E hoʻonui paha ka waihona mīkini granite ma muli o ka wela i ka wā e nānā ana i ka wafer?

Ma ka loulou kī o ka hana ʻana i ka chip - ka nānā ʻana i ka wafer, ʻo ka pololei o nā mea hana e hoʻoholo ai i ka maikaʻi o ka chip. Ma ke ʻano he mea koʻikoʻi o nā mea hana, ʻo ka pilikia hoʻonui wela o ka waihona mīkini granite ua huki nui ʻia.

ʻO ka coefficient o ka hoʻonui wela o ka granite ma waena o 4 a me 8 × 10⁻⁶/℃, ʻoi aku ka haʻahaʻa ma mua o nā metala a me ke kinikini. 'O ia ho'i, ke ho'ololi ka mahana, ho'ololi iki kona nui. Eia nō naʻe, pono e hoʻomaopopo ʻia ʻaʻole ʻo ka hoʻonui haʻahaʻa wela ʻaʻole ia he hoʻonui wela. Ma lalo o nā loli wela loa, hiki i ka hoʻonui iki ke hoʻopili i ka pololei nanoscale o ka nānā ʻana i ka wafer.

I ka wā o ke kaʻina ʻana o ka wafer, nui nā kumu no ka hiki ʻana mai o ka hoʻonui wela. ʻO ka piʻi ʻana o ka mahana i loko o ka hale hana, ka wela i hana ʻia e ka hana ʻana o nā mea hana, a me ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe koke i lawe ʻia e ka hoʻoili ʻana i ka laser e hoʻoulu ai i ka waihona granite e "hoʻonui a ʻaelike ma muli o nā loli wela". I ka manawa e hoʻonui ʻia ai ka wela, hiki i ka pololei o ke kaʻa alakaʻi a me ka palahalaha o ka paepae ke ʻalo aʻe, e hopena i ka neʻe pono ʻole o ka papaʻaina wafer. E hoʻololi hoʻi nā ʻāpana optical kākoʻo, e hoʻoneʻe ai i ka beam scanning e "wehe". ʻO ka hana mau ʻana no ka manawa lōʻihi e hōʻiliʻili pū i nā hewa, e ʻoi aku ka maikaʻi o ka pololei.

Mai hopohopo. Ua loaʻa i nā kānaka nā hoʻonā. Ma ke ʻano o nā mea, e koho ʻia nā veins granite me kahi haʻahaʻa haʻahaʻa o ka hoʻonui ʻana i ka wela a hoʻopaʻa ʻia i ka lāʻau kahiko. Ma ke ʻano o ka mālama ʻana i ka wela, ua hoʻokele pololei ʻia ka mahana o ka hale hana ma 23 ± 0.5 ℃ a i ʻole ka haʻahaʻa, a e hoʻolālā ʻia kahi mea hoʻoheheʻe wela ikaika no ke kumu. Ma ke ʻano o ka hoʻolālā hoʻolālā, ʻae ʻia nā ʻano symmetrical a me nā kākoʻo maʻalahi, a mālama ʻia ka nānā ʻana i ka manawa maoli ma o nā mea ʻike wela. ʻO nā hewa i hana ʻia e ka thermal deformation e hoʻoponopono ʻia e nā algorithms.

ʻO nā mea hana kiʻekiʻe e like me nā mīkini lithography ASML, ma o kēia mau ʻano, e mālama i ka hopena hoʻonui wela o ka base granite i loko o kahi ākea liʻiliʻi loa, e hiki ai i ka wafer scanning pololei a hiki i ka pae nanometer. No laila, i ka wā e hoʻomalu pono ʻia ai, ʻo ke kumu granite ka mea i koho pono ʻia no nā lako nānā wafer.