Hoʻokahi axis air float ultra-precision motion module: Granite base casting for excellent precision.

Ma ka palena o ka hana pololei a me ka noiʻi ʻepekema, ke piʻi nei ke koi no ka mana o ka neʻe ultra-precision i kēlā me kēia lā. Ma ke ʻano he kī nui e hoʻokō ai i ka neʻe laina laina kiʻekiʻe, ʻo ka hana o ka ultra-precision single-axis ea floating module e pili pono i ka maikaʻi o ka huahana hope a me ka pololei o nā hopena noiʻi ʻepekema. Ma waena o nā kumu hoʻopiʻi he nui, hāʻawi ka noi ʻana o ka waihona granite i kahi pōmaikaʻi like ʻole a lilo i kumu kumu e hōʻoia ai i ka pololei.
ʻO Granite, ma hope o nā miliona mau makahiki o ka hoʻololi ʻana i ka honua, ʻoi loa ka ʻano o loko a me ke ʻano like. Hoʻokumu ʻia ia me ka quartz, feldspar a me nā minerala ʻē aʻe, hāʻawi kēia ʻano mea ʻokoʻa i ka granite i nā waiwai kino maikaʻi. Ke hoʻohana ʻia ma ke ʻano he kumu o ka ea lele hoʻokahi axis ultra-precision motion module, hōʻike mua ka granite i ke kūpaʻa kiʻekiʻe loa. Ke hoʻohālikelike ʻia me nā kumu metala maʻamau, hōʻike nā kumu granite i ke kūpaʻa deformation ikaika loa i mua o nā haunaele o waho, e like me ka piʻi ʻana o ka mahana a me ka haʻalulu mechanical. I ke kaʻina o ka hana ʻana i nā chip uila, pono ke kūlana pololei o ka lithography chip e hiki i ke kiʻekiʻe nanometer. I loko o ka hale kūʻai hana, hiki i ka haʻalulu i hana ʻia e ka hana ʻana o nā mea hana nui a me nā loli liʻiliʻi o ka mahana ambient e hoʻopilikia i ka pololei o ka neʻe ʻana o nā mea lithography. Hiki i ka ea axis floating ultra-precision motion module me ke kumu granite ke hoʻemi pono i ka haʻalulu o waho a hoʻemi i ka amplitude vibration i hoʻouna ʻia i ka module motion ma mua o 80%. I ka manawa like, ʻo kāna coefficient haʻahaʻa loa o ka hoʻonui ʻana i ka wela e hoʻololi liʻiliʻi ka nui o ke kumu i ka wā e hoʻololi ai ka mahana, e hōʻoia ana e hiki i ka ea e lana ana ke neʻe ke hoʻomau i ka pololei o ka neʻe ʻana i loko o kahi kaiapuni paʻakikī, e hāʻawi ana i kahi kumu kūpono no ka lithography chip, a me ka hoʻomaikaʻi nui ʻana i ka hua o ka hana chip.

Eia kekahi, ʻoi aku ka maikaʻi o ka pale ʻana o ka granite. I ke kaʻina o ka reciprocating neʻe pinepine o ka ultra-precision hoʻokahi-axis ea float module, oiai aia he kinoea kiʻi kākoʻo ma waena o ka ea float slider a me ke kumu, lōʻihi-makahiki hoʻohana i inevitably hua i kekahi degere o ka friction. ʻO ke kumu granite, me kona mau ʻano paʻakikī kiʻekiʻe, hiki ke pale maikaʻi i ka ʻaʻahu i hoʻokumu ʻia e kēia friction a hoʻonui i ke ola lawelawe o ka module motion. I loko o ke keʻena noiʻi ʻepekema o nā kulanui, pono nā mea hoʻokolohua i hoʻohana ʻia no ka ʻike ʻana i ka micro particle i ka ultra-precision motion module o uniaxial air flotation e holo paʻa no ka manawa lōʻihi e loaʻa ai ka nui o ka ʻikepili hoʻokolohua pololei. ʻO ke kūpaʻa ʻaʻahu kiʻekiʻe o ka base granite e hōʻoia i ka pololei o ka module neʻe e hiki ke mālama ʻia i ka pae kiʻekiʻe kiʻekiʻe ma hope o ka lōʻihi o ka hoʻohana ʻana, e hāʻawi ana i kahi hōʻoia hilinaʻi no ka hoʻomau a me ka pololei o ka hana noiʻi ʻepekema, a kōkua i nā mea noiʻi e ʻimi hohonu i ka mea huna o ka honua microscopic.
ʻO ke ʻano hoʻokahi axis air float ultra-precision motion module me ke kumu granite e like me ka "hoʻokele" pololei no ka hana ʻana a me ka noiʻi ʻepekema. ʻO ke kumu granite me kona kūpaʻa maikaʻi loa, ke kūpaʻa ʻana, no ka neʻe kiʻekiʻe o ka neʻe ʻana o ka ea e holo ana i ke ea e hāʻawi i ke kākoʻo paʻa, i ka semiconductor manufacturing, optical instrument manufacturing, kiʻekiʻe-end ʻepekema noiʻi a me nā koi ʻē aʻe he nui o ke kula.