,
Ma ke kahua o ka hana semiconductor, ʻo ka pololei ke ola o ka maikaʻi a me ka hana o ka huahana. ʻO nā lako ana Semiconductor, ma ke ʻano he loulou koʻikoʻi e hōʻoia i ka pololei o ka hana ʻana, e kau ana i nā koi koʻikoʻi ma ke kūpaʻa o kāna mau ʻāpana koʻikoʻi. I waena o lākou, ʻo ka paepae granite, me kona kūpaʻa wela koʻikoʻi, he kuleana koʻikoʻi ia i nā lako ana semiconductor. E hana kēia ʻatikala i kahi loiloi hohonu o ka hana kūpaʻa wela o nā paepae granite i nā lako ana semiconductor ma o ka ʻikepili hoʻāʻo maoli.
ʻO nā koi koʻikoʻi no ke kūpaʻa wela o nā lako ana i ka hana semiconductor
He paʻakikī loa a pololei ke kaʻina hana semiconductor, a ua komo ka laulā o nā laina kaapuni ma ka chip i ka pae nanometer. Ma ia ʻano hana hana kiʻekiʻe, ʻoiai ka loli iki o ka mahana hiki ke hoʻonui i ka thermal a me ka ʻūlū ʻana o nā ʻāpana lako, a laila e hoʻoulu ai i nā hewa ana. No ka laʻana, ma ke kaʻina hana photolithography, inā ʻokoʻa ka pololei o ke ana ʻana o nā lako ana e 1 nanometer, hiki ke hana i nā pilikia koʻikoʻi e like me nā kaapuni pōkole a i ʻole nā kaapuni hāmama i loko o nā kaapuni ma ka chip, e alakaʻi ana i ka ʻōpala ʻana o ka chip. Wahi a nā helu helu ʻoihana, no kēlā me kēia loli 1 ℃ i ka mahana, hiki i ka paepae lako ana mea metala kuʻuna ke loli i nā dimensional o kekahi mau nanometer. Eia nō naʻe, pono ka hana semiconductor e hoʻomalu ʻia ka pololei o ke ana ʻana i loko o ± 0.1 nanometers, kahi e lilo ai ke kūpaʻa thermal i mea nui i ka hoʻoholo ʻana inā hiki i nā lako ana ke hoʻokō i nā koi o ka hana semiconductor.
Nā pono kumumanaʻo o ke kūpaʻa wela o nā kahua granite
ʻO ka Granite, ma ke ʻano he ʻano pōhaku kūlohelohe, he crystallization mineral kūloko paʻa, he ʻano paʻa a like, a loaʻa iā ia ka pono kūlohelohe o ke kūpaʻa wela. Ma ke ʻano o ke coefficient o ka hoʻonui wela, he haʻahaʻa loa ke coefficient o ka hoʻonui wela o ka granite, ma ke ʻano maʻamau mai 4.5 a 6.5 × 10⁻⁶ / K. I ka hoʻohālikelike ʻana, ʻo ke coefficient o ka hoʻonui wela o nā mea metala maʻamau e like me nā alloys alumini he kiʻekiʻe e like me 23.8 × 10⁻⁶ / K, ʻo ia kekahi mau manawa o ka granite. ʻO ke ʻano kēia ma lalo o nā kūlana loli mahana like, ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka loli dimensional o ka paepae granite ma mua o ka paepae metala, hiki ke hāʻawi i kahi kuhikuhi ana paʻa no nā lako ana semiconductor.
Eia kekahi, ʻo ke ʻano kristal o ka granite e hāʻawi iā ia me ka like maikaʻi loa o ka hoʻoili wela. Ke hoʻoulu ka hana o nā lako i ka wela a i ʻole ka loli o ka mahana ambient, hiki i ka paepae granite ke hoʻokele wikiwiki a kaulike i ka wela, e pale ana i ka wela nui a i ʻole nā hanana overcooling kūloko, no laila e mālama pono ana i ke kūlike o ka mahana holoʻokoʻa o ka paepae a me ka hōʻoia hou ʻana i ke kūpaʻa o ka pololei o ke ana.
Ke kaʻina hana a me ke ʻano o ke ana ʻana i ke kūpaʻa wela
I mea e loiloi pololei ai i ke kūpaʻa wela o ka paepae granite i nā lako ana semiconductor, ua hoʻolālā mākou i kahi papahana ana paʻa. E koho i kahi mea ana wafer semiconductor kiʻekiʻe, i lako me kahi kahua granite i hana ʻia me ka pololei loa. I loko o ke kaiapuni hoʻokolohua, ua hoʻohālikelike ʻia ka laulā ʻokoʻa o ka mahana maʻamau i loko o ka hale hana hana semiconductor, ʻo ia hoʻi, e hoʻomehana mālie mai 20 ℃ a i 35 ℃ a laila e hoʻomaʻalili hou i 20 ℃. Ua mau ke kaʻina holoʻokoʻa no 8 mau hola.
