Ma ke alo o ka hana pololei a me ka ʻimi noiʻi ʻepekema, hiki i kēlā me kēia ʻāpana o ka hewa ke lilo i "alaala" e pale aku ai i nā holomua. E like me nā mea hana nui e hoʻokō ai i ka mana o ka neʻe kiʻekiʻe, pili pono ka hana o ka precision static pressure air floating motion platform i ka maikaʻi a me ka kūleʻa o nā hopena. Ma waena o nā kumu hoʻohālikelike he nui, ʻo ke kumu granite, me kāna mau hiʻohiʻona like ʻole, ua lilo i kumu kumu o ka hōʻoia ʻana i ka hana maikaʻi o ka paepae.
ʻO Granite, ma hope o nā miliona mau makahiki o ka hoʻololi ʻana i ka honua, ua paʻa a ʻaʻahu ka hale o loko, ʻo ia hoʻi e ka quartz, feldspar a me nā minerala ʻē aʻe i hui pū ʻia. Hāʻawi kēia ʻano hana kūlohelohe i ke kumu granite i kahi ʻano o nā waiwai koʻikoʻi.
Paʻa loa, hoʻokaʻawale ʻia mai ke keakea ʻana o waho
ʻO ka haʻalulu i loko o ke kaiapuni waho ka ʻenemi o ka pololei no ka precision static pressure air floating platform. Hiki ke hoʻoili ʻia ka haʻalulu i hana ʻia e ka hana ʻana o nā mīkini nui a me nā mea hana i ka papahele o ka hale hana a me nā kaʻa e pili ana i ka neʻe ʻana ma ka honua. Eia naʻe, ʻo ke kumu granite, ua like ia me kahi "paʻa paʻa kūʻē i ke olai." Hiki ke hoʻopaʻa a hoʻoneʻe i ka vibration, a ma o nā hoʻokolohua kūpono, hiki ke hoʻemi ʻia ka amplitude vibration i hoʻouna ʻia i ka paepae ma mua o 80%. I loko o ka hale hana hana semiconductor chip, pono ke kaʻina hana photolithography i ka pololei o ka hoʻonohonoho ʻana a hiki i ke kiʻekiʻe nanometer, a me ka precision static pressure ea floating movement platform i kākoʻo ʻia e ka granite base hiki ke hōʻoia i ka hana paʻa o ka chip lithography lako i loko o ka vibration environment, hoʻopiha pololei i ke kahakaha ʻana o ke ʻano kaapuni, a hoʻomaikaʻi nui i ka hua o ka hana chip.
ʻO ke kūpaʻa wela maikaʻi, ʻaʻole makaʻu i nā loli wela
ʻO ka hoʻololi ʻana o ka mahana e hoʻonui a emi iho nā mea he nui, e pili ana i ka pololei o nā mea hana. Eia nō naʻe, hōʻike ke kumu granite i ke kūpaʻa wela ʻē aʻe, a haʻahaʻa loa kona coefficient o ka hoʻonui ʻana i ka wela, maʻamau ma 5-7 ×10⁻⁶/℃. Ma ke kahua o ka astronomy, ka precision static pressure air floating movement platform i hoʻohana ʻia no ka hoʻoponopono maikaʻi ʻana i nā lens telescope nui, me ke kumu granite, ʻoiai i ke alo o nā loli nui i ka ʻokoʻa o ka mahana ma waena o ke ao a me ka pō, hiki iā ia ke hōʻoia i ka hoʻonohonoho pono ʻana o ka lens ma ka pae sub-micron, e kōkua ana i ka poʻe astronomers e hopu maopopo i nā loli maalea o koʻu mau kino lani hohonu.
ʻO ka paʻakikī kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa ʻaʻahu e hōʻoia i ka hoʻohana lōʻihi
I ka holo lōʻihi o precision static kaomi ea lana anuu, oiai aia ke ea lana ke kākoʻo ma waena o ka anuu a me ke kumu, aia nō kekahi degere o friction. He kiʻekiʻe ka paʻakikī Granite, hiki i ka paʻakikī Mohs ke hiki i 6-7, me ke kūpaʻa maikaʻi loa. I loko o ka ʻenehana ʻepekema ʻenehana, ʻo ka mea i hoʻohana pinepine ʻia i ka precision static pressure air floating movement platform, hiki i kāna kumu granite ke pale pono i ka nalowale o ka friction no ka wā lōʻihi, ke hoʻohālikelike ʻia me ke kumu maʻamau, hiki ke hoʻolōʻihi i ka pōʻai mālama o ka paepae ma mua o 50%, hoʻemi i nā kumukūʻai mālama pono, a hōʻoia i ka hoʻomau o ka hana noiʻi ʻepekema.
ʻO ke koho ʻana i ke kumu granite no ka pololei static pressure air floating movement platform ka mea hope loa o ka pololei, kūpaʻa a me ka lōʻihi. Ma nā kahua o ka semiconductor manufacturing, optical instrument manufacturing, aerospace, ʻepekema noiʻi a me ka hoʻāʻo ʻana, e koi kokoke ana i ka pololei pololei, ʻo ka precision static pressure air floating movement platform i kākoʻo ʻia e ke kumu granite ke pāʻani nei i kahi kuleana koʻikoʻi, e hāpai ana i ka hoʻomohala ʻana o nā ʻoihana like ʻole i ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe.
Ka manawa hoʻouna: Apr-09-2025