Modula neʻe pololei loa o ka lana ea axis hoʻokahi: Ke hoʻolei kumu granite no ka pololei maikaʻi loa.

Ma ka palena o ka hana ʻana i ka pololei a me ka noiʻi ʻepekema, ke piʻi nei ke koi no ka kaohi neʻe ultra-precision i kēlā me kēia lā. Ma ke ʻano he lako koʻikoʻi e hoʻokō ai i ka neʻe linear kiʻekiʻe, ʻo ka hana o ka modula lana ea ultra-precision hoʻokahi-axis e pili pono ana i ka maikaʻi o ka huahana hope loa a me ka pololei o nā hopena noiʻi ʻepekema. Ma waena o nā mea hoʻohuli he nui, ʻo ka hoʻopili ʻana o ke kumu granite e hāʻawi iā ia i kahi pono like ʻole a lilo i mea nui e hōʻoia i ka pololei maikaʻi loa.
ʻO Granite, ma hope o nā miliona mau makahiki o nā loli geological, ua paʻa loa a like ke ʻano o loko. Hana nui ʻia ia me ka quartz, feldspar a me nā minelala ʻē aʻe, hāʻawi kēia ʻano mea kū hoʻokahi i nā waiwai kino maikaʻi loa o ka granite. Ke hoʻohana ʻia ma ke ʻano he kumu o kahi module neʻe ultra-precision lana ea axis hoʻokahi, hōʻike mua ka granite i ke kūpaʻa kiʻekiʻe loa. Ke hoʻohālikelike ʻia me nā kumu mea metala maʻamau, hōʻike nā kumu granite i ke kūpaʻa deformation ikaika i ke alo o nā haunaele o ke kaiapuni waho, e like me nā loli o ka mahana a me ka haʻalulu mechanical. I ke kaʻina hana o ka hana ʻana i nā chip uila, pono ka pololei o ke kūlana o ka lithography chip e hiki ai i ka pae nanometer. I loko o ka hale hana hana, ʻo ka haʻalulu i hana ʻia e ka hana o nā lako nui a me nā loli liʻiliʻi i ka mahana ambient e hoʻopilikia paha i ka pololei o ka neʻe ʻana o nā lako lithography. Hiki i ka module neʻe ultra-precision lana ea axis hoʻokahi me ke kumu granite ke hoʻēmi pono i ka haʻalulu o waho a hoʻemi i ka amplitude haʻalulu i hoʻouna ʻia i ka module neʻe ma mua o 80%. I ka manawa like, ʻo kona coefficient haʻahaʻa loa o ka hoʻonui ʻana i ka wela e hoʻolilo i ka nui o ke kumu i loli iki loa i ka wā e loli ai ka mahana, e hōʻoiaʻiʻo ana e hiki i ka module neʻe lana ea ke mālama i ka pololei o ka neʻe paʻa i kahi ʻano paʻakikī, e hāʻawi ana i kahi kumu kūlana pololei no ka lithography chip, a hoʻomaikaʻi nui i ka hopena o ka hana ʻana o nā chip.

Eia kekahi, he maikaʻi ke kūpaʻa ʻana o ka granite i ka ʻaʻahu. I ke kaʻina hana o ka neʻe pinepine ʻana o ka module lana ea hoʻokahi axis ultra-precision, ʻoiai aia kahi kākoʻo kiʻiʻoniʻoni kinoea ma waena o ka slider lana ea a me ke kumu, ʻo ka hoʻohana lōʻihi e hana mau i kahi kekelē o ka friction. ʻO ke kumu granite, me kona mau ʻano paʻakikī kiʻekiʻe, hiki ke pale pono i ka ʻaʻahu i hoʻokumu ʻia e kēia friction a hoʻolōʻihi i ke ola lawelawe o ka module neʻe. I loko o ka hale hana noiʻi ʻepekema o nā kulanui, pono nā lako hoʻokolohua i hoʻohana ʻia no ka ʻike ʻana i nā micro particle i ka module neʻe ultra-precision o ka uniaxial air flotation e holo paʻa no ka manawa lōʻihi e loaʻa ai ka nui o nā ʻikepili hoʻokolohua pololei. ʻO ke kūpaʻa kiʻekiʻe o ke kumu granite e hōʻoiaʻiʻo ana e hiki ke mālama ʻia ka pololei o ka module neʻe ma ka pae kiʻekiʻe mua ma hope o ka manawa lōʻihi o ka hoʻohana ʻana, e hāʻawi ana i kahi hōʻoia hilinaʻi no ka hoʻomau a me ka pololei o ka hana noiʻi ʻepekema, a kōkua i nā mea noiʻi e ʻimi hohonu i ka mea pohihihi o ka honua microscopic.
ʻO ke modula neʻe ultra-precision lana ea axis hoʻokahi me ke kumu granite e like me kahi "hoʻokele" pololei no ka hana pololei a me ka noiʻi ʻepekema. ʻO ke kumu Granite me kona kūpaʻa maikaʻi loa, ke kūpaʻa ʻana i ka ʻaʻahu, no ka neʻe pololei o ka modula neʻe lana ea e hāʻawi i ke kākoʻo paʻa, i ka hana semiconductor, ka hana ʻana i nā mea hana optical, ka noiʻi ʻepekema kiʻekiʻe a me nā koi kikoʻī ʻē aʻe o ke kahua, e pāʻani ana i kahi kuleana koʻikoʻi nui, e paipai ana i ka ʻoihana i ke kuhikuhi kiʻekiʻe a me ke kūlana kiʻekiʻe.