E hoʻonui ʻia anei ke kumu mīkini granite ma muli o ka wela i ka wā o ka scan wafer?

Ma ke loulou koʻikoʻi o ka hana ʻana i nā ʻāpana - ke scan wafer, ʻo ka pololei o nā lako e hoʻoholo ai i ka maikaʻi o ka ʻāpana. Ma ke ʻano he ʻāpana koʻikoʻi o nā lako, ua huki nui ka pilikia hoʻonui wela o ke kumu mīkini granite i ka manaʻo.

ʻO ka coefficient o ka hoʻonui wela o ka granite ma waena o 4 a me 8 × 10⁻⁶/℃, ʻoi aku ka haʻahaʻa ma mua o nā metala a me ke kinikini. ʻO ke ʻano kēia, i ka wā e loli ai ka mahana, ʻaʻole loli iki kona nui. Eia nō naʻe, pono e hoʻomaopopo ʻia ʻaʻole manaʻo ka hoʻonui wela haʻahaʻa ʻaʻohe hoʻonui wela. Ma lalo o nā loli wela koʻikoʻi, ʻoiai ka hoʻonui iki ʻana e hoʻopilikia i ka pololei nanoscale o ka scan wafer.

I ka wā o ke kaʻina hana scan wafer, aia kekahi mau kumu no ka hiki ʻana mai o ka hoʻonui ʻana o ka wela. ʻO nā loli o ka mahana ma ka hale hana, ka wela i hana ʻia e ka hana ʻana o nā ʻāpana lako, a me ka mahana kiʻekiʻe koke i lawe ʻia e ka hana laser e hoʻoulu ai i ke kumu granite e "hoʻonui a ʻuʻuku ma muli o nā loli o ka mahana". Ke hele ke kumu i ka hoʻonui ʻana o ka wela, hiki ke ʻokoʻa ke pololei o ke ala alakaʻi a me ka pālahalaha o ke kahua, e hopena ai i ka neʻe pololei ʻole o ka papa wafer. E neʻe pū nā ʻāpana optical kākoʻo, e hoʻoulu ai i ke kukuna scan e "ʻokoʻa". ʻO ka hana mau ʻana no ka manawa lōʻihi e hōʻiliʻili pū i nā hewa, e hoʻonui ai i ka pololei.

Akā, mai hopohopo. Loaʻa i nā kānaka nā hopena. Ma ke ʻano o nā mea hana, e koho ʻia nā aa granite me kahi coefficient haʻahaʻa o ka hoʻonui ʻana o ka wela a e hoʻokō ʻia i ka mālama ʻana i ka wā kahiko. Ma ke ʻano o ka kaohi ʻana i ka mahana, ua hoʻomalu pololei ʻia ka mahana o ka hale hana ma 23±0.5℃ a i ʻole ka haʻahaʻa, a e hoʻolālā ʻia hoʻi kahi mea hoʻoheheʻe wela ikaika no ke kumu. Ma ke ʻano o ka hoʻolālā ʻana i ke ʻano, ua hoʻohana ʻia nā ʻano symmetrical a me nā kākoʻo palupalu, a ua mālama ʻia ka nānā ʻana i ka manawa maoli ma o nā mea ʻike mahana. Hoʻoponopono ʻia nā hewa i hana ʻia e ka deformation thermal e nā algorithms.

ʻO nā lako hana kiʻekiʻe e like me nā mīkini lithography ASML, ma o kēia mau ʻano hana, mālama i ka hopena hoʻonui wela o ke kumu granite i loko o kahi pae liʻiliʻi loa, e hiki ai i ka pololei o ka scan wafer ke hiki i ka pae nanometer. No laila, inā e hoʻomalu pono ʻia, ʻo ke kumu granite ke koho hilinaʻi no nā lako scan wafer.