ʻ
Ma ke kahua o ka hana semiconductor, ʻo ka pololei ke ola o ka huahana a me ka hana. ʻO nā mea hana semiconductor metering, ma ke ʻano he loulou kī e hōʻoia i ka pololei o ka hana ʻana, e kau ana i nā koi koʻikoʻi i ka paʻa o kāna mau mea nui. I waena o lākou, ʻo ka paepae granite, me kāna kūpaʻa wela koʻikoʻi, ke hana nui nei i nā mea hana semiconductor metering. E alakaʻi kēia ʻatikala i kahi loiloi hohonu o ka hana kūpaʻa wela o nā paepae granite i nā lako mīkini semiconductor ma o ka ʻikepili hoʻāʻo maoli. ʻ
ʻO nā koi koʻikoʻi no ka paʻa wela o nā mea ana i ka hana semiconductor
ʻO ke kaʻina hana semiconductor he paʻakikī a pololei, a ua komo ka laulā o nā laina kaapuni ma ka chip i ka pae nanometer. I loko o ia kaʻina hana hana kiʻekiʻe, hiki i ka hoʻololi iki ʻana i ka wela ke hoʻonui i ka wela a me ka ʻoki ʻana o nā ʻāpana mea hana, a laila e hoʻoulu ai i nā hewa ana. No ka laʻana, ma ke kaʻina hana photolithography, inā e haʻalele ka pololei o ke ana ʻana o nā mea ana i ka 1 nanometer, hiki ke hoʻopilikia i nā pilikia koʻikoʻi e like me nā pōkole pōkole a i ʻole nā kaapuni hāmama i nā kaapuni ma ka chip, e alakaʻi ana i ka ʻoki ʻana o ka chip. Wahi a nā helu ʻikepili ʻoihana, no kēlā me kēia 1 ℃ ka hoʻololi ʻana i ka mahana, hiki ke hoʻololi ʻia ke ʻano metala maʻamau o nā nanometer. Eia nō naʻe, pono ka hana semiconductor i ke ana pono e hoʻomalu ʻia i loko o ± 0.1 nanometer, e hana ana i ka paʻa wela i mea koʻikoʻi i ka hoʻoholo ʻana inā hiki i ka mīkini ana ke hoʻokō i nā koi o ka hana semiconductor. ʻ
ʻO nā pōmaikaʻi o ke kūpaʻa wela o nā paepae granite
ʻO Granite, e like me ke ʻano o ka pōhaku maoli, loaʻa i ka crystallization mineral kūloko kūloko, kahi ʻano paʻa a me ke ʻano like, a loaʻa iā ia ka pono kūlohelohe o ka paʻa wela. Ma ke ʻano o ka coefficient o ka hoʻonui wela, he haʻahaʻa loa ka coefficient o ka hoʻonui wela o ka granite, maʻamau mai 4.5 a 6.5 × 10⁻⁶/K. ʻO ka hoʻohālikelike, ʻo ka coefficient o ka hoʻonui wela o nā mea metala maʻamau e like me nā alumini alumini he kiʻekiʻe e like me 23.8 × 10⁻⁶/K, ʻo ia ka nui o ka granite. ʻO ia ke ʻano ma lalo o nā kūlana hoʻololi like ʻana o ka mahana, ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka hoʻololi ʻana o ka paepae granite ma mua o ka paepae metala, hiki ke hāʻawi i kahi kuhikuhi ana paʻa no nā lako mīkini mika semiconductor. ʻ
Eia kekahi, ʻo ke ʻano aniani o ka granite e hāʻawi iā ia me ka hoʻohālikelike maikaʻi loa o ka conduction wela. Ke hoʻololi ka hana o ka mea hana i ka wela a i ʻole ka hoʻololi ʻana o ka wela, hiki i ka paepae granite ke hoʻokuʻu koke i ka wela, e pale aku i ka overheating kūloko a i ʻole overcooling phenomena, no laila e mālama pono i ka kūlike o ka wela o ka paepae a me ka hōʻoia ʻana i ka paʻa o ke ana pololei. ʻ
ʻO ke kaʻina hana a me ke ʻano o ke ana kūpaʻa wela
I mea e loiloi pono ai i ke kūpaʻa wela o ka paepae granite i nā mea hoʻohālikelike semiconductor, ua hoʻolālā mākou i kahi hoʻolālā ana koʻikoʻi. E koho i kahi mea ana i ka wafer semiconductor kiʻekiʻe, i hoʻolako ʻia me kahi paepae granite i hoʻoponopono ʻia. I loko o ka hoʻokolohua hoʻokolohua, ua hoʻohālikelike ʻia ke ʻano o ka hoʻololi ʻana o ka mahana ma ka hale hana semiconductor, ʻo ia hoʻi, e hoʻomaha mālie ana mai 20 ℃ a 35 ℃ a laila hoʻomaha hou i 20 ℃. ʻO ke kaʻina hana holoʻokoʻa no 8 mau hola. ʻ
