I ke kaʻina hana o ka ʻoihana semiconductor e neʻe ana i nā kaʻina hana nanoscale, ʻoki ʻia ka wafer, ma ke ʻano he loulou kī i ka hana ʻana i ka chip, he koi koʻikoʻi loa no ka paʻa ʻana o nā lako. ʻO ke kumu granite, me kona kūpaʻa vibration koʻikoʻi a me ke kūpaʻa wela, ua lilo ia i mea koʻikoʻi o nā mea ʻoki wafer, e hāʻawi ana i kahi hōʻoia hilinaʻi no ka hoʻokō ʻana i ka hana wafer kiʻekiʻe a me ka pono. ʻ
ʻO nā hiʻohiʻona hoʻoheheʻe kiʻekiʻe a me ka anti-vibration: Mālama i ka pololei ʻoki nano-level
Ke hoʻohana ʻia nā mea ʻoki wafer, ʻo ka wikiwiki kiʻekiʻe o ka spindle, ka haʻalulu kiʻekiʻe o ka mea ʻoki ʻoki, a me ka haʻalulu kaiapuni i hana ʻia e nā mea hoʻopuni a puni e loaʻa i ka hopena nui i ka pololei o ka ʻoki. He kaupalena ka hana hoʻoheheʻe ʻana o nā kumu metala kuʻuna, he mea paʻakikī ke hoʻopau koke i nā haʻalulu, e alakaʻi ana i ka micron-level jitter o nā mea ʻoki a hoʻoulu pololei i nā hemahema e like me ka ʻoki ʻana i nā kihi a me nā māwae ma nā wafers. ʻO nā hiʻohiʻona damping kiʻekiʻe o ke kumu granite i hoʻoponopono pono i kēia pilikia. ʻ
Hoʻopili pili ʻia nā kristal koʻikoʻi o loko o ka granite, e hana ana i kahi ʻano hoʻoheheʻe ikehu kūlohelohe. Ke hoʻouna ʻia ka haʻalulu i ke kumu, hiki i kāna microstructure i loko ke hoʻololi wikiwiki i ka ikehu vibration i ka ikehu wela, e loaʻa ana i ka attenuation vibration maikaʻi. Hōʻike nā ʻikepili hoʻokolohua ma lalo o ke kaiapuni haʻalulu like, hiki i ke kumu granite ke attenuate i ka amplitude vibration ma mua o 90% i loko o 0.5 kekona, ʻoiai ke kumu metala e pono ai 3 a 5 kekona. ʻO kēia hana hoʻoheheʻe koʻikoʻi e hōʻoia i ka paʻa ʻana o ka mea hana ʻoki i ka wā o ke kaʻina ʻoki nanoscale, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka lihi maʻemaʻe o ka ʻoki wafer a me ka hoʻohaʻahaʻa pono ʻana i ka helu chipping. No ka laʻana, i ke kaʻina hana ʻoki wafer 5nm, hiki i nā mea hana me kahi kumu granite ke hoʻomalu i ka nui chipping i loko o 10μm, ʻoi aku ma mua o 40% kiʻekiʻe ma mua o nā mea hana me kahi kumu metala. ʻ
ʻO ka helu haʻahaʻa haʻahaʻa o ka hoʻonui ʻana i ka wela: Kūʻē i ka mana o nā loli wela
I ka wā o ka ʻoki ʻana i ka wafer, ʻo ka wela i hana ʻia e ka friction o nā mea ʻoki ʻoki, ka hoʻohemo ʻana o ka wela mai ka hana lōʻihi o nā mea hana, a me nā hoʻololi ʻana i ka mahana o ke kaiapuni hale hana hiki i nā mea āpau ke hoʻololi i ka wela o nā ʻāpana. He kiʻekiʻe ke koena o ka hoʻonui wela o nā mea metala (ma kahi o 12×10⁻⁶/℃). Ke piʻi ka mahana e 5 ℃, hiki i kahi kumu metala 1 mika ka lōʻihi ke hoʻololi i ka 60μm, e hoʻololi i ke kūlana ʻoki a hoʻopilikia nui i ka pololei o ka ʻoki. ʻ
