Ma ke kahua o ka hana ʻana i nā mea hana kiʻekiʻe a me ka noiʻi ʻepekema ʻoi loa, ua lilo ka modula neʻe ultra-precision o ka lana ea i mea hana nui no ka hana maikaʻi a me ke ana ʻana me kāna hana pololei maikaʻi loa. ʻO ke kumu kikoʻī granite, ma ke ʻano he kumu kākoʻo, he mau koi koʻikoʻi no ke kaiapuni hana, a ʻo nā kūlana kaiapuni kūpono ke kumu e hōʻoia i kāna hana paʻa a me ka hopena maikaʻi loa.
ʻO ka mea mua, ka mana o ka mahana: "stabilizer" pololei
ʻOiai ua ʻike ʻia ka granite no kona kūpaʻa, ʻaʻole ia e pale loa i nā loli o ka mahana. ʻOiai he haʻahaʻa kona coefficient o ka hoʻonui ʻana o ka thermal, ma ke ʻano maʻamau he 5-7 × 10⁻⁶/℃, i nā hiʻohiʻona kaohi neʻe ultra-precision, hiki i nā loli mahana maalea ke hoʻololi i nā dimensional a hoʻopilikia i ka pololei o ka module. I loko o ka hale hana hana chip semiconductor, pono ke kaʻina hana lithography i ka pololei o ke kūlana danami-level, a loli ka mahana ambient ma 1 ° C, a ʻo ke kumu granite me ka lōʻihi o ka ʻaoʻao o 1 mika e hana i ka hoʻonui linear a i ʻole ka ʻūlū ʻana o 5-7 microns. Hoʻouna ʻia kēia loli liʻiliʻi e ka module neʻe ultra-precision o ka lana ea, ʻo ia ka mea e lawa ai e hana i ka chip lithography pattern deviation a hoʻemi nui i ka hua. No laila, i hoʻolako ʻia me ke kumu granite precision o ka module neʻe ultra-precision lana ea, pono e kāohi ʻia ka mahana hana kūpono ma 20 ° C ± 1 ° C, me ke kōkua o nā lako mahana mau kiʻekiʻe, e like me ka mahana mau a me ka ʻōnaehana ea ea, ka nānā mau ʻana a me ka hoʻoponopono ʻana i ka mahana ambient, e hōʻoia i ka loli o ka mahana ma kahi liʻiliʻi loa, e mālama i ke kūpaʻa o ka nui o ke kumu, e hōʻoia i ka hana pololei o ka module.
ʻO ka lua, ka hoʻokele ʻana i ka makū: ke kī i ka pale ʻana i ka makū "pōhaku"
ʻO ka haʻahaʻa kekahi mea nui e hoʻopilikia ai i ka hana o ke kumu granite kikoʻī. I loko o kahi kaiapuni haʻahaʻa kiʻekiʻe, maʻalahi ka granite e omo i ka mahu wai, kahi e alakaʻi ai i ka condensation ma luna o ka ʻili, ʻaʻole wale ia e hoʻopilikia i ke kūpaʻa o ka pilina o ka granite a me ka module neʻe ultra-precision o ka lana ea, akā hiki nō hoʻi ke hana i ka ʻino o ka ʻili a hōʻemi i ka ʻōlinolino a me ka pololei i ka wā lōʻihi. I loko o ka hale hana wili lens optical, inā ʻoi aku ka haʻahaʻa ma mua o 60% RH no ka manawa lōʻihi, ʻo ka mahu wai i hoʻopili ʻia ma luna o ka ʻili o ke kumu granite e hoʻopilikia i ka neʻe ʻana o ka slider lana kinoea, i mea e emi ai ka pololei o ka wili lens, a hewa ka ʻili. No laila, pono e hoʻomalu pono ʻia ka haʻahaʻa pili o ke kaiapuni hana ma waena o 40% -60% RH, hiki ke nānā ʻia a hoʻoponopono ʻia i ka manawa maoli ma o ka hoʻokomo ʻana i nā dehumidifiers, nā mea ʻike haʻahaʻa a me nā lako ʻē aʻe e pale aku i ka hōʻino ʻana i ke kumu granite ma muli o ka haʻahaʻa kiʻekiʻe, a hōʻoia i ka hana maʻalahi o ka module neʻe ultra-precision o ka lana ea.
