Ke aʻo ʻana i ka paepae o ka hopena o ka loli ʻana o ka mahana ambient ma ka pololei o ke ana ʻana o ka paepae granite.

Ma ke kahua o ke ana pololei ʻana, ʻo ke kahua kikoʻī granite me kona kūpaʻa maikaʻi loa, ka paʻakikī kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa maikaʻi i ka ʻaʻahu ʻana, ua lilo ia i kākoʻo kumu kūpono no nā hana ana kikoʻī he nui. Eia nō naʻe, ʻo ka loli o ka mahana i nā mea kaiapuni, e like me ka "mea pepehi kikoʻī" i hūnā ʻia i ka pouli, he hopena koʻikoʻi ia i ka pololei o ke ana ʻana o ke kahua kikoʻī granite. He mea nui loa ia e noiʻi hohonu i ka paepae mana no ka hōʻoia ʻana i ka pololei a me ka hilinaʻi o ka hana ana.

ʻOiai ua ʻike ʻia ka granite no kona kūpaʻa, ʻaʻole ia e pale ʻia i nā loli o ka mahana. ʻO kona mau ʻāpana nui he quartz, feldspar a me nā minelala ʻē aʻe, ka mea e hoʻopuka ai i ka hoʻonui wela a me ka hanana ʻūlū ma nā mahana like ʻole. Ke piʻi ka mahana ambient, ua hoʻomehana ʻia a hoʻonui ʻia ka paepae kikoʻī granite, a e loli iki ka nui o ke kahua. Ke hāʻule ka mahana, e emi hou ia i kona kūlana mua. Hiki ke hoʻonui ʻia nā loli liʻiliʻi i nā mea nui e pili ana i nā hopena ana i nā hiʻohiʻona ana kikoʻī.

Ma ka lawe ʻana i ka mea ana hoʻohālikelike maʻamau e hoʻohālikelike ana i ka paepae granite ma ke ʻano he laʻana, i ka hana ana kiʻekiʻe, hiki pinepine nā koi pololei o ke ana i ka pae micron a ʻoi aku paha. Ua manaʻo ʻia ma ka mahana maʻamau o 20 ℃, aia nā ʻano dimensional like ʻole o ka paepae i kahi kūlana kūpono, a hiki ke loaʻa ka ʻikepili pololei ma ke ana ʻana i ka workpiece. Ke loli ka mahana ambient, ʻokoʻa loa ke kūlana. Ma hope o ka nui o nā helu helu hoʻokolohua a me ka loiloi theoretical, ma lalo o nā kūlana maʻamau, ʻo ka loli o ka mahana o ke kaiapuni o 1 ℃, ʻo ka hoʻonui linear a i ʻole ka ʻūlū ʻana o ka paepae pololei granite ma kahi o 5-7 × 10⁻⁶/℃. ʻO ke ʻano kēia no kahi paepae granite me ka lōʻihi o ka ʻaoʻao o 1 mika, hiki ke loli ka lōʻihi o ka ʻaoʻao e 5-7 microns inā loli ka mahana e 1 ° C. I nā ana pololei, ua lawa kēlā ʻano loli i ka nui e hana i nā hewa ana ma mua o ka laulā i ʻae ʻia.
No ka hana ana i koi ʻia e nā pae pololei like ʻole, ʻokoʻa nō hoʻi ka paepae mana o ka loli o ka mahana. I ke ana pololei maʻamau, e like me ke ana ʻana o ka nui o nā ʻāpana mīkini, inā aia ka hewa ana i ʻae ʻia i loko o ±20 microns, e like me ka helu ʻana o ka coefficient hoʻonui i luna, pono e kāohi ʻia ka loli o ka mahana i loko o ka pae o ± 3-4 ℃, i mea e kāohi ai i ka hewa ana i hoʻokumu ʻia e ka loli nui o ka paepae ma kahi pae i ʻae ʻia. Ma nā wahi me nā koi kikoʻī kiʻekiʻe, e like me ke ana ʻana o ke kaʻina hana lithography i ka hana ʻana o nā chip semiconductor, ʻae ʻia ka hewa i loko o ±1 micron, a pono e kāohi pono ʻia ka loli o ka mahana i loko o ± 0.1-0.2 ° C. Ke hala ka loli o ka mahana ma mua o kēia paepae, hiki i ka hoʻonui ʻana a me ka ʻūlū ʻana o ka paepae granite ke hana i nā ʻokoʻa i nā hopena ana, kahi e hoʻopilikia ai i ka hua o ka hana ʻana o nā chip.
I mea e hoʻoponopono ai i ka hopena o ka loli o ka mahana ambient ma ke ana pololei o ke kahua granite precision, nui nā ana i hoʻohana pinepine ʻia i ka hana maoli. No ka laʻana, ua hoʻokomo ʻia nā lako mahana mau kiʻekiʻe i loko o ke ana e kāohi i ka loli o ka mahana ma kahi liʻiliʻi loa; Hoʻokō ʻia ka uku pānaʻi mahana ma ka ʻikepili ana, a ua hoʻoponopono ʻia nā hopena ana e ka algorithm polokalamu e like me ke coefficient hoʻonui wela o ke kahua a me nā loli mahana manawa maoli. Eia naʻe, ʻaʻohe mea i lawe ʻia nā ana, ʻo ka ʻike pololei o ka hopena o nā loli o ka mahana ambient ma ke ana pololei o ke kahua granite precision ke kumu o ka hōʻoia ʻana i ka hana ana pololei a hilinaʻi.