Ma waena o ka hana semiconductor, ka metrology holomua, a me ka hana ʻana i ka ultra-precision, ua hōʻea ke koi no ke kūpaʻa, ka pololei, a me ka neʻe ʻole o ka haʻalulu i kahi pae i hiki ʻole i nā ʻōnaehana mīkini kuʻuna ke hoʻokō hou. Ke koi nei kēia hoʻololi i nā hui ʻenekinia honua e loiloi hou i nā mea hana a me nā kahua neʻe e kākoʻo ana i kā lākou lako hana koʻikoʻi loa. ʻO ka hopena, ʻo nā ʻōnaehana i hoʻokumu ʻia i ka granite—e like me ka ʻākoakoa granite precision, nā kahua kumu nānā granite nui, nā Vertical Linear Stages Granite Stages, a me nā hoʻolālā Granite Air Bearing Stage holomua—e lilo nei i mea nui loa i nā ʻoihana pololei kiʻekiʻe. ʻO ka hoʻomaopopo ʻana i ke kumu o kēia mau hale, a pehea lākou e kākoʻo ai i nā noi e like me ka nānā ʻana o ka wafer, he mea nui ia no nā mea hana e hoʻokūkū nei ma ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe o ka pololei.
Hoʻomaka ka pono nui o ka granite me kona mau waiwai kino. ʻAʻole e like me nā hale metala e hoʻokomo i ke kaumaha kūloko, ʻeha i ka hoʻonui ʻana o ka wela, a i ʻole ka hoʻouna ʻana i ka haʻalulu, noho paʻa maoli ka granite ʻeleʻele metrology-grade. ʻAe kēia kūpaʻa i nā ʻenekinia e kūkulu i nā kahua ultra-flat, paʻa loa i hiki ke hāpai i nā ukana kaumaha me ka ʻole o ka hoʻopilikia ʻana i ka pololei. Ke hoʻohana ʻia ma ke ʻano he kumu nānā granite nui, hāʻawi ka mea i ke ʻano o ka pono dimensional e pono ai no nā mea hana semiconductor, nā ʻōnaehana ana optical, a me nā ʻāpana nānā automated e hana mau ana i nā wahi koi.
I ke ao o nā ʻōnaehana neʻe, ua neʻe aku ka granite ma mua o kona kūlana ma ke ʻano he kahua mīkini passive. I kēia lā, lawelawe ia ma ke ʻano he iwi kuamoʻo kūkulu no nā Vertical Linear Stages Granite Stages, kahi e pono ai ke hana hou ʻia ka neʻe pololei ma ke axis Z ma nā pae sub-micron a i ʻole nanometer. Hoʻokomo pinepine kēia mau pae i ka ʻenehana ea e hali ana, e hiki ai i ka neʻe ʻole friction e pono ai no ka pololei lōʻihi. Hoʻopau kahi pae Granite i hoʻolālā maikaʻi ʻia i ka hana wela a me ka ʻaʻahu mechanical, ʻelua mau mea e kaupalena mau ana i ke ola a me ka hilinaʻi o nā kahua neʻe pololei.
ʻO nā bearings ea kekahi o nā hana hou koʻikoʻi e hoʻokele nei i kēia ulu ʻana. Hāʻawi kahi Granite Air Bearing Guide i kahi ʻili alakaʻi kiʻekiʻe e hiki ke kākoʻo i ka neʻe ʻana me ka laumania loa, me ka ʻole o ka hoʻopili ʻana. Ke hoʻohui ʻia i loko o kahi Granite Air Bearing Stage, hiki i ka ʻōnaehana ke mālama i ka neʻe paʻa me ka liʻiliʻi o ka hewa hahai, ʻoiai ma lalo o nā wikiwiki kiʻekiʻe a i ʻole nā pōʻaiapuni hana i hoʻolōʻihi ʻia. He mea nui loa kēia hiki i ka hana semiconductor, kahi e pono ai ka hoʻonohonoho wafer, ka pololei o ka overlay, a me ka scan micro-pattern i ka neʻe paʻa loa i nā axes āpau. ʻO ka hui pū ʻana o ka paʻa granite a me ka neʻe ʻana o ka ea i kēia manawa ua manaʻo ʻia he benchmark i ka hoʻolālā mīkini kiʻekiʻe.
