Ma nā lumi mālie loa o ka honua—nā hale hana hana semiconductor—ke kaua mālie nei kekahi kaua kūʻē i kahi ʻenemi ʻike ʻole ʻia: ka haʻalulu. I ka hele ʻana o ka ʻoihana microelectronics honua i nā palena puka logic o 2nm a ma ʻō aku, ua aneane nalowale ke ahonui no ka paʻa ʻole o ka mīkini. I loko o kēia mau wahi i hoʻopaʻa ʻia a hoʻomalu nui ʻia, ua hoʻopaʻa ʻia ka hana o kahi mea hana lithography a metrology paha he miliona miliona kālā i ka honua e kū nei. ʻO ia ke kumu o ke koi nogranite haʻalulu ʻole no ka fabUa ulu ka ʻoihana hana mai kahi kikoʻī hoʻohiwahiwa i mea e pono ai no ka hoʻonui ʻana i ka hopena.
Hoʻoikaika pinepine nā ʻōnaehana hoʻokaʻawale haʻalulu kuʻuna i nā bearings ea hana a i ʻole ka dampening uila paʻakikī. Eia nō naʻe, ʻike ka poʻe noʻonoʻo ʻenekinia akamai loa ma ʻEulopa a me ʻAmelika ʻĀkau he like ka maikaʻi o nā ʻōnaehana hana me ke kūpaʻa passive o ko lākou kumu. ʻO ka granite kūlohelohe, ʻoiai ke hana ʻia i kahi kūlana papa granite semiconductor grade, hāʻawi i kahi density molecular intrinsic e hakakā nei nā mea synthetic e hana hou. ʻO ke ʻano crystalline o nā waihona gabbro a me granite i koho ʻia e ZHHIMG e hana ma ke ʻano he kānana haʻahaʻa kūlohelohe, e omo ana i ka ikehu micro-acoustic alapine kiʻekiʻe ma mua o ka hiki ke unuhi i ka neʻe ʻana o ka tip tool.
Ke kūkākūkā mākou i kahipapa ʻili granite semiconductor, ke kuhikuhi nei mākou i kahi pae o ka pololei e ʻoi aku ma mua o ka metrology ʻoihana maʻamau. Ma kahi hale hana maʻamau, ua lawa paha kahi papa Grade 00 no ka nānā ʻana i nā ʻāpana mīkini. Ma kahi semiconductor, pono nā ʻenekinia ZHHIMG e noʻonoʻo i ka pololei volumetric, ka hygroscopy ʻili, a me ke kūpaʻa palaoa lōʻihi. ʻO kēlā me kēia neʻe microscopic i loko o ka pōhaku ma luna o ʻelima mau makahiki hiki ke alakaʻi i ka nalowale nui o ka nānā ʻana i kahi scanner EUV (Extreme Ultraviolet). No laila, pili kā mākou hana ʻana i kahi manawa hoʻomaha koʻikoʻi, e ʻae ana i ka pōhaku e hōʻea i kahi kūlana o ke kaulike geological ma mua o ka hoʻomaka ʻana o ka lapping pololei hope loa.
Ke koʻikoʻi ogranite haʻalulu ʻole no ka fabHoʻonui hou ʻia ka hoʻohana ʻana e ka hoʻonui ʻana i nā koi throughput o ka hana wafer hou. ʻO nā motika linear wikiwiki, e hoʻoneʻe ana i nā pae wafer ma nā wikiwiki kupaianaha, e hoʻoulu i nā ikaika reactive koʻikoʻi. Me ka ʻole o kahi kumu nui, inert, a me ka dampening vibration, hana kēia mau ikaika i nā oscillations koena e pono ai ka "manawa hoʻonohonoho" ma waena o nā ana. Ma ka hoʻokō ʻana i kahi hopena granite kiʻekiʻe ZHHIMG, hiki i nā mea hana fab ke hōʻemi nui i kēia manawa hoʻonohonoho, e unuhi pololei ana i nā wafers hou aʻe i kēlā me kēia hola a me ka huina kumukūʻai haʻahaʻa o ka nona.
