No ke aha i kuhikuhi ai nā mea hana lako Semiconductor i nā kumu Granite kūlohelohe - 5 mau kumu koʻikoʻi

I loko o ke ao koʻikoʻi o ka hana ʻana o ka semiconductor, kahi e ana ʻia ai nā nui o nā hiʻohiʻona ma nā nanometer, he mea koʻikoʻi ke kumu o ka mīkini e like me ka optics a i ʻole ka ʻōnaehana vacuum. Inā he mīkini nānā wafer a i ʻole kahi ʻōnaehana lithography hohonu-ultraviolet (DUV), kuhikuhi mau nā OEM honua i ka granite ʻeleʻele maoli no ko lākou mau kumu kūkulu.

Akā no ke aha i lilo ai ka pōhaku maoli i kūlana gula ma kahi ʻoihana i wehewehe ʻia e nā mea synthetic ʻoi loa? Eia nā kumu loea ʻelima no ke aha i koho ʻole ʻia ai ka granite kūlohelohe no nā lako semiconductor.

1. Kūlana Paʻa Wela Kiʻekiʻe ma ka Fab

Pono ke kaiapuni semiconductor "Front-End" i ke kūlike piha o ka dimensional. ʻOiai kahi hapa o ke kekelē i ka loli o ka mahana hiki ke hoʻonui i nā ʻano metala, e alakaʻi ana i nā hewa overlay a i ʻole "blurring" i ka lithography.

He haʻahaʻa loa ka Coefficient of Thermal Expansion (CTE) o ka granite kūlohelohe. I ka hoʻohālikelike ʻana i kahikumu graniteno kahi mīkini nānā wafer i kahi kila a alumini paha, noho mau ka granite i ka "hau" ʻoiai nā loli liʻiliʻi o ke kaiapuni. Hoʻomaopopo kēia inertia wela e noho kūlike ke ala optical mai ka wafer mua o ka hoʻololi a hiki i ka hope.

2. Hoʻemi haʻalulu kūikawā no ka Nanometer Precision

He ʻano maʻalahi loa nā lako lithography a me nā mea hana metrology hoʻonā kiʻekiʻe i ka "walaʻau" - nā haʻalulu e hele mai ana mai ka papahele o ka hale hana, nā mea hoʻoluʻu, a i ʻole nā ​​​​mea lawelawe wafer robotic.

ʻOiai ke ʻano o nā metala e "kani" (haʻalulu no ka manawa lōʻihi ma hope o ka hopena), he kiʻekiʻe ka mana hoʻomālamalama kūloko o ka granite kūlohelohe. Hoʻopili a hoʻopuehu koke ia i ka ikehu kinetic. ʻO kēia granite damping haʻalulu no nā lako lithography e hiki ai i ka mīkini ke noho wikiwiki ma hope o ka neʻe ʻana o ke kahua wikiwiki, e hoʻonui nui ana i ka "Units Per Hour" (UPH) throughput o ka mea hana.

3. ʻAʻole Magnetic a me ka Uila ʻAʻole Alakaʻi

Hoʻokomo pinepine nā kaʻina hana semiconductor i nā kukuna uila koʻikoʻi (E-beam) a i ʻole nā ​​​​motika linear magnetic kiʻekiʻe. Hiki i kahi kumu metala ke hoʻopilikia i kēia mau kahua magnetic a i ʻole e hana i nā kahe eddy e hoʻopilikia i ka pololei o ka sensor.

Ma ke ʻano he insulator kūlohelohe, hāʻawi ka granite i kahi kahua metrology non-magnetic no nā lumi maʻemaʻe. ʻAʻole ia e hoʻopilikia i ke kaiapuni electromagnetic o ka mea hana, e ʻae ana i ka ʻikepili maʻemaʻe a ʻaʻohe ʻino i ka wā o ka hoʻohālikelike ʻana i ka wafer topography a i ʻole ka nānā ʻana i nā hemahema.

4. Ke kū'ē'ē i ka palaho a me ka hoʻohālikelikeʻana o ka lumi maʻemaʻe

I loko o kahi lumi maʻemaʻe (Class 1 a i ʻole Class 10), ʻo ka hoʻopuka ʻana i ke kinoea a me ka hana ʻana i nā ʻāpana nā ʻenemi o ka hua. ʻAʻole e like me ka hao i hoʻolei ʻia a i ʻole ke kila, ʻaʻole popo ka granite maoli, oxidize, a i ʻole koi i nā pena kemika a me nā uhi e hiki ke ʻōpala a puka paha i waho o ke kinoea i ka hala ʻana o ka manawa.

He inert kemika ka Granite. ʻOiai ke hōʻike ʻia i nā mea hoʻomaʻemaʻe kūikawā i hoʻohana ʻia i loko o kahi hale semiconductor, mālama ia i kona kūpaʻa o ka ʻili. ʻO kona ʻano kiʻekiʻe (ma kahi o 3100kg/m³) e hōʻoiaʻiʻo ana e noho "particle-neutral" ia i loko o ke ola o nā lako.

5. Ke hoʻokō nei i ka "Palahalaha Maoli" ma o ka Lapping Lima

I ka ʻoihana semiconductor, ʻaʻole lawa ka "pālahalaha". Pono pinepine nā ʻāpana i ka pololei nano-pae i hiki ʻole i nā mīkini CNC ke hoʻokō.

ʻAe ka granite kūlohelohe i ka hoʻopaʻa lima ʻana, kahi hana hoʻomaʻemaʻe lima kahi e hiki ai i nā loea akamai ke hoʻokō i nā ʻae ʻana o ka palahalaha e like me ±0.001mm. He mea nui kēia pae o ka pololei no nā pae ea e hoʻohana ʻia ana i nā scanner wafer hou, kahi e pono ai ke kaulike o ka ea ma waena o ke kahua a me ke kumu ma ka laulā huakaʻi holoʻokoʻa.

ʻO ka Pōmaikaʻi ZHHIMG: Pololei no ka Nano-Age

Ma UNPARALLELED (ZHHIMG), ʻoi aku ka maikaʻi o ko mākou ʻike ʻana i ke kūpaʻa wela o ka granite i loko o nā fabs semiconductor ma mua o kekahi. Hāʻawi mākou i nā ʻāpana granite i hana ʻia e ka hana maʻamau i nā mea hana mea hana semiconductor alakaʻi o ka honua, e loea ana i:

• Nā kumu nui loa e kūpono i ka mīkini hoʻoheheʻe.

• Nā kaola kikoʻī no nā ʻōnaehana gantry wikiwiki.

• Nā hoʻokomo i hoʻohui ʻia no ka hoʻouka ʻana o ka motika linear.

Hoʻokumu ʻia a hana ʻia kā mākou granite ʻeleʻele kiʻekiʻe e hoʻokō i nā kikoʻī koi loa o ka palapala alanui semiconductor honua.