Ua loaʻa i kēia mau holomua ka hopena nui i ka ʻoihana semiconductor, ʻoi aku hoʻi i ka nānā ʻana o ka wafer. Pono nā ʻōnaehana nānā e hoʻokaʻawale i ka haʻalulu, mālama i ka palahalaha kūpono, a hāʻawi i ka mana neʻe ʻole hewa ʻoiai e lawelawe ana i nā wafers palupalu ma nā ʻae ʻana o ka pae nanometer. Hāʻawi kahi ʻano i hoʻokumu ʻia i ka granite i ke kahua e hiki ai kēia. Hoʻopili ka nui o ka mea i nā micro-vibration mai nā motika, nā lako a puni, a me nā mea pili i ke kaiapuni, e hōʻoia ana e loaʻa i nā ʻōnaehana optical koʻikoʻi kahi kahua maʻemaʻe a paʻa hoʻi mai kahi e hana ai. I ka emi ʻana o nā kikowaena hana a me ka paʻakikī o nā koi nānā, ua hōʻoia nā ʻōnaehana neʻe i kākoʻo ʻia e ka granite he mea nui ia no ka mālama ʻana i ka hua a me ka pale ʻana i ka pono o ka wafer.
No nā mea hana lako, ʻoi aku ka waiwai o nā hale granite ma mua o nā pono o nā mea. ʻO ke ʻano o ka hui granite pololei i hoʻohui piha ʻia ʻo ia hoʻi hiki ke hana ʻia nā mōlina mīkini paʻakikī, nā mea hoʻokomo i hoʻokomo ʻia, nā pae honua pololei, a me nā alakaʻi ea e like me kahi hale i hoʻohui ʻia. Hoʻemi kēia i ka manawa hui, hoʻopau i nā pilikia hoʻonohonoho, a hōʻoia i ka mālama ʻana o ka mīkini hope loa i ke kūpaʻa geometric lōʻihi. Me nā hoʻomaikaʻi mau ʻana i ka ʻenehana mīkini, hiki ke hana ʻia nā ʻāpana granite me nā hoʻomanawanui paʻa loa, e kūpono ai ka mea no nā semiconductor hanauna hou a me nā lako optical.
ʻO kekahi kumu e hoʻokele nei i ka hoʻohana ʻana ma ʻEulopa, ʻAmelika Hui Pū ʻIa, a me ʻAsia ʻo ia ka lōʻihi o ke kūpaʻa o ka granite. ʻAʻole e like me nā ʻāpana metala e pono ai nā uhi, ka lubrication, a i ʻole ka calibration pinepine, mālama ka granite i kona ʻano o ka ʻili me ka mālama liʻiliʻi. Ke hoʻohana ʻia ma kahi kahua Granite a i ʻole ke kahua nānā nui, ʻo ke kūpaʻa o ka mea i ka deformation e hōʻoiaʻiʻo ana e hana pono ka ʻōnaehana i nā makahiki he nui o ka hoʻohana ikaika. No nā hui e pili ana i ke kumukūʻai o ke ola, hāʻawi kēia kūpaʻa lōʻihi i kahi hoʻihoʻi hiki ke ana ʻia ma ka hoʻopukapuka kālā.
I ka hoʻoikaika ʻana o nā ʻoihana i nā kūlana kiʻekiʻe o ka pololei, ua ʻike nui ʻia ka granite ʻo ia ke kumu no ka hana ʻana i nā mea paʻa loa. Inā paha e kākoʻo ana i kahi kahua ea wikiwiki a i ʻole ke kūkulu ʻana i ke kumu o kahi mīkini nānā pololei kiʻekiʻe, hōʻoia ka granite ʻaʻole i hoʻopilikia ʻia ka hana e nā loli o ke kaiapuni a i ʻole ke kaumaha mechanical. Me ka ulu ʻana o ke koi semiconductor, ka hoʻonui ʻana i ka automation, a me nā ʻenehana optical holomua, e hoʻomau ka piʻi ʻana o ke koʻikoʻi o nā kahua granite.
Ke kūpaʻa nei ʻo ZHHIMG i ka hoʻolaha ʻana i nā hiki o nā hoʻonā granite kikoʻī. Ma o nā kaʻina hana mīkini i hoʻomaʻemaʻe ʻia, ka mana koʻikoʻi o ka ISO, a me ka hoʻomohala mau ʻana o nā ʻano hana maʻamau e like me ka ʻākoakoa granite kikoʻī, Granite Air Bearing Stage, a me Vertical Linear Stages Granite Stages, kākoʻo ka hui i nā mea kūʻai aku e hilinaʻi nei i ka pololei loa i nā noi koʻikoʻi. I ka ulu ʻana o ka nānā ʻana o ka wafer, ka metrology nanometer, a me ka automation kiʻekiʻe, e noho mau ka granite ma ke kikowaena o ka ʻenekinia kikoʻī hou—hilinaʻi ʻia no kona kūpaʻa, kūlike, a me ka hana.
Ka manawa hoʻouna: Nov-28-2025