ʻAʻole pinepine ka hoʻolaha ʻana o ka alignment drift i nā lako lithography iā ia iho he hemahema hoʻokahi. Hōʻike mālie ia - hewa overlay e kolo ana ma waho o nā kikoʻī ma kekahi mau neʻe, a i ʻole ka hana hou ʻana i maikaʻi i ke kakahiaka a kānalua i ke awakea. I ka wā i hoʻokokoke mai ai kahi mea hana lako semiconductor iā mākou me kēlā ʻano ma kahi ʻōnaehana hōʻike gantry-based, ʻo ka manaʻo ma ko lākou ʻaoʻao e nānā mua i nā optics a me nā mīkini kahua. Manaʻo kūpono - ʻo ia ka mea i kānalua pinepine ʻia. I kēia hihia, ua ʻike ʻia ke kumu kūkulu ma lalo o ka gantry he mea kōkua nui aʻe ma mua o ka mea i manaʻo ʻia.
Ka Pilikia Hoʻonohonoho
Ua hoʻohana nā lako i kahi kiʻikuhi gantry kila i hoʻopaʻa ʻia e hāpai i ke poʻo optical ma waena o ka envelope hana. Ma ka pepa, ua hoʻokō ke kiʻikuhi i kona hoʻomanawanui static. Eia naʻe, i ka hana ʻana, ua ʻike ka mea hana i ka hewa overlay e pili pono ana me ka manawa o ka lā a me nā loli mahana o ka papahele hale kūʻai - kahi ʻano e kuhikuhi ana i ka hoʻonui wela ma mua o ka hewa mechanical a i ʻole ka ʻōnaehana kaohi. ʻO ke coefficient o ka hoʻonui wela o ke kila, i hui pū ʻia me ke kūkulu ʻana o ke kiʻikuhi i hoʻopaʻa ʻia, ʻo ia hoʻi ke neʻe nei ka gantry span ma kahi liʻiliʻi akā maoli i ka neʻe ʻana o ka mahana ambient ma o kahi lā hana maʻamau. Ma kahi ʻōnaehana kahi i koi ʻia ai ka hoʻonohonoho sub-micron, he mau microns o ka neʻe ʻana o ka hoʻonohonoho ʻole ʻia e lawa ai e hoʻokuke i ka hewa overlay mai ka spec i kēlā me kēia manawa - ʻo ia ke ʻano o ka pilikia intermittent, paʻakikī ke ʻike i ka pilikia e ʻai ana i nā pule o ka manawa ʻenekinia ma mua o ka nīnau ʻana o kekahi i ke kiʻikuhi.
No ke aha ʻo Granite ka pane kūkulu
ʻO ke pani ʻana i kahi gantry kila i hoʻopaʻa ʻia me kahi mea like granite ʻaʻole ia he hoʻololi like-no-like - hoʻololi ia i nā kuhi hoʻolālā. ʻO ke koina haʻahaʻa o ka hoʻonui wela o Granite a me ke koina damping kiʻekiʻe aʻe, ʻo ia hoʻi e pane mālie ka hale a emi iki ka koʻikoʻi i nā loli like o ke ambient. E like me ka mea e pili ana: ʻaʻole lawe ka granite i nā koʻikoʻi kūloko i koe e like me ka hana a kahi kiʻi kila i hoʻopaʻa ʻia, no laila ʻaʻole ia e hoʻomau i ka kolo ʻana i nā dimensional ma luna o nā makahiki o ka hoʻokele wela e like me ke ʻano o kahi hale metala i hana ʻia.