He kuleana koʻikoʻi nō hoʻi nā mea pili i ke kaiapuni i loko o ka fab i ke koho ʻana i nā mea. He ʻōnaehana olaola koʻikoʻi ka lumi maʻemaʻe kahi e hiki ai i nā loli wela, ʻoiai he liʻiliʻi loa, ke hoʻonui a hoʻemi paha i nā mea. ʻO ZHHIMGpapa ʻili granite semiconductorUa koho ʻia nā huahana no ko lākou coefficient haʻahaʻa loa o ka hoʻonui ʻana i ka thermal (CTE). Ke hui pū ʻia me kā mākou ʻenehana kahawai hoʻoluʻu i hoʻohui ʻia, hāʻawi kēia mau kumu granite i kahi kahua thermally invariant e mālama ana i kona pālahalaha me ka nānā ʻole i ka wela i hana ʻia e nā ʻāpana uila ma luna.
Ke nānā nei i ka ʻaoʻao ākea o ka ʻoihana, ʻo ka hoʻololi ʻana i 300mm a me nā nui wafer 450mm e pono ai nā ʻāpana kūkulu nui aʻe a ʻoi aku ka paʻa. Hōʻike kēia unahi i kahi pilikia ʻenekinia kūikawā: ka mālama ʻana i ka palahalaha piha ma luna o kahi ʻili nui aʻe me ka hōʻoia ʻana e noho mau ana ka pōhaku "ʻaʻohe haʻalulu." Ua hoʻoponopono ʻo ZHHIMG i kēia ma ka hoʻopukapuka kālā ʻana i nā mīkini wili CNC nui a me nā mīkini lapping i hiki ke hoʻokō i nā hoʻomanawanui micron-level ma kekahi mau mika o ka pōhaku. Hōʻoia kēia i ka ulu ʻana o ka nui o nā lako fab, ʻaʻole e emi ka paʻa o ke kumu.
Ma waho aʻe o nā lako paʻa, ua paʻa ke akeakamai o ZHHIMG i ka ʻike loea a me ka ʻenekinia hana like. Hoʻomaopopo mākou no kahi OEM (Original Equipment Manufacturer) ma ʻAmelika Hui Pū ʻIa a i ʻole ka ʻAhahui ʻEulopa, ʻo ka hilinaʻi o ke kaulahao lako he mea nui ia e like me ka palahalaha o ka pōhaku. Hāʻawi kā mākou palapala hoʻomalu maikaʻi i kahi "palapala hānau" piha no kēlā me kēia ʻāpana ogranite haʻalulu ʻole no ka fabka lawe ʻana, e hōʻike ana i ke kumu o ka pōhaku, ka haku mele mineral, a me nā hopena hoʻāʻo ultrasonic. ʻO kēia pae o ka paʻakikī e hōʻoia i ka wā e hoʻokomo ʻia ai kahi kahua ZHHIMG, lilo ia i ʻāpana mau loa a hilinaʻi hoʻi o ka hoʻoilina o ka fab.
I ka hoʻokele ʻana o ka naʻauao hana a me ka helu hana kiʻekiʻe i kahi nalu hou o ka hoʻopukapuka semiconductor, ke hoʻomau nei ka ʻimi no ke kaiapuni "kūpono loa". Ke hoʻolaʻa mau nei ʻo ZHHIMG i kēia ʻimi, e hoʻomaʻemaʻe ana i ke akamai o ka metrology pōhaku e hoʻokō i nā pilikia o nā nanostructures o ka lā ʻapōpō. Ke manaʻoʻiʻo nei mākou ua kūkulu ʻia ka wā e hiki mai ana o ka ʻenehana ma luna o kahi kahua paʻa, a haʻaheo mākou e hāʻawi i nā hopena papa granite paʻa loa, semiconductor grade i nā mea kālai hale o ka au kikohoʻe.
ʻO ka hoʻohui ʻana o ka pōhaku kikoʻī ZHHIMG i loko o kahi hale hana he ʻoi aku ia ma mua o kahi koho kūkulu—he kūpaʻa ia i nā kūlana kiʻekiʻe loa o ka metrology kino. Ke nānā nei ka ʻoihana i nā makahiki he ʻumi e hiki mai ana o ka hana hou, ʻo ka noho mālie a paʻa ʻole o ka granite kikoʻī e noho mau ana i ka meʻe mālie o kēlā me kēia hua wafer holomua.
Ka manawa hoʻouna: Malaki-05-2026