Precision hydrostatic ea lana anuu: Granite kumu, e wehewehe ana i ka mea kiekie loa precision.

I loko o ka honua ākea o ka hana pololei a me ka noiʻi ʻepekema ʻokiʻoki, ʻo kēlā me kēia mana pololei ma waena o nā mea liʻiliʻi hiki ke hoʻoulu i ka ʻenehana ʻenehana. Precision static pressure air floating movement platform, ʻo ia ka mea nui e hoʻokō ai i ka neʻe ultra-precision, ʻo kāna hana e hoʻoholo pololei i ka kūleʻa a i ʻole nā ​​​​hopena. ʻO ke kumu granite ka mea huna e hāʻawi iā ia i ka pololei a me ke kūpaʻa maikaʻi loa.

He kahua paʻa i hana ʻia i ke ʻano
ʻO Granite, ma hope o nā miliona mau makahiki o ka hoʻololi ʻana i ka honua, ua paʻa a ʻaʻahu ka hale o loko, e ka quartz, feldspar a me nā minerala ʻē aʻe i pili pono. Hāʻawi kēia hale kūʻokoʻa iā ia i ka paʻa ʻole. I ke alo o ka hoʻopili ʻana i waho, inā ʻo ia ka haʻalulu ikaika i hoʻokumu ʻia e ka hana ʻana o nā mea hana nui i loko o ka hale hana, a i ʻole nā ​​loli nui i ka mahana ambient, hiki i ke kumu granite ke hoʻokō me ka mālie. ʻO kāna mau hiʻohiʻona vibration attenuation maikaʻi loa, e like me ka mea hoʻoheheʻe haʻalulu ʻoihana, hiki ke hōʻemi i ka amplitude vibration o ka precision static pressure air floating movement platform e ʻoi aku ma mua o 80%, e hāʻawi ana i kahi noho mālie a paʻa no ka paepae e hōʻoia i ke kaʻina o ka hoʻoponopono kiʻekiʻe a i ʻole ka ʻike ʻana.
ʻO ka maikaʻi o ka paʻa wela, ka hoʻomalu pololei ʻana i ke kumu
ʻO ka hoʻololi ʻana i ka mahana he pilikia nui e pili ana i ka pololei o nā lako kikoʻī, akā ʻo ke kumu granite me kahi coefficient haʻahaʻa loa o ka hoʻonui ʻana i ka wela, e hoʻoponopono maʻalahi i kēia pilikia. ʻO 5-7 × 10⁻⁶/℃ kona helu helu o ka hoʻonui wela, a liʻiliʻi ka loli i ka wā e piʻi ai ka mahana. Ma ke kaʻina hana photolithography o ka hana ʻana i nā chip semiconductor, pono ka pololei o ka hoʻonohonoho ʻana ma ka pae danamil, a hiki i nā loli liʻiliʻi o ka wela ke alakaʻi i ka ʻae ʻana i ke ʻano chip. ʻO ka paʻa paʻa paʻa ʻana o ka ea e lana ana i ka paepae i lako ʻia me ke kumu granite hiki ke mālama mau i ka pololei o ka hoʻonohonoho ʻana ma lalo o ke kaiapuni wela paʻakikī, kōkua i ka hana chip e hoʻokō i ka hoʻohui kiʻekiʻe a me ka hoʻoulu ʻana, a hoʻokomo i ka ikaika ikaika no ka hoʻomohala ʻana i ka ʻoihana semiconductor.
ʻO ka paʻakikī kiʻekiʻe, ke kūpaʻa ʻaʻahu, ka hōʻoia paʻa
I ka holo lōʻihi o ka precision static kaomi ea lana anuu, oiai aia ke ea lana ke kākoʻo ma waena o ka anuu a me ke kumu, pinepine friction mea mau inevitable. He kiʻekiʻe ka paʻakikī Granite, hiki i ka paʻakikī Mohs ke hiki i 6-7, me ke kūpaʻa maikaʻi loa. I loko o ke keʻena ʻepekema ʻenehana, ʻo ka hoʻohana pinepine ʻana i ka precision static pressure air floating movement platform, hiki i kāna kumu granite ke pale pono i ka nalowale o ka friction lōʻihi, ke hoʻohālikelike ʻia me ka waihona maʻamau, hiki ke hoʻolōʻihi i ka pōʻai mālama o ka paepae ma mua o 50%, e hōʻemi nui ana i nā kumukūʻai mālama pono, e hōʻoia i ka holomua a me ka hoʻomau ʻana o ka hana noiʻi ʻepekema.
ʻO ke koho ʻana i ka paepae ea lele hydrostatic i hoʻolako ʻia me ka base granite e koho i ka pololei loa, kūpaʻa maikaʻi a me ka lōʻihi lōʻihi. Ma ka hana semiconductor, ka hana ʻana i nā mea hana optical, aerospace, ka noiʻi ʻepekema a me ka hoʻāʻo ʻana a me nā koi kikoʻī ʻē aʻe o ke kula, ke pāʻani nei ia i kahi kuleana koʻikoʻi i hiki ʻole ke hoʻololi ʻia, e alakaʻi ana i ka ʻoihana e wāwahi i ka palena pololei, i kahi pae o ka hoʻomohala ʻana, e hāʻawi i ke kākoʻo ʻenehana paʻa a hilinaʻi no kāu kūleʻa ʻoihana.