Ma ka hale hana hana semiconductor, ʻoi loa nā koi o ke kaʻina hana hana chip no nā kūlana kaiapuni a me ka pololei o nā lako, a ʻo kekahi ʻokoʻa iki e alakaʻi i ka emi nui ʻana o ka hua chip. Hilinaʻi ka paepae neʻe gantry precision XYZT i nā ʻāpana granite e hana pū me nā ʻāpana ʻē aʻe o ke kahua e kūkulu i kahi kahua paʻa no ka hoʻokō ʻana i ka pololei nanoscale.
Nā waiwai pale haʻalulu maikaʻi loa
Ma ka hale hana hana semiconductor, ʻo ka hana ʻana o nā lako peripheral a me nā limahana e hele wāwae ana a puni e hiki ke hoʻoulu i ka haʻalulu. ʻO ke ʻano o loko o nā ʻāpana granite he paʻa a like, me nā ʻano damping kiʻekiʻe kūlohelohe, e like me kahi "pale" haʻalulu kūpono. Ke hoʻouna ʻia ka haʻalulu o waho i ka paepae XYZT, hiki i ka ʻāpana granite ke hoʻēmi pono ma mua o 80% o ka ikehu haʻalulu a hōʻemi i ke komo ʻana o ka haʻalulu ma ka pololei o ka neʻe ʻana o ka paepae. I ka manawa like, ua lako ka paepae me kahi ʻōnaehana alakaʻi lana ea kiʻekiʻe, e hana pū ana me nā ʻāpana granite. Hoʻohana ka alakaʻi lana ea i ka ʻili kinoea paʻa i hana ʻia e ke kinoea kiʻekiʻe e hoʻomaopopo i ka neʻe ʻana o ka hoʻokuʻu ʻole ʻia o nā ʻāpana neʻe o ka paepae a hōʻemi i ka haʻalulu liʻiliʻi i hoʻokumu ʻia e ka friction mechanical. I ka hui pū ʻana, hōʻoia nā mea ʻelua e mālama mau ʻia ka pololei o ke kūlana paepae ma ka pae nanometer i nā kaʻina hana koʻikoʻi e like me ka chip lithography a me ke kālai ʻana, a pale i ka ʻokoʻa o nā ʻano kaapuni chip i hoʻokumu ʻia e ka haʻalulu.
Paʻa wela maikaʻi loa
He mana nui ka loli ʻana o ka mahana a me ka haʻahaʻa i loko o ka hale hana i ka pololei o nā lako hana ʻāpana. He haʻahaʻa loa ke koina hoʻonui wela o ka granite, ma ke ʻano maʻamau ma 5-7 ×10⁻⁶/℃, aneane ʻaʻole loli ka nui ke loli ka mahana. ʻOiai inā ʻo ka ʻokoʻa o ka mahana ma waena o ke ao a me ka pō i loko o ka hale hana a i ʻole ka hana wela o nā lako e hoʻoulu ai i ka mahana ambient e loli, hiki i nā ʻāpana granite ke noho paʻa e pale i ka deformation o ke kahua ma muli o ka hoʻonui ʻana a me ka ʻūlū ʻana o ka wela. I ka manawa like, ʻo ka ʻōnaehana hoʻomalu mahana akamai i lako me ke kahua e nānā i ka mahana ambient i ka manawa maoli, hoʻoponopono ponoʻī i ka ea hoʻoluʻu a me nā lako hoʻoheheʻe wela, a mālama i ka mahana o ka hale hana ma 20 ° C ± 1 ° C. I hui pū ʻia me nā pono o ke kūpaʻa wela granite, e hōʻoia i ka paepae i ka hana lōʻihi, ʻo ka pololei o ka neʻe ʻana o kēlā me kēia axis e hoʻokō mau i nā kūlana kikoʻī nanometer hana ʻāpana, e hōʻoia i ka pololei o ke ʻano lithography chip, a like ka hohonu etching.
E hoʻokō i nā pono o kahi kaiapuni maʻemaʻe
Pono ka hale hana semiconductor e mālama i kahi kiʻekiʻe o ka maʻemaʻe e pale aku i nā ʻāpana lepo mai ka haumia ʻana i ka chip. ʻAʻole hana ka mea Granite i ka lepo, a he laumania ka ʻili, ʻaʻole maʻalahi ke omo i ka lepo. Hoʻohana ka paepae holoʻokoʻa i kahi hoʻolālā pani piha a i ʻole ka hapalua pani e hōʻemi i ke komo ʻana o ka lepo o waho. Hoʻopili ʻia ka ʻōnaehana hoʻohele ea kūloko me ka ʻōnaehana hoʻomaʻemaʻe ea maʻemaʻe o ka hale hana e hōʻoia i ka hiki ʻana o ka maʻemaʻe o ka ea kūloko i ka pae e pono ai no ka hana ʻana i nā chip. Ma kēia ʻano maʻemaʻe, ʻaʻole e hoʻopilikia nā ʻāpana granite i ka hana ma muli o ka ʻino ʻana o ka lepo, a hiki i nā ʻāpana koʻikoʻi e like me nā sensor kiʻekiʻe a me nā motika o ka paepae ke hana paʻa, e hāʻawi ana i ka hōʻoia pololei nanoscale mau a hilinaʻi hoʻi no ka hana ʻana i nā chip, a kōkua i ka ʻoihana semiconductor e neʻe i kahi pae hana kiʻekiʻe.
Ka manawa hoʻouna: ʻApelila-14-2025