ʻ
Ma ke kahua o ka hana semiconductor, he mea koʻikoʻi ka lako o ka ʻike ʻana i ka optical optical (AOI) i ka hōʻoia ʻana i ka maikaʻi o nā chips. ʻO ka hoʻomaikaʻi iki ʻana i ka pololei o ka ʻike ʻana e hiki ke hoʻololi nui i ka ʻoihana holoʻokoʻa. ʻO ka waihona mea hana, ma ke ʻano he mea nui, he hopena koʻikoʻi i ka pololei o ka ʻike. I kēia mau makahiki i hala iho nei, ua hoʻololi ʻia ka ʻenehana kumu i ka ʻoihana. ʻO Granite, me kāna hana hoʻopaʻa haʻalulu koʻikoʻi, ua hoʻololi mālie i nā mea hao kuʻuna a lilo i mea punahele hou o nā lako nānā AOI. Ua hoʻonui ʻia ka hana hoʻopaʻa haʻalulu e 92% i hoʻohālikelike ʻia me ka hao. He aha nā holomua ʻenehana a me nā loli ʻoihana e waiho nei ma hope o kēia ʻikepili? ʻ
ʻO nā koi koʻikoʻi no ka haʻalulu i nā lako nānā semiconductor AOI
Ua komo ke kaʻina hana o nā ʻāpana semiconductor i ke au nanoscale. I loko o ke kaʻina hana nānā AOI, hiki i nā haʻalulu liʻiliʻi ke hoʻololi i nā hopena nānā. ʻO nā ʻōpala maikaʻi, nā hakahaka a me nā hemahema ʻē aʻe ma ka ʻili o ka chip i ka micrometer a i ʻole ka nanometer pae. Pono nā lens optical o nā mea ʻike e hopu i kēia mau kikoʻī me ka pololei kiʻekiʻe loa. ʻO kēlā me kēia haʻalulu i hoʻouna ʻia e ke kumu e hoʻoneʻe a haʻalulu paha ka lens, e hopena i ka loaʻa ʻana o nā kiʻi polū a ma laila e pili ana i ka pololei o ka ʻike kīnā.
Ua hoʻohana nui ʻia nā mea hao hao i nā kumu o nā mea nānā AOI no ka mea he ikaika a me ka hana hoʻoponopono ʻana, a he haʻahaʻa ke kumukūʻai. Eia nō naʻe, ma ke ʻano o ka hoʻopau ʻana i ka vibration, ʻike ʻia nā hemahema o ka hao. Aia i loko o ka hale o ka hao hao ka nui o nā pepa graphite, e like me nā wahi liʻiliʻi i loko a hoʻopau i ka hoʻomau o ka mea. Ke hana nei ka mea hana a hoʻoulu i ka vibration, a i ʻole e hoʻopilikia ʻia e ka haʻalulu kūlohelohe o waho, ʻaʻole hiki ke hoʻemi ʻia ka ikehu vibration i loko o ka hao hao akā e ʻike mau ʻia a hoʻopaʻa ʻia ma waena o ka pepa graphite a me ka matrix, e hopena i ka hoʻomau mau ʻana o ka haʻalulu. Hōʻike nā hoʻokolohua pili ʻana ma hope o ka hauʻoli ʻana o ke kumu hao e ka haʻalulu o waho, hiki ke lōʻihi ka manawa attenuation vibration no kekahi mau kekona, a he hopena koʻikoʻi ia i ka pololei o ka ʻike ʻana i kēia manawa. Eia kekahi, he haʻahaʻa loa ka modulus elastic o ka hao. Ma lalo o ka hana lōʻihi o ka ʻumekaumaha a me ke koʻikoʻi vibration, hiki ke hoʻololi i ka deformation, e hoʻoikaika hou i ka hoʻouna ʻana. ʻ
ʻO ka mea huna ma hope o ka piʻi ʻana o ka 92% o ka vibration suppression efficiency o nā kumu granite
ʻO Granite, e like me ke ʻano o ka pōhaku maoli, ua hoʻokumu i kahi ʻano o loko a ʻano like ʻole ma o nā kaʻina hana honua i nā haneli miliona mau makahiki. Hoʻokumu nui ʻia ia me nā kristal mineral e like me ka quartz a me ka feldspar i hui pū ʻia, a ʻo nā mea paʻa kemika ma waena o nā kristal he ikaika a paʻa. Hāʻawi kēia hale i ka granite me ka hiki ke hoʻopau i ka vibration. Ke hoʻouna ʻia ka haʻalulu i ke kumu granite, hiki i nā kristal mineral i loko ke hoʻololi koke i ka ikehu vibration i ka ikehu wela a hoʻopau iā ia. Hōʻike nā haʻawina e ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka hoʻoheheʻe ʻana o ka granite ma mua o ka hao, ʻo ia ka mea hiki ke hoʻopaʻa pono i ka ikehu vibration, e hōʻemi ana i ka amplitude a me ka lōʻihi o ka haʻalulu. Ma hope o ka 'oihana ho'āʻo, ma lalo o ka like vibration excitation kūlana, ka vibration attenuation manawa o ka granite kumu mea wale 8% o ka mea o ka mea hao hao, a me ka vibration suppression pono ua mahuahua e 92%. ʻ
ʻO ka paʻakikī kiʻekiʻe a me ka modulus elastic kiʻekiʻe o ka granite e hāʻawi nui. ʻO ka paʻakikī kiʻekiʻe e hōʻoia i ka liʻiliʻi o ka deform o ke kumu i ka wā e halihali ana i ke kaumaha o nā mea hana a me nā hopena ikaika o waho, a mālama mau i kahi kūlana kākoʻo paʻa. ʻO ka modulus elastic kiʻekiʻe e hōʻoia e hiki i ke kumu ke hoʻi koke i kona ʻano kumu i ka wā i hoʻokau ʻia i ka haʻalulu, e hōʻemi ana i ka hōʻiliʻili o ka haʻalulu. Eia kekahi, ʻoi aku ka maikaʻi o ka paʻa wela o ka granite a aneane ʻaʻole i hoʻololi ʻia e nā loli o ka mahana o ke kaiapuni, e pale ana i ka hoʻonui ʻana o ka wela a me ka deformation contraction i hoʻokumu ʻia e ka piʻi ʻana o ka mahana, a laila e hōʻoia hou i ka paʻa o ka hana hoʻopau ʻana i ka vibration. ʻ
ʻO ka hoʻololi ʻana i ka ʻoihana a me nā manaʻo i lawe ʻia e nā kumu pōhaku
Ua hoʻomaikaʻi maikaʻi ʻia ka pono o ka ʻike ʻana i nā lako nānā AOI me kahi kumu granite. Hiki iā ia ke hoʻomaopopo pono i nā hemahema i nā ʻāpana liʻiliʻi liʻiliʻi, e hōʻemi ana i ka helu kuhi hewa i loko o 1% a hoʻonui nui i ka helu hua o ka hana chip. I kēia manawa, ua hoʻonui ʻia ka paʻa o nā mea hana, e hōʻemi ana i ka nui o nā pani no ka mālama ʻana i nā pilikia vibration, hoʻonui i ke ola lawelawe o nā mea hana, a me ka hoʻohaʻahaʻa ʻana i nā kumukūʻai holoʻokoʻa. ʻ
Ka manawa hoʻouna: Mei-14-2025