Ma ke kahua granite o ka mea ana, ua kau ʻia nā wafers silicon maʻamau kiʻekiʻe, a ua hoʻohana ʻia nā mea ʻike neʻe me ka pololei nanoscale e nānā i nā loli kūlana pili ma waena o nā wafers silicon a me ke kahua i ka manawa maoli. I kēia manawa, ua hoʻonohonoho ʻia nā mea ʻike mahana kiʻekiʻe he nui ma nā wahi like ʻole ma ke kahua e nānā i ka hoʻolaha ʻana o ka mahana ma ka ʻili o ke kahua. I ka wā o ka hoʻokolohua, ua hoʻopaʻa ʻia ka ʻikepili neʻe a me ka ʻikepili mahana i kēlā me kēia 15 mau minuke e hōʻoia i ka piha a me ka pololei o ka ʻikepili.
ʻIkepili i ana ʻia a me ka loiloi hopena
ʻO ka pilina ma waena o nā loli o ka mahana a me nā loli o ka nui o ka paepae
Hōʻike nā ʻikepili hoʻokolohua i ka wā e piʻi ai ka mahana mai 20 ℃ a i 35 ℃, he liʻiliʻi loa ka loli o ka nui linear o ka paepae granite. Ma hope o ka helu ʻana, ma o ke kaʻina hana hoʻomehana holoʻokoʻa, ʻo ka hoʻonui linear kiʻekiʻe loa o ka paepae he 0.3 nanometers wale nō, ʻoi aku ka haʻahaʻa ma mua o ka pae hoʻomanawanui hewa no ka pololei o ke ana ʻana i nā kaʻina hana semiconductor. I ka wā o ke kahua hoʻoluʻu, hiki i ka nui o ka paepae ke hoʻi loa i ke kūlana mua, a hiki ke hoʻowahāwahā ʻia ka hanana lag o ka loli nui. ʻO kēia ʻano o ka mālama ʻana i nā loli dimensional haʻahaʻa loa ʻoiai ma lalo o nā loli mahana koʻikoʻi e hōʻoia piha i ke kūpaʻa wela koʻikoʻi o ka paepae granite.
Ka nānā ʻana i ke ʻano like o ka mahana ma luna o ka ʻili o ka paepae
Hōʻike ka ʻikepili i hōʻiliʻili ʻia e ka mea ʻike mahana i ka wā o ka hana ʻana o nā lako a me ke kaʻina hana o ka loli ʻana o ka mahana, ua like loa ka hoʻolaha ʻana o ka mahana ma luna o ka ʻili o ka paepae granite. ʻOiai i ka wā e loli nui ai ka mahana, ua hoʻomalu mau ʻia ka ʻokoʻa o ka mahana ma waena o kēlā me kēia kiko ana ma ka ʻili o ka paepae i loko o ±0.1℃. Pale pono ka hoʻolaha ʻana o ka mahana like i ka deformation o ka paepae i hoʻokumu ʻia e ke kaumaha wela like ʻole, e hōʻoia ana i ka palahalaha a me ke kūpaʻa o ka ʻili kuhikuhi ana, a e hāʻawi ana i kahi kaiapuni ana hilinaʻi no nā lako metrology semiconductor.
Hoʻohālikelike ʻia me nā kahua mea kuʻuna
Ua hoʻohālikelike ʻia nā ʻikepili i ana ʻia o ke kahua granite me nā mea o nā lako ana semiconductor o ke ʻano like me ka hoʻohana ʻana i ke kahua alumini alloy, a he koʻikoʻi nā ʻokoʻa. Ma lalo o nā kūlana loli mahana like, ʻo ka hoʻonui linear o ke kahua alumini alloy he 2.5 nanometers, ʻoi aku ia ma mua o ʻewalu manawa o ke kahua granite. I kēia manawa, ʻaʻole like ka hoʻolaha ʻana o ka mahana ma luna o ka ʻili o ke kahua alumini alloy, me ka ʻokoʻa wela kiʻekiʻe loa e hiki ana i ka 0.8 ℃, e hopena ana i ka deformation maopopo o ke kahua a hoʻopilikia nui i ka pololei o ke ana.
I loko o ke ao kikoʻī o nā lako hana metrology semiconductor, ua lilo nā kahua granite, me ko lākou kūpaʻa wela koʻikoʻi, i mea nui i ka hōʻoia ʻana i ka pololei o ke ana ʻana. Hōʻike ikaika nā ʻikepili i ana ʻia i ka hana koʻikoʻi o ka paepae granite i ka pane ʻana i nā loli mahana, e hāʻawi ana i ke kākoʻo loea hilinaʻi no ka ʻoihana hana semiconductor. I ka holomua ʻana o nā kaʻina hana semiconductor i ka pololei kiʻekiʻe, e lilo ka pono o ka paʻa wela o nā kahua granite i mea koʻikoʻi, e hoʻokele mau ana i ka hana hou a me ka hoʻomohala ʻana i ka ʻoihana.
Ka manawa hoʻouna: Mei-13-2025