ʻO ke kolu, ka hōʻoia o ka maʻemaʻe: ke "kahu" o ka pololei
ʻAʻole hiki ke hoʻohaʻahaʻa ʻia ka pōʻino o nā ʻāpana lepo i ke kumu granite kikoʻī o ka module neʻe ultra-precision o ka lana ʻana o ka ea. Ke komo nā ʻāpana liʻiliʻi i loko o ka hakahaka kiʻiʻoniʻoni kinoea ma waena o ka slider lana kinoea a me ke kumu granite, hiki iā lākou ke hoʻopau i ke ʻano like o ka kiʻiʻoniʻoni kinoea, hoʻonui i ka friction, a hiki ke kahakaha i ka ʻili o ke kumu, e hopena ana i ka emi ʻana o ka pololei o ka neʻe ʻana. Ma ka hale hana mīkini ultra-precision o nā ʻāpana aerospace, inā hāʻule nā ʻāpana lepo i ka lewa ma luna o ke kumu granite, hiki ke hoʻololi ʻia ke ala neʻe o ka mea hana mīkini, e hoʻopilikia ana i ka pololei o ka mīkini ʻana o nā ʻāpana. No laila, pono e mālama ʻia ka wahi hana maʻemaʻe loa, e hiki ana i 10,000 a ʻoi aku paha nā pae kiʻekiʻe o nā kūlana maʻemaʻe, ma o ke kau ʻana i nā lako hoʻomaʻemaʻe ea, e like me nā kānana ea kiʻekiʻe (HEPA), kānana i nā ʻāpana lepo i ka lewa, i ka manawa like, pono nā limahana e ʻaʻahu i nā lole ʻaʻohe lepo, nā uhi kāmaʻa, a pēlā aku, e hōʻemi i ka lepo i lawe ʻia mai e nā kānaka. E mālama i kahi hana kiʻekiʻe o ke kumu granite a me ka module neʻe ultra-precision lana ea.
ʻEhā, ka hoʻokaʻawale haʻalulu: hana maʻalahi o ka "shock pad"
ʻO ka haʻalulu o waho ka ʻenemi o ka pololei o ka modula neʻe ultra-precision o ka lana ea. ʻOiai he hiki ke hoʻēmi i ka haʻalulu o ke kumu granite precision, hiki i ka haʻalulu ikaika kiʻekiʻe ke uhaki i kona palena buffer. Hoʻouna ʻia ka haʻalulu i hana ʻia e ke kaʻa a puni ka hale hana a me ka hana o nā lako mīkini nui i ke kumu granite ma o ka honua, kahi e hoʻopilikia ai i ka pololei o ka neʻe ʻana o ka modula neʻe ultra-precision o ka lana ea. I ka CMM kiʻekiʻe, hiki i ka haʻalulu ke hana i ka pilina ma waena o ka probe ana a me ka workpiece e ana ʻia i mea paʻa ʻole, e hopena ana i ka ʻokoʻa o ka ʻikepili ana. I mea e hoʻoponopono ai i kēia pilikia, pono e hoʻohana i nā hana hoʻokaʻawale haʻalulu kūpono, e like me ke kau ʻana i nā pads hoʻokaʻawale haʻalulu ma kahi hoʻokomo lako, ke kūkulu ʻana i ke kahua hoʻokaʻawale haʻalulu, a i ʻole ka hoʻohana ʻana i ka ʻōnaehana hoʻokaʻawale haʻalulu ikaika e hoʻopau ikaika i ka haʻalulu o waho, a hana i kahi hana mālie a paʻa no ke kumu precision granite a me ka modula neʻe ultra-precision lana ea.
Ma ka hoʻokō piha ʻana i nā koi o ke kaiapuni o ka mahana, ka haʻahaʻa, ka maʻemaʻe a me ka kaohi haʻalulu, hiki i ke kumu kikoʻī granite o ka modula neʻe ultra-precision o ka lana ea ke hāʻawi i ka pāʻani piha i kona mau pono hana, hāʻawi i ka hōʻoia hilinaʻi no nā hana ultra-precision ma nā ʻano like ʻole, a kōkua i ka ʻoihana e neʻe i kahi pae hana hana kiʻekiʻe a me ka noiʻi ʻepekema.
Ka manawa hoʻouna: ʻApelila-08-2025