ʻO ke kahua noi o ka modula neʻe ultra-precision hoʻokahi axis air float e hoʻohana ana i ke kumu granite.

Hana ʻana o ka Semiconductor: I ke kaʻina hana hana chip, pono ke kaʻina hana photolithography e hoʻoili pololei i ke ʻano kaapuni i ka wafer. Hiki i ke kumu granite o ka module neʻe ultra-precision lana ea axis hoʻokahi ke hāʻawi i ke kūlana kiʻekiʻe a me ke kākoʻo paʻa no ka papa wafer i loko o nā lako lithography. No ka laʻana, hoʻohana ʻo ASML a me nā mea hana mīkini lithography kaulana ʻē aʻe o ka honua i nā module neʻe lana ea granite i kā lākou lako kiʻekiʻe, hiki ke hoʻomalu i ka pololei o ke kūlana o ka wafer ma ka pae nanometer e hōʻoia i ka pololei o ke ʻano lithography, a laila e hoʻomaikaʻi ana i ka hoʻohui a me ka hana o ka chip.
Kahua ana pololei: ʻO CMM kahi mea hana ana pololei i hoʻohana pinepine ʻia i ka hana ʻoihana, kahi i hoʻohana ʻia e ana i ka nui, ke ʻano a me ke kūlana pololei o ka workpiece. Hiki ke hoʻohana ʻia ka module neʻe ultra-precision o ka lana ea axis hoʻokahi ma ke kumu granite ma ke ʻano he kahua neʻe o ka CMM, hiki ke hoʻokō i ka neʻe linear kiʻekiʻe a hāʻawi i kahi trajectory neʻe paʻa no ka probe ana. No ka laʻana, hoʻohana ka CMM kiʻekiʻe o Hexagon i kēia hui pū ʻana e ana i nā ʻāpana nui a paʻakikī me ke ana pololei a hiki i ka pae micron, e hāʻawi ana i kahi hōʻoia ikaika no ka kaohi maikaʻi o nā ʻāpana i nā ʻoihana kaʻa, aerospace a me nā ʻoihana ʻē aʻe.
Kahua Aerospace: I ka hana ʻana a me ka hoʻāʻo ʻana i nā ʻāpana aerospace, pono ke kiko kiʻekiʻe. No ka laʻana, ʻo ka mīkini ʻana o nā ʻōpuʻu mīkini mokulele e pono ai ka kaohi pololei o ke ala neʻe o ka mea hana e hōʻoia i ka pololei o ka ʻaoʻao o ka ʻōpuʻu. Hiki ke hoʻopili ʻia ke kumu granite o ka module neʻe ultra-precision axis hoʻokahi i ke kikowaena mīkini ʻelima-axis a me nā lako ʻē aʻe e hāʻawi i ka kaohi neʻe kiʻekiʻe no ka mea hana a hōʻoia i ka pololei o ka mīkini ʻana o ka ʻōpuʻu e hiki ke hoʻokō i nā koi hoʻolālā. I ka manawa like, i ke kaʻina hana ʻākoakoa o ka mīkini aero, pono nō hoʻi e hoʻohana i nā lako ana kiʻekiʻe e ʻike i ka pololei o ka ʻākoakoa ʻana o nā ʻāpana. Hiki i ka module neʻe ea lana o ke kumu granite ke hāʻawi i ke kākoʻo paʻa a me ka neʻe pololei no nā lako ana e hōʻoia i ka maikaʻi o ka ʻākoakoa.
Kahua nānā ʻana o ka Optical: I ke kaʻina hana a me ka hoʻāʻo ʻana o nā ʻāpana optical, pono e hana i ke kūlana kiʻekiʻe a me ke ana ʻana o nā ʻāpana optical. No ka laʻana, i ka wā e hana ai i nā ʻāpana optical kiʻekiʻe e like me nā aniani a me nā aniani, pono e hoʻohana i nā interferometers a me nā lako ʻē aʻe e ʻike i ka pololei o ke ʻano o ka ʻili. Hiki ke hoʻohana ʻia ke kumu granite o ka module neʻe ultra-precision lana ea axis hoʻokahi ma ke ʻano he kahua neʻe o ka interferometer, hiki ke hoʻomaopopo i ka pololei o ke kūlana sub-micron a hāʻawi i ke kākoʻo ʻikepili pololei no ka ʻike ʻana i nā ʻāpana optical. Eia kekahi, i nā lako hana laser, pono nō hoʻi e hoʻohana i kahi kahua neʻe kiʻekiʻe e kāohi i ke ala scan o ke kukuna laser, hiki i ke kumu granite o ka module neʻe lana ea ke hoʻokō i kēia koi, e hoʻokō i ka hana laser kiʻekiʻe.