ʻO ke kahua noi o ka ea axis float ultra-precision motion module me ka hoʻohana ʻana i ke kumu granite.

Hana Semiconductor: Ma ke kaʻina hana chip, pono ke kaʻina hana photolithography e hoʻololi pololei i ke ʻano kaapuni i ka wafer. Hiki i ke kumu granite o ka ea ea e lana ana i ka ultra-precision motion module ke hāʻawi i ke kūlana kiʻekiʻe a me ke kākoʻo paʻa no ka papaʻaina wafer i nā lako lithography. No ka laʻana, ʻo ASML a me nā mea hana mīkini lithography kaulana ʻē aʻe e hoʻohana i nā modula neʻe ea ea ea i kā lākou mau mea hana kiʻekiʻe, hiki ke hoʻomalu i ka pololei o ka hoʻonohonoho ʻana o ka wafer ma ka pae nanometer e hōʻoia i ka pololei o ke ʻano lithography, a laila e hoʻomaikaʻi ai i ka hoʻohui ʻana a me ka hana o ka chip.
Ke kahua ana pololei: ʻO CMM kahi mea ana i hoʻohana mau ʻia i ka hana ʻoihana, i hoʻohana ʻia e ana i ka nui, ke ʻano a me ke kūlana pololei o ka mea hana. Hiki ke hoʻohana ʻia ka ʻenekini ultra-precision o ka ea axis hoʻokahi ma ke kumu granite e like me ke kahua neʻe o ka CMM, hiki ke hoʻomaopopo i ka neʻe laina laina kiʻekiʻe a hāʻawi i kahi ala neʻe paʻa no ke ana ʻana. No ka laʻana, hoʻohana ka CMM kiʻekiʻe o Hexagon i kēia hui ʻana e ana i nā ʻāpana nui a paʻakikī me ke ana ʻana i ka pololei a hiki i ka pae micron, e hāʻawi ana i kahi hōʻoia ikaika no ka hoʻokele maikaʻi ʻana o nā ʻāpana i ka automotive, aerospace a me nā ʻoihana ʻē aʻe.
Kahua Aerospace: I ka hana ʻana a me ka hoʻāʻo ʻana i nā ʻāpana aerospace, pono ke kiʻekiʻe. No ka laʻana, ʻo ka hana ʻana i nā lau ʻenekini mokulele e koi pono i ka mana pololei o ka neʻe ʻana o ka mea hana e hōʻoia i ka pololei o ka ʻaoʻao ʻaoʻao. Hiki ke hoʻohana ʻia ke kumu granite o ka axis air float ultra-precision motion module i ka ʻelima axis machining center a me nā mea hana ʻē aʻe e hāʻawi i ka mana o ka neʻe kiʻekiʻe no ka mea hana a hōʻoia i ka pololei o ka mīkini o ka pahi e hiki ke hoʻokō i nā koi hoʻolālā. I ka manawa like, i ke kaʻina hana o ka ʻenekini aero, pono nō hoʻi e hoʻohana i nā mea ana kiʻekiʻe e ʻike i ka pololei o ka hui ʻana o nā ʻāpana. Hiki ke hāʻawi i ke kākoʻo paʻa a me ka neʻe pololei ʻana o ka ea lele o ke kumu pōhaku no nā lako ana e hōʻoia i ka maikaʻi o ka hui.
Kahua nānā Optical: I ka hana ʻana a me ka hoʻāʻo ʻana o nā ʻāpana optical, pono ia e hana i ke kūlana kiʻekiʻe a me ke ana ʻana i nā ʻāpana optical. No ka laʻana, i ka hana ʻana i nā ʻāpana optical kiʻekiʻe e like me nā aniani a me nā lens, pono e hoʻohana i nā interferometers a me nā mea hana ʻē aʻe e ʻike i ka pololei o ke ʻano o ka ʻili. Hiki ke hoʻohana ʻia ke kumu granite o ka ea ea lele ultra-precision e like me ke kahua neʻe o ka interferometer, hiki ke hoʻomaopopo i ka pololei o ke kūlana sub-micron a hāʻawi i ke kākoʻo ʻikepili pololei no ka ʻike ʻana i nā ʻāpana optical. Eia kekahi, i ka mīkini hana laser, pono nō hoʻi e hoʻohana i kahi paepae neʻe kiʻekiʻe e hoʻomalu i ka trajectory scanning o ka beam laser, hiki i ke kumu granite o ka ea floating motion module ke hoʻokō i kēia koi, e hoʻokō i ka hana laser kiʻekiʻe.