Ma luna o ke kahua granite o ka mea ana, ua kau ʻia nā wafers silicon maʻamau, a ua hoʻohana ʻia nā ʻenekini hoʻoneʻe me ka pololei nanoscale e nānā i nā loli kūlana pili ma waena o nā wafers silicon a me ka paepae i ka manawa maoli. I kēia manawa, hoʻonohonoho ʻia nā mea ʻike wela kiʻekiʻe ma nā kūlana like ʻole ma luna o ke kahua e nānā i ka hāʻawi ʻana i ka wela ma ka ʻili o ka paepae. I ka wā o ka hoʻokolohua, ua hoʻopaʻa ʻia ka ʻikepili hoʻoneʻe a me ka ʻikepili wela i kēlā me kēia 15 mau minuke e hōʻoia i ka piha a me ka pololei o ka ʻikepili. ʻ
Ana ʻikepili a me ka ʻikepili hopena
ʻO ka pilina ma waena o ka hoʻololi wela a me ka nui o ka paepae
Hōʻike ka ʻikepili hoʻokolohua i ka piʻi ʻana o ka mahana mai 20 ℃ a 35 ℃, liʻiliʻi loa ka loli o ka nui laina o ka paepae granite. Ma hope o ka helu ʻana, i loko o ke kaʻina hana hoʻomehana holoʻokoʻa, ʻo ka hoʻonui laina laina kiʻekiʻe o ka paepae he 0.3 nanometer wale nō, ʻoi aku ka haʻahaʻa ma mua o ka pae hoʻomanawanui hewa no ke ana pololei ʻana i nā kaʻina hana semiconductor. I ka wā hoʻoluʻu, hiki ke hoʻi hou ka nui o ka paepae i ke kūlana mua, a hiki ke nānā ʻole ʻia ke ʻano lag o ka loli nui. ʻO kēia hiʻohiʻona o ka mālama ʻana i nā loli haʻahaʻa haʻahaʻa loa ma lalo o nā loli wela nui e hōʻoia piha i ka paʻa wela o ka paepae granite. ʻ
Ka Ikepili o ka like ole o ka wela ma ka ili anuu
Hōʻike ka ʻikepili i hōʻiliʻili ʻia e ka mea ʻike wela i ka wā o ka hana ʻana o nā mea hana a me ke kaʻina o ka hoʻololi ʻana i ka mahana, ʻo ka hāʻawi ʻana i ka mahana ma luna o ka ʻili o ka paepae granite he ʻano like loa. ʻOiai i ka wā e loli nui ai ka wela, e hoʻomalu mau ʻia ka ʻokoʻa wela ma waena o kēlā me kēia helu ana ma ka ʻili o ka paepae i loko o ± 0.1 ℃. ʻAʻole maikaʻi ka hāʻawi ʻana i ka mahana like ʻole i ka deformation platform ma muli o ke koʻikoʻi wela ʻole, e hōʻoia ana i ka palahalaha a me ka paʻa o ka ʻili kuhikuhi ana, a me ka hāʻawi ʻana i kahi ʻano ana pono no nā lako metrology semiconductor. ʻ
Hoʻohālikelike ʻia me nā paepae mea kahiko
Ua hoʻohālikelike ʻia nā ʻikepili i ana ʻia o ka paepae granite me nā mea ana o nā lako semiconductor ana o ke ʻano like me ka hoʻohana ʻana i ka paepae alumini alumini, a he nui nā ʻokoʻa. Ma lalo o nā kūlana hoʻololi like, ʻo ka hoʻonui laina o ka paepae alumini alumini he kiʻekiʻe e like me 2.5 nanometers, ʻoi aku ia ma mua o ʻewalu mau manawa o ka paepae granite. Eia nō naʻe, ʻaʻole kūlike ka hāʻawi ʻana o ka wela ma ka ʻili o ka paepae alumini, me ka ʻokoʻa kiʻekiʻe o ka wela a hiki i ka 0.8 ℃, e hopena i ka deformation maopopo o ka paepae a pili nui i ka pololei o ke ana. ʻ
Ma ka honua pololei o nā lako metrology semiconductor, ua lilo nā paepae granite, me ko lākou kūpaʻa wela koʻikoʻi, i mea nui i ka hōʻoia ʻana i ka pololei o ke ana. Hōʻike ikaika ka ʻikepili i ana ʻia i ka hana koʻikoʻi o ka paepae granite i ka pane ʻana i nā loli wela, e hāʻawi ana i ke kākoʻo ʻenehana hilinaʻi no ka ʻoihana hana semiconductor. Ke neʻe nei nā kaʻina hana semiconductor i ka ʻoi aku ka pololei, ʻoi aku ka maikaʻi o ke kūpaʻa wela o nā paepae granite, e hoʻomau mau ana i ka hana ʻenehana a me ka hoʻomohala ʻana i ka ʻoihana.
Ka manawa hoʻouna: Mei-13-2025