Pehea e hiki ai i kahi kahua optical granite ke hoʻokō i kahi kūpaʻa angular o 0.01μrad?

Ma nā kahua o nā hoʻokolohua optical precision a me ka hana ʻana kiʻekiʻe, ʻo ke kūpaʻa angular ma ka pae 0.01μrad kahi hōʻailona koʻikoʻi. ʻO nā kahua optical Granite, me kā lākou mau waiwai mea a me ka synergy ʻenehana, ua lilo i mea lawe koʻikoʻi no ka hoʻokō ʻana i ka precision ultra-kiʻekiʻe.

ʻO nā pono o nā mea e kau ai i kahi kahua paʻa. ʻO ka Granite, ma ke ʻano he pōhaku igneous i hoʻokumu ʻia e ka geology ma luna o nā haneli miliona mau makahiki, ua kaulana ʻia no kona coefficient haʻahaʻa loa o ka hoʻonui ʻana o ka thermal, ʻo ia wale nō ka hapalua o ke kila a me ka hapahā o ka alumini. Ke loli ka mahana ma 1 ℃, hoʻonui ka ʻāpana granite 1-mika ka lōʻihi ma 6 micrometers wale nō, ʻoiai hoʻonui ka ʻāpana alumini ma 23 micrometers. Pale pono kēia i ka angular deviation i hoʻokumu ʻia e ka thermal deformation. I kēia manawa, hiki i kāna hana damping maikaʻi loa ke hoʻēmi koke i nā haʻalulu o waho, e mālama ana i ke kahua i kahi kūlana static a hōʻemi i ka hoʻopilikia ʻana me nā ʻāpana optical.

Hoʻonui ka hoʻolālā kūkulu pololei i ka paʻakikī. ʻO ka paepae optical granite, ma hope o kahi hoʻolālā kūkulu mechanical i hoʻomaikaʻi ʻia, ua hoʻonui nui ʻia ka paʻakikī a hiki ke pale aku i ka hoʻololi ʻana o ka ukana. Hiki i kona pololei o ka hana ʻana i ka ʻili i ka pae kiʻekiʻe loa i ka ʻoihana. Ke lawe nei i ka pololei o ka pae 00 e kū nei i ke kūlana GB4987-85 ma ke ʻano he laʻana, ʻo ka hoʻomanawanui pālahalaha he 2 × (1 + d / 1000) μm wale nō (ʻo d ka lōʻihi diagonal), e hāʻawi ana i kahi kuhikuhi hoʻonohonoho pālahalaha loa no nā lako optical.

Hoʻokō ʻia ka calibration dynamic ma o ka laulima ʻenehana. Ke hoʻolako ʻia me nā ʻōnaehana hoʻokaʻawale haʻalulu holomua e like me nā pūnāwai ea a i ʻole ka levitation magnetic, hiki i ka paepae granite ke hoʻokaʻawale i nā haʻalulu alapine haʻahaʻa a me ke alapine kiʻekiʻe. Hoʻohui ʻia e nā lako ana pololei kiʻekiʻe e like me nā interferometers laser, nānā ʻia nā loli Angle i ka manawa maoli. Ke hala ka deviation ma mua o ka paepae o 0.01μrad, hoʻokele koke ka ʻōnaehana hoʻomalu feedback i ka mīkini hoʻoponopono maikaʻi no ka hoʻoponopono ʻana e hōʻoia i ka noho mau ʻana o ka paepae i kahi kūlana pololei kiʻekiʻe a paʻa.

Mai ke kumu o ka mea a hiki i ka hoʻoikaika ʻana i ka ʻenehana, ʻo ke kahua optical granite, me ke kūpaʻa wela, ke kū'ē i ka haʻalulu a me nā pono hana pololei ma ke ʻano he kumu, i hui pū ʻia me ka ʻenehana kaohi akamai, ua uhaʻi kūleʻa i ka paepae pololei 0.01μrad a hoʻohana nui ʻia i nā kahua ʻoi loa e like me ka photolithography, ka nānā ʻana i nā hōkū a me ke ana ʻana o ka laser, e paipai ana i ka noiʻi a me ka hana ʻana o nā optics pololei kiʻekiʻe i kahi kiʻekiʻe hou.