ʻAʻole ke koho ʻana i nā mea i hoʻopilikia ʻia e ka ʻenekinia, akā, ʻo ka hoʻokō ʻana - pono e hana ʻia kahi kaola gantry e uhi ana i ka envelope hana piha o nā lako e like me kahi ʻano lōʻihi, hoʻokahi ʻāpana e pale aku ai i ka hoʻokomo ʻana i nā hui e hoʻolauna hou i ka granite instability i manaʻo ʻia e hoʻoponopono. He nīnau ia no ka hiki ke hana ʻana e like me ka mea hana; ʻaʻole hiki i nā mea hana granite āpau ke hana i kahi kaola o kēlā lōʻihi a me ke kaumaha i ka palahalaha a me ke kūlike e pono ai i loko o kahi hoʻonohonoho hoʻokahi. ʻO ka hiki i kā mākou hale ke hana i hoʻokahi ʻāpananā ʻāpana granitea hiki i 20 mika ka lōʻihi i hana i kēia i mea kūpono ma mua o ke koi ʻana i kahi ʻaelike i ʻāpana ʻia a hoʻopaʻa ʻia.
Nā kikoʻī hoʻokō
Ua hoʻopau ʻia ke kaola gantry me nā ʻaoʻao hoʻopaʻa optical a ka mea kūʻai aku i mīkini pololei ʻia i loko o ka granite, e paʻa ana i nā ʻae ʻana o ka flatness a me ka perpendicularity e kūlike me ke koena o ka waihona kālā hoʻonohonoho o ka ʻōnaehana hōʻike. Ua hahai ka hoʻopau ʻana o ka ʻili i ke kaulahao ana like i hoʻohana ʻia ma kā mākou mea hana kuhikuhi granite - i hoʻoponopono ʻia e kūʻē i nā lako i hiki ke hahai ʻia i nā kūlana o ka ʻoihana metrology aupuni - no laila ua loaʻa i ka nānā ʻana o ka mea kūʻai aku nā palapala e kūlike, ma mua o ka pono e hōʻoia hou kūʻokoʻa i ka flatness ma mua o ke kau ʻana.
ʻO ke kaumaha kahi mea lua e pono ke haʻi pololei ʻia: ʻoi aku ka mānoanoa o ka granite ma mua o ka ʻāpana kila kūkulu like, a pono nā motika kahua a me ke kūkulu kākoʻo o ka mea kūʻai aku e hoʻokipa i kēlā ʻokoʻa. He kālepa maoli kēia o nā hoʻolālā gantry granite, ʻaʻole he mea e uhi ʻia - hele mai nā pono wela a me ka damping me kahi hoʻopaʻi nui e pono e hoʻolālā ʻia a puni ma mua o ka nānā ʻole ʻia.
Hopena
Ma hope o ke kau ʻana, ua hōʻike ka mea kūʻai aku ʻaʻole i hahai hou ʻia ka hewa overlay me ka manawa o ka lā a i ʻole ka mahana ambient e like me ka wā ma mua - ua nalowale nui ka pilina i kuhikuhi i ka thermal drift i ka hōʻailona mua. Ua lilo ka hana hou ʻana ma waena o nā hoʻololi i mea kūlike, ʻoi aku ka nui o ka hana ma mua o kekahi helu kikoʻī hoʻokahi, ʻoiai ʻo ka hua hana e hilinaʻi ʻia ma ke kūlike ma waena o ka holo piha ma mua o kahi ana maikaʻi loa.
ʻO ka mea a kēia hihia e manaʻo nui ai
He mea maʻalahi ke nānā ʻole ʻia nā mea kumu kūkulu i ka hoʻoponopono ʻana i ke kaulike no ka mea ʻaʻole ia he mea kānalua mua - hoʻopiʻi mua ʻia nā optics, nā loops control, a me nā mechanics stage, a i kekahi manawa pololei. Akā i ka wā e pili ai ka drift me ka mahana ma mua o ka ukana a i ʻole ke ʻano neʻe, pono ke kiʻi ponoʻī e nānā ʻia ma mua o ka hoʻolilo ʻana i ka manawa hou i ka hoʻoponopono hou ʻana i nā ʻōnaehana ʻaʻole i lilo i pilikia maoli. ʻAʻole he hoʻoponopono ākea nā gantry granite a me nā hale alahaka, a ʻaʻole lākou ka pane kūpono no kēlā me kēia papa lako - akā no nā noi kahi e hoʻoholo pololei ai ke kūpaʻa wela i ka hua, pono lākou e loiloi mua i ke kaʻina hana diagnostic ma mua o ka maʻamau.
Ka manawa hoʻouna: Aug-07-2026