Ma nā ʻāpana hea o ka ʻōnaehana hoʻoili wafer e hoʻohana ʻia ai nā mea granite?

Hoʻohana nui ʻia nā mea Granite i ka ʻoihana semiconductor ma muli o ko lākou mau ʻano maikaʻi loa, e like me ke kūpaʻa kiʻekiʻe, ka hoʻonui wela haʻahaʻa, a me ke kūpaʻa kiʻekiʻe i ka pala. ʻO kēia mau waiwai e hoʻolilo i ka granite i mea kūpono no ke kūkulu ʻana i nā ʻāpana kikoʻī kiʻekiʻe i loko o kahi ʻōnaehana hoʻoili wafer.

I ke kaʻina hana semiconductor, he kuleana koʻikoʻi ko ka ʻōnaehana hoʻoili wafer i ka lawe ʻana i nā wafer ma nā pae like ʻole o ke kaʻina hana. ʻO ka pololei a me ka pololei nā koi koʻikoʻi no kēia mau ʻōnaehana ʻoiai hiki i nā ʻokoʻa liʻiliʻi ke hoʻoweliweli i ke kaʻina holoʻokoʻa. No laila, pono e hana ʻia nā ʻāpana i loko o ka ʻōnaehana hoʻoili wafer mai nā mea kiʻekiʻe, a ua hoʻokō ka granite i kēlā mau pae.

ʻO kekahi mau ʻāpana o ka ʻōnaehana hoʻoili wafer i hana ʻia mai nā mea granite:

1. Papa ʻaina Vacuum Chuck

Hoʻohana ʻia ka papa ʻaina vacuum chuck no ka paʻa ʻana i ka wafer i ka wā o ke kaʻina hana, a pono e loaʻa kahi ʻili paʻa e hōʻoia ʻaʻole i hōʻino ʻia ka wafer. He mea kūpono ʻo Granite no ka hana ʻana i kēia papa ʻaina no ka mea he ʻili pālahalaha, ʻaʻole porous e hāʻawi ana i ke kūpaʻa kiʻekiʻe a me ka pololei. Eia kekahi, he haʻahaʻa ka coefficient o ka hoʻonui wela o ka granite, e kūʻē ana i nā loli o ka mahana e hiki ai ke hoʻololi i nā dimensional i loko o ka wafer.

2. Kahua Hāpai Ea

Hoʻohana ʻia ke kahua ea e lawe i ka wafer ma o nā pae like ʻole o ke kaʻina hana. Ua hana ʻia ke kahua e hāʻawi i kahi neʻe ʻana me ka friction ʻole, kahi e pono ai ke kiko kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa. Hoʻohana ʻia ka Granite ma kēia noi no ka mea he pōhaku paʻa a paʻakikī hoʻi, a kūʻē ia i ka deformation a me ke komo ʻana i ka hala ʻana o ka manawa.

3. Nā Alakaʻi Neʻe Laina

Hoʻohana ʻia nā alakaʻi neʻe linear e alakaʻi i ke kahua ea, a pono e hoʻonoho pololei ʻia e hōʻemi i nā hewa. Hoʻohana ʻia ʻo Granite e kūkulu i kēia alakaʻi no ka mea he kūpaʻa mechanical maikaʻi loa a me ka ikaika. He kūpaʻa hoʻi ka mea i ka palaho, kahi e hōʻoiaʻiʻo ai i ka lōʻihi o ka ʻōnaehana alakaʻi.

4. Nā Lako Hana Metrology

Hoʻohana ʻia nā lako hana Metrology e ana i nā ana a me nā waiwai o ka wafer i ka wā o ke kaʻina hana. He mea kūpono ʻo Granite no ke kūkulu ʻana i kēia lako no ka mea he kiʻekiʻe kona ʻoʻoleʻa, hoʻonui haʻahaʻa, a me ka liʻiliʻi o ka deformation ma lalo o ke kaumaha. Eia kekahi, ʻo ke kūpaʻa wela o ka granite e hōʻoiaʻiʻo ana e paʻa a pololei nā lako metrology i ka hala ʻana o ka manawa.

I ka hopena, hilinaʻi ka ʻoihana semiconductor i ka pololei a me ka pololei, a ua hōʻoia ʻia nā mea granite he hilinaʻi nui a paʻa hoʻi i ke kaʻina hana. Me nā ʻāpana koʻikoʻi he nui i ka ʻōnaehana hoʻoili wafer e koi ana i ke kūpaʻa kiʻekiʻe, ka pololei, a me ka hoʻonui wela haʻahaʻa, ua huli nā ʻenekinia i nā mea granite e hoʻokō i kēia mau koi koʻikoʻi.