ʻ
Ma ke kahua o ka hana semiconductor, ʻo ka pololei o nā mea nānā wafer e hoʻoholo pololei i ka maikaʻi a me ka hua o nā chips. E like me ke kumu e kākoʻo ana i nā ʻāpana ʻike kumu, ʻo ke kūpaʻa ʻana o ka pae kumu mea hana i mea koʻikoʻi i ka hana lōʻihi o ka hana o nā mea hana. ʻO ka Granite a me ka hao hao ʻelua mau mea hoʻohana maʻamau no nā lako nānā wafer. Ua hōʻike ʻia kahi haʻawina hoʻohālikelike 10-makahiki i nā ʻokoʻa koʻikoʻi ma waena o lākou e pili ana i ke kūpaʻa dimensional, e hāʻawi ana i nā kuhikuhi koʻikoʻi no ke koho ʻana i nā mea hana. ʻ
Ka Papa Hoʻokolohua a me ka Hoʻolālā
ʻO ke kaʻina hana o nā wafers semiconductor he koi kiʻekiʻe loa no ka ʻike pololei. Hiki i ka micrometer-level deviation dimensional ke alakaʻi i ka emi ʻana o ka hana chip a i ʻole ka ʻoki ʻana. No ka ʻimi ʻana i ke ʻano kūpaʻa o ka granite a me ka hao i ka wā lōʻihi, ua hoʻolālā ka hui noiʻi i nā hoʻokolohua e hoʻohālikelike i nā kaiapuni hana maoli. Ua koho ʻia a waiho ʻia i loko o kahi keʻena kaiapuni kahi i piʻi ai ka mahana mai 15 ℃ a 35 ℃ a me ka haʻahaʻa haʻahaʻa mai 30% a 70% RH. ʻO ka haʻalulu mechanical i ka wā o ka hanaʻana o nā mea hana i hoʻohālikelikeʻia ma o ka papa haʻalulu. Ua ana ʻia nā ana nui o nā laʻana i kēlā me kēia hapaha me ka hoʻohana ʻana i kahi interferometer laser kiʻekiʻe, a ua hoʻopaʻa mau ʻia ka ʻikepili no 10 mau makahiki. ʻ
Ka hopena hoʻokolohua: ʻO ka pono loa o ka granite
He ʻumi makahiki o ka ʻikepili hoʻokolohua e hōʻike ana i ka paʻa ʻana o ka granite substrate. He haʻahaʻa loa kona coefficient o ka hoʻonui wela, he 4.6×10⁻⁶/℃ wale nō. Ma lalo o ka nui o ka hoʻololi ʻana i ka wela, e hoʻomalu mau ʻia ka deviation dimensional i loko o ± 0.001mm. I ke alo o ka hoʻololi ʻana o ka haʻahaʻa, ʻaʻole i hoʻopilikia ʻia ke ʻano paʻa o ka granite, ʻaʻole hiki ke hoʻololi ʻia ke ana. I loko o kahi ʻano haʻalulu mechanical, ʻo nā hiʻohiʻona damping maikaʻi loa o ka granite e hoʻopili pono i ka ikehu vibration, a liʻiliʻi loa ka fluctuation dimensional. ʻ
ʻO ka mea like ʻole, no ka substrate hao, ʻo kona coefficient awelika o ka hoʻonui ʻana i ka wela a hiki i ka 11 × 10⁻⁶/℃ - 13 × 10⁻⁶/℃, a ʻo ka nui o ka hoʻololi ʻana i ka wela i loko o 10 mau makahiki he ± 0.05mm. Ma kahi haʻahaʻa haʻahaʻa, hiki i ka hao hoʻolei i ka pala a me ka pala. Kekahi laʻana hōʻike kūloko deformation, a me ka dimensional deviation hou mahuahua. Ma lalo o ka hana o ka mechanical vibration, hoʻolei ʻia ka hao he haʻahaʻa haʻahaʻa haʻahaʻa haʻahaʻa haʻahaʻa a he loli pinepine kona nui, e paʻakikī ana e hoʻokō i nā koi kiʻekiʻe o ka nānā ʻana i ka wafer. ʻ
ʻO ke kumu nui o ka ʻokoʻa i ka paʻa
Ua hoʻokumu ʻia ka Granite ma luna o nā haneli miliona mau makahiki ma o nā kaʻina hana honua. ʻO kona ʻano i loko he paʻa a ʻaʻahu, a ua hoʻonohonoho paʻa ʻia nā kristal mineral, e hoʻopau ana i ke kaumaha o loko ma ke ʻano. ʻO kēia ka mea hiki ʻole ke hoʻololi i nā mea o waho e like me ka mahana, ka haʻahaʻa a me ka haʻalulu. Hana ʻia ka hao ma ke kaʻina hoʻoheheʻe ʻana a loaʻa nā hemahema microscopic e like me nā pores a me nā lua one i loko. Eia nō naʻe, ʻo ke koʻikoʻi koena i hana ʻia i ka wā o ka hoʻolei ʻana e hiki ke hoʻololi i ka dimensional ma lalo o ka hoʻoulu ʻana o ke kaiapuni o waho. ʻO nā waiwai metala o ka hao hoʻoheheʻe ʻia e maʻalahi i ka ʻōpala ma muli o ka haʻahaʻa, e hoʻolalelale i ka pōʻino o ke kūkulu ʻana a me ka hōʻemi ʻana i ke kūpaʻa dimensional. ʻ
ʻO ka hopena i nā lako nānā wafer
ʻO nā mea nānā Wafer e pili ana i ka granite substrate, me kāna hana paʻa ʻana, hiki ke hōʻoia i ka mālama ʻana o ka ʻōnaehana nānā i ka pololei kiʻekiʻe no ka manawa lōʻihi, e hōʻemi i ka manaʻo hewa a me ka ʻike ʻole ʻia ma muli o ka holo pololei ʻana o nā lako, a hoʻomaikaʻi maikaʻi i ka hua huahana. I kēia manawa, ʻo nā koi haʻahaʻa haʻahaʻa e hōʻemi i ke kumukūʻai ola holoʻokoʻa o nā mea hana. ʻO nā mea hana e hoʻohana ana i nā substrate hao, ma muli o ke kūpaʻa ʻole o ka dimensional, pono ka calibration a me ka mālama pinepine ʻana. ʻAʻole kēia e hoʻonui wale i nā kumukūʻai hana akā hiki ke hoʻopilikia i ka maikaʻi o ka hana semiconductor ma muli o ka lawa ʻole o ka pololei, e hoʻopiʻi ai i nā poho waiwai. ʻ
Ma lalo o ke ʻano o ka ʻimi ʻana o ka ʻoihana semiconductor i ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe a me ka maikaʻi ʻoi aku ka maikaʻi, ʻo ke koho ʻana i ka granite ma ke ʻano he kumu kumu no nā mea nānā wafer he mea kānalua ia he neʻe naʻauao e hōʻoia i ka hana o nā mea hana a hoʻonui i ka hoʻokūkū o nā ʻoihana. ʻ
Ka manawa hoʻouna: Mei-14-2025