mea ʻenehana i nā mea granite e hoʻokō i kēia mau koi koʻikoʻi.