,
,
I loko o ke ao kikoʻī o ka hana semiconductor, ʻo ka hoʻāʻo ʻana i nā wafers ʻaʻole luku he loulou koʻikoʻi ia e hōʻoia i ka maikaʻi o nā ʻāpana. ʻO ke kumu granite liʻiliʻi ʻole ʻo ia ka "hero unsung" e hoʻoholo ai i ka pololei o ka ʻike ʻana. Pehea lā ka hopena o ia i nā hopena hoʻāʻo? E hana kēia ʻatikala i kahi loiloi hohonu mai nā ana e like me nā waiwai mea a me ka hoʻolālā kūkulu.
1. Paʻa Paʻa: ʻO nā pono kūlohelohe o ka granite e kau ana i kahi kahua paʻa no ka pololei
1. Hana seismic maikaʻi loa
I ka wā o ka hana ʻana o nā lako hoʻāʻo wafer ʻaʻole luku, ʻo ka wili ʻana o ka motika a me ka neʻe ʻana o nā ʻāpana mechanical e hoʻoulu i nā haʻalulu. Inā ʻaʻole i kāohi pono ʻia kēia mau haʻalulu, e hoʻopilikia nui lākou i ka pololei o ka hoʻāʻo ʻana. Ua ulana pono ʻia ka loko o ka granite me nā kristal mineral e like me ka quartz a me ka feldspar. Hāʻawi kona ʻano kū hoʻokahi iā ia me kahi hiki ke omo haʻalulu kūlohelohe, hiki ke omo ma mua o 90% o ka ikehu haʻalulu o nā lako. Hōʻike ka ʻikepili ana maoli o kekahi mea hana semiconductor ma hope o ka hoʻohana ʻana i ke kumu granite, ua hoʻemi ʻia ka amplitude haʻalulu o nā lako ʻike mai 12μm a i 2μm, e pale pono ana i ka ʻokoʻa o ka hōʻailona ʻike i hoʻokumu ʻia e ka haʻalulu.
2. Haʻahaʻa loa ke koina hoʻonui wela
I ka wā o ke kaʻina hana ʻike, ʻo nā mea e like me ka hoʻomehana ʻana o nā lako a me nā loli o ka mahana o ke kaiapuni e hoʻopilikia i ke kūpaʻa o ke kumu mīkini. Hoʻonui nui ʻia nā mea maʻamau i ka wā e hoʻomehana ʻia ai, akā ʻo ke koina o ka hoʻonui wela o ka granite he 1/5 wale nō o ke kila. ʻOiai inā loli ka mahana ambient ma 10 ℃, hiki ke hoʻowahāwahā ʻia kona deformation. Hiki i kēia ke hāʻawi i ke kumu granite i kahi kahua kuhikuhi paʻa no nā lako nānā, e hōʻoiaʻiʻo ana e pololei mau ana ke kūlana pili ma waena o ka probe nānā a me ka wafer i nā manawa a pau a pale i nā hewa nānā i hoʻokumu ʻia e ka deformation wela.
ʻO ka lua, hoʻolālā pololei: Hoʻonui hou ka hoʻonui ʻana i ke ʻano hana i ka hilinaʻi o ka ʻike ʻana
Ka hana ʻana me ka pololei kiʻekiʻe a me ka hōʻoia palahalaha
Hoʻoponopono ʻia ke kumu granite kiʻekiʻe e ka ʻenehana CNC linkage ʻelima-axis holomua, me ka pālahalaha o ±0.5μm/m, e hāʻawi ana i kahi kuhikuhi hoʻonohonoho ultra-flat no nā lako nānā. I ka nānā ʻana o ka wafer, he mea nui ke kū pololei a me ka pae o ka probe nānā i nā hopena nānā. Hiki i kahi kumu granite kiʻekiʻe ke hōʻoia i ke kūlana pololei o ka probe, e ʻoi aku ka pololei a me ka hilinaʻi o ka ʻikepili nānā.
2. Hoʻololi hoʻonohonoho i hoʻopilikino ʻia
Hiki ke hoʻopilikino ʻia nā kumu mīkini Granite no nā lako hoʻāʻo wafer ʻaʻole luku a me nā koi hana. No ka laʻana, no ka hoʻokō ʻana i nā koi o nā lako nānā optical no ka hoʻomālamalama ʻana o ke kukui, hiki ke mālama kūikawā ʻia ka ʻili o ke kumu mīkini; No ka hoʻokō ʻana i nā koi hoʻonohonoho o nā lako hoʻāʻo ultrasonic, hiki ke hana mua ʻia ke kumu me nā lua hoʻonohonoho pololei a me nā pā kaula, e hiki ai ke hoʻonohonoho wikiwiki a pololei o nā lako a me ka hōʻemi ʻana i nā ʻokoʻa ʻike i hoʻokumu ʻia e nā hewa hoʻonohonoho.
Iii. Paʻa lōʻihi: E hōʻemi i ka pohō pololei i hoʻokumu ʻia e ka mālama ʻana i nā lako
He paʻakikī kiʻekiʻe ko Granite a he kūpaʻa ikaika hoʻi i ka ʻaʻahu ʻana, me ka paʻakikī Mohs o 6 a 7, ʻo ia hoʻi ʻekolu manawa o ke kūpaʻa ʻana o ke kila maʻamau. I ka wā o nā hana nānā lōʻihi, ʻaʻole maʻalahi ka ʻili o ke kumu mīkini i ka ʻaʻahu ʻana a hiki ke mālama mau i kahi kūlana pololei maikaʻi. I ka hoʻohālikelike ʻana, hiki i nā kumu i hana ʻia me nā mea ʻē aʻe ke hoʻololi i ka kuhikuhi hoʻonohonoho o nā lako ma muli o ka ʻaʻahu ʻana a me ka haehae ʻana, a laila e hoʻopilikia ana i ka pololei o ka ʻike ʻana a koi pinepine i ka calibration a me ka mālama ʻana. ʻO ke ola lawelawe lōʻihi a me ke kūpaʻa kiʻekiʻe o ke kumu granite e hōʻemi pono i ke alapine o ka mālama ʻana i nā lako a hoʻohaʻahaʻa i ka pilikia o ka nalowale pololei e hiki mai ana i ka wā o ke kaʻina hana mālama.
Mai ke kūpaʻa haʻalulu, ke kūpaʻa wela a hiki i ka hoʻolālā pololei, ʻo kēlā me kēia hiʻohiʻona o ke kumu granite e pale ana i ka pololei o ka hoʻāʻo ʻana i nā wafers ʻaʻole luku. I kēia au hana semiconductor e alualu nei i ka pololei loa, ʻo ke koho ʻana i kahi kumu granite kiʻekiʻe e like me ka hoʻohui ʻana i kahi papa paʻa o ka ʻinikua i ka pololei a me ka hilinaʻi o nā hopena hoʻāʻo.
Ka manawa hoʻouna: Iune-18-2025