ʻO ke koena o ka hoʻonui wela o ka base granite wale nō (4-8) ×10⁻⁶/℃, ʻoi aku ka liʻiliʻi ma mua o ka hapakolu o nā mea metala. Ma lalo o ka hoʻololi wela like, hiki ke nānā ʻole ʻia kona hoʻololi dimensional. Hōʻike ka ʻikepili i ana ʻia o kekahi ʻoihana hana semiconductor i ka manawa o 8 mau hola e hoʻomau i ka hana ʻoki wafer kiʻekiʻe, i ka wā e piʻi ai ka mahana ambient ma 10 ℃, ʻoi aku ka ʻoki ʻana o nā mea hana me kahi kumu granite ma mua o 20μm, aʻo nā mea hana me kahi kumu metala ma mua o 60μm. ʻO kēia hana wela paʻa e hōʻoia i ke kūlana pili ma waena o ka mea ʻokiʻoki a me ka wafer e hoʻomau pololei i nā manawa āpau. ʻOiai ma lalo o ka hana hoʻomau lōʻihi a i ʻole nā loli nui i ka mahana o ke kaiapuni, hiki ke mālama ʻia ke kūlike o ka ʻoki pololei ʻana. ʻ
ʻO ka rigidity a me ka pale ʻana i ka lole: E hōʻoia i ka hana paʻa lōʻihi o nā mea hana
Ma waho aʻe o nā mea maikaʻi o ka vibration resistance a me ka thermal stability, ʻo ka rigidity kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa ʻana o ke kumu granite e hoʻonui i ka hilinaʻi o nā mea ʻoki wafer. ʻO ka Granite ka paʻakikī o 6 a 7 ma ka pālākiō Mohs a me ka ikaika compressive ma mua o 120MPa. Hiki iā ia ke pale i ke kaomi nui a me ka ikaika o ka hopena i ka wā o ka ʻoki ʻana a ʻaʻole hiki ke hoʻololi. I kēia manawa, hāʻawi kona ʻano paʻa i ke kūpaʻa maikaʻi loa. ʻOiai i ka wā o ka ʻoki pinepine ʻana, ʻaʻole hiki ke ʻaʻahu ka ʻili o ke kumu, e hōʻoia ana i ka mālama ʻana o nā mea hana i ka hana kiʻekiʻe no ka manawa lōʻihi. ʻ
Ma nā noi kūpono, nui nā ʻoihana hana wafer i hoʻomaikaʻi maikaʻi i ka hoʻohua ʻana o ka huahana a me ka hana pono ʻana ma o ka lawe ʻana i nā mea ʻoki me nā kumu granite. Hōʻike nā ʻikepili mai kahi mea hoʻokumu honua ma hope o ka hoʻokomo ʻana i nā lako kumu granite, ua hoʻonui ʻia ka hua ʻoki wafer mai 88% a i ʻoi aku ma luna o 95%, ua hoʻonui ʻia ka pōʻaiapuni o nā mea hana i ʻekolu manawa, e hōʻemi pono ana i nā kumukūʻai hana a hoʻonui i ka hoʻokūkū mākeke. ʻ
I ka hopena, ʻo ke kumu granite, me kona kūpaʻa vibration maikaʻi loa, kūpaʻa thermal, rigidity kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa ʻaʻahu, hāʻawi i nā hōʻoia hana piha no nā mea ʻoki wafer. Ke holomua nei ka ʻenehana semiconductor i ka ʻoi aku ka pololei, ʻoi aku ka nui o nā kumu granite i ke ʻano o ka hana wafer, e hāpai ana i ka hoʻomohala mau ʻana o ka ʻoihana semiconductor.
Ka manawa hoʻouna: Mei-20-2025