He kipi i ka pololei o ka ʻoki ʻana i ka wafer! Pehea e mālama ai i kahi kūlana ±5um no kahi kumu granite?

I ke kaua hope loa o ka "nanoprecision" i ka hana semiconductor, ʻoiai ka hewa liʻiliʻi loa i nā lako ʻoki wafer hiki ke hoʻolilo i kahi ʻāpana i ʻōpala. ʻO ke kumu granite ka meʻe kaulana ʻole e kaohi ana i ka pololei o ke kūlana hana hou ±5um, e kākau hou ana i nā lula o ka hana pololei me kāna mau mea kupanaha kūlohelohe ʻekolu.

ʻO ke "heleuma hoʻopaʻa" e kūʻē i ka hoʻololi wela: ʻO ke koina o ka hoʻonui wela o ka granite he haʻahaʻa e like me 5-7 ×10⁻⁶/℃, ʻo ia hoʻi hoʻokahi hapakolu wale nō o nā mea metala. Ma lalo o ka hopena wela i hana ʻia e ka hana wikiwiki o nā lako ʻoki wafer, e hoʻololi nā mea maʻamau ma muli o ka hoʻonui wela a me ka ʻūlū ʻana, e hoʻoneʻe ana i ke kūlana o ke poʻo ʻoki. Eia nō naʻe, hiki i ke kumu granite ke noho "neʻe ʻole", e hoʻopau loa ana i ka ʻokoʻa kūlana i hoʻokumu ʻia e ka hoʻololi wela a kau i kahi kahua paʻa no ka pololei.

ʻO ka "pale leo ʻole" o ka omo ʻana o ka haʻalulu: ʻO ka uwē mau ʻana o nā mea hana mīkini a me ka haʻalulu mau ʻana o nā lako i loko o ka hale hana hiki ke manaʻo ʻia he "mea pepehi kanaka make" i ka pololei. ʻO ke ʻano kristal kū hoʻokahi o ka granite e like me ka mea hoʻomoʻa haʻalulu kūlohelohe, hiki ke hoʻololi koke i nā haʻalulu o waho a me nā haʻalulu mechanical i hana ʻia e ka hana o nā lako i ikehu wela no ka hoʻopuehu ʻana. ʻOiai ke "lūlū" nei nā kumu ʻē aʻe ma muli o ka haʻalulu, ua hana ke kumu granite i kahi kahua paʻa no ke poʻo ʻoki e noho neʻe ʻole ana, e hiki ai ke pololei ±5um.

"Eternal Fortress" Kūpaʻa i ka ʻino: Ua piha nā hale hana Semiconductor me nā mea ʻino e like me nā hopena etching a me nā mea hoʻomaʻemaʻe waikawa a me alkali. I loko o ia ʻano, e popo mālie a hoʻololi ke kumu metala. ʻO ka Granite, me kona kūpaʻa kemika kūlohelohe, ʻaʻole ia e pane iki me kēia mau mea kemika. ʻAʻohe mea i ka nui o nā makahiki e hoʻohana ʻia ai, hiki iā ia ke mālama i ka pono o ke kūkulu ʻana a hōʻoia mau i ka ʻoki pololei kiʻekiʻe.

Mai ke kālena mea a hiki i ka hana ʻana i ka pololei loa, ua hōʻike ke kumu granite me kona ikaika ʻaʻole hiki i nā mea āpau ke hoʻokō i nā pilikia paʻakikī o ka hana semiconductor. Ma muli o kēia mau pono kūlohelohe hiki ʻole ke hoʻololi ʻia i lilo ai nā kumu granite i kī no nā lako ʻoki wafer e hoʻokō i ka pololei o ke kūlana hana hou o ±5um, a ua hoʻoikaika hou i ka ʻoihana semiconductor e neʻe mau i ka pololei kiʻekiʻe!