Linear motor + granite base: ʻO ka mea huna o ka hanauna hou o ka ʻōnaehana hoʻoili wafer.

Ma ke kaulahao pololei o ka hana semiconductor, ʻo ka ʻōnaehana hoʻoili wafer e like me ka "lifeline o ka laina hana chip", a ʻo kona kūpaʻa a me ka pololei e hoʻoholo pololei i ka hopena o nā chips. Hoʻohui hou ka hanauna hou o nā ʻōnaehana hoʻoili wafer i nā motika linear me nā kumu granite, a ʻo nā pono kūʻokoʻa o nā mea granite ʻo ia ke kumu kumu e wehe ai i ka hoʻoili hana kiʻekiʻe.

ʻ
Kumu Granite: Ke kūkulu ʻana i "kumu paʻa pōhaku" no ka hoʻouna paʻa
ʻO Granite, i loaʻa i nā haneli miliona mau makahiki o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka honua, e hōʻike ana i ka crystallization mineral kūloko a paʻa. ʻO kēia hiʻohiʻona kūlohelohe kahi mea kumu kūpono no nā ʻōnaehana hoʻoili wafer. I loko o ka paʻakikī o nā lumi lumi semiconductor, granite, me kāna coefficient ultra-haʻahaʻa o ka hoʻonui wela (ʻo 5-7 × 10⁻⁶ / ℃ wale nō), hiki ke pale i ka wela i hana ʻia i ka wā o ka hana ʻana a me ka hopena o ka hoʻololi ʻana o ke kaiapuni. Hiki i kāna hana hoʻoheheʻe haʻalulu ke hoʻopaʻa koke i nā haʻalulu mechanical i hana ʻia i ka wā o ka hoʻomaka ʻana, ka pani ʻana a me ka wikiwiki o nā kaʻa laina, a me nā pilikia o waho i lawe ʻia e ka hana ʻana o nā mea hana ʻē aʻe i ka hale hana, e hāʻawi ana i kahi kahua paʻa me ka "zero shake" no ka wafer transmission. ʻ
Eia nō naʻe, ʻo ke kūpaʻa kemika o ka granite e hōʻoiaʻiʻo ʻaʻole ia e ʻino a ʻeleʻele paha i loko o nā hale hana semiconductor kahi e hoʻoheheʻe ʻia ai ka waikawa a me ka alkali reagents a koi ʻia ka hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe, no laila e pale aku i ka hopena i ka pololei o ka hoʻouna ʻana ma muli o ka ʻelemakule a i ʻole adsorption pollutant. Hiki i nā hiʻohiʻona maʻemaʻe a paʻakikī ke hōʻemi i ka hoʻopili ʻana i ka lepo, e hoʻokō i nā kūlana koʻikoʻi o ka lepo ʻole o nā lumi maʻemaʻe a me ka hoʻopau ʻana i ka pilikia o ka hoʻohaumia ʻana mai ke kumu. ʻ
ʻO ka hopena "hui gula" o nā laina laina a me ka granite
ʻO nā kaʻa laina laina, me kā lākou mau hiʻohiʻona o ka ʻae ʻole ʻana o ka mīkini, ka wikiwiki kiʻekiʻe a me ka wikiwiki pane kiʻekiʻe, e hāʻawi i ka wafer transmission me nā pono o ka "wikiwiki, pololei a paʻa". Hāʻawi ke kumu granite i kahi kahua kākoʻo paʻa a hilinaʻi no ia. Hana pū nā mea ʻelua e hoʻokō i kahi lele i ka hana. Ke hoʻokele nei ka mīkini laina i ka mea lawe wafer e holo ma ke ala kumu granite, ʻo ka rigidity ikaika a me ka paʻa o ke kumu e hōʻoia i ka hoʻouna pono ʻana o ka mana hoʻokele kaʻa, e pale aku i ka nalo ʻana a i ʻole ka hoʻouna ʻana i ka lag ma muli o ka deformation base. ʻ
Ke alakaʻi ʻia e ka noi no ka pololei nanoscale, hiki i nā mīkini laina ke hoʻokō i ka mana hoʻoneʻe sub-micron-level. ʻO nā hiʻohiʻona kaʻina hana kiʻekiʻe o nā kumu granite (me nā hewa palahalaha i hoʻomalu ʻia i loko o ± 1μm) kūpono i ka mana pololei o nā kaʻa laina laina, me ka hōʻoia ʻana i ka hewa o ka hoʻonohonoho ʻana i ka wā o ka wafer ma lalo o ± 5μm. ʻO ka hoʻokuʻu kiʻekiʻe paha ma waena o nā lako kaʻina hana a i ʻole ke kaʻa pololei no ka hāʻawi ʻana i ka wafer, hiki i ka hui pū ʻana o nā motika laina a me nā kumu granite ke hōʻoia i ka "zero deviation a me zero jitter" i ka wafer transmission. ʻ
Hōʻoia hana ʻoihana: ʻElua hoʻomaikaʻi ʻana i ka maikaʻi a me ka helu hua
Ma hope o ka hoʻomaikaʻi ʻana i kāna ʻōnaehana hoʻoili wafer, ua hoʻohana kahi ʻoihana semiconductor honua i kahi linear motor + granite base solution, ka mea i hoʻonui i ka pono o ka hoʻoili wafer e 40%, hoʻemi i ka nui o nā hewa e like me ka collision a offset i ka wā o ka hoʻoili ʻana e 85%, a hoʻomaikaʻi i ka nui o ka hopena o nā chips e 6%. Aia ma hope o ka ʻikepili ka hōʻoia o ka paʻa o ka hoʻouna ʻana i hāʻawi ʻia e ke kumu granite a me ka hopena synergy kiʻekiʻe a me ka pololei o ka mīkini laina, e hōʻemi nui ana i ka nalowale a me ka hewa i ke kaʻina hana wafer. ʻ
Mai nā waiwai waiwai a hiki i ka hana pololei, mai nā pono hana a hiki i ka hōʻoia kūpono, ʻo ka hui pū ʻana o nā motika linear a me nā kumu granite ua hoʻololi hou i nā kūlana o nā ʻōnaehana hoʻoili wafer. I ka wā e hiki mai ana i ka holomua ʻana o ka ʻenehana semiconductor i nā kaʻina hana 3nm a me 2nm, e hoʻomau mau ʻia nā mea granite e hoʻokomo i ka impetus ikaika i ka hoʻomohala ʻana o ka ʻoihana me kā lākou mau pono kūpono ʻole.