ʻO ka motika linear + ke kumu granite: ʻO ka mea huna nui o ka hanauna hou o ka ʻōnaehana hoʻoili wafer.

Ma ke kaulahao pololei o ka hana semiconductor, ua like ka ʻōnaehana hoʻoili wafer me ke "laina ola o ka laina hana chip", a ʻo kona kūpaʻa a me ka pololei e hoʻoholo pololei i ka helu hua o nā chips. Hoʻohui hou ka hanauna hou o nā ʻōnaehana hoʻoili wafer i nā motika linear me nā kumu granite, a ʻo nā pono kūikawā o nā mea granite ke code kumu e wehe ai i ka hoʻoili hana kiʻekiʻe.

,
Kumu Granite: Ke kūkulu ʻana i kahi "kumu paʻa pōhaku" no ka hoʻoili paʻa
ʻO Granite, i hala i nā haneli miliona mau makahiki o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka honua, hōʻike ia i ka crystallization mineral kūloko paʻa a like. ʻO kēia ʻano kūlohelohe e lilo ia i mea kumu kūpono no nā ʻōnaehana hoʻoili wafer. I loko o ke kaiapuni paʻakikī o nā lumi maʻemaʻe semiconductor, ʻo granite, me kona coefficient ultra-low o ka hoʻonui ʻana o ka thermal (5-7 × 10⁻⁶/℃ wale nō), hiki ke pale aku i ka wela i hana ʻia i ka wā o ka hana ʻana o nā lako a me ka mana o nā loli o ka mahana o ke kaiapuni, e hōʻoiaʻiʻo ana i ke kūpaʻa o ka nui o ke kumu a me ka pale ʻana i ka ʻokoʻa o ke ala hoʻoili i hoʻokumu ʻia e ka deformation thermal. Hiki i kāna hana damping vibration kupaianaha ke omo koke i nā haʻalulu mechanical i hana ʻia i ka wā hoʻomaka, pani a me ka wikiwiki o nā mīkini linear, a me nā mea hoʻopilikia waho i lawe ʻia e ka hana o nā lako ʻē aʻe i loko o ka hale hana, e hāʻawi ana i kahi kahua paʻa me ka "zero shake" no ka hoʻoili wafer.
I kēia manawa, ʻo ke kūpaʻa kemika o ka granite e hōʻoiaʻiʻo ʻaʻole ia e pala a ʻōpala paha i nā hale hana semiconductor kahi e loli ai nā reagents waikawa a me alkali a pono ka maʻemaʻe kiʻekiʻe, no laila e pale aku ai i ka hopena ma ka pololei o ka hoʻoili ʻana ma muli o ka ʻelemakule ʻana o nā mea a i ʻole ka adsorption haumia. Hiki i nā ʻano ʻili laumania a mānoanoa ke hōʻemi maikaʻi i ka hoʻopili ʻana o ka lepo, e hoʻokō ana i nā kūlana paʻa ʻole o ka lepo o nā lumi maʻemaʻe a hoʻopau i ka pilikia o ka haumia wafer mai ke aʻa.
ʻO ka hopena "hui gula" o nā motika linear a me ka granite
ʻO nā motika linear, me ko lākou mau ʻano o ka ʻole o ka hoʻokuʻu ʻana i ka mīkini, ka wikiwiki kiʻekiʻe a me ka wikiwiki pane kiʻekiʻe, hāʻawi i ka hoʻoili wafer me nā pono o ka "wikiwiki, pololei a paʻa". Hāʻawi ke kumu granite i kahi kahua kākoʻo paʻa a hilinaʻi hoʻi no ia. Hana pū nā mea ʻelua e hoʻokō i kahi lele i ka hana. Ke hoʻokele ka motika linear i ka mea lawe wafer e holo ma ke ala kumu granite, ʻo ka paʻakikī ikaika a me ke kūpaʻa o ke kumu e hōʻoia i ka hoʻoili pono ʻana o ka ikaika hoʻokele motika, e pale ana i ka nalowale o ka ikaika a i ʻole ka lohi hoʻoili i hoʻokumu ʻia e ka deformation kumu.
Hoʻokele ʻia e ke koi no ka pololei nanoscale, hiki i nā motika linear ke hoʻokō i ka mana hoʻoneʻe sub-micron-level. ʻO nā ʻano hana kiʻekiʻe o nā kumu granite (me nā hewa flatness i kāohi ʻia i loko o ± 1μm) e kūlike loa me ka mana pololei o nā motika linear, e hōʻoia pū ana i ka hewa kūlana i ka wā o ka hoʻoili wafer ma lalo o ± 5μm. Inā he shuttling wikiwiki ma waena o nā lako hana like ʻole a i ʻole ke kaʻa pololei no ka wafer handover, ʻo ka hui pū ʻana o nā motika linear a me nā kumu granite hiki ke hōʻoia i ka "zero deviation a me ka zero jitter" i ka hoʻoili wafer.
Ka hōʻoia ʻana o ka hana ʻoihana: Hoʻomaikaʻi pālua i ka pono a me ka helu hua
Ma hope o ka hoʻonui ʻana i kāna ʻōnaehana hoʻoili wafer, ua lawe kahi ʻoihana semiconductor honua alakaʻi i kahi hopena kumu motika linear + granite, kahi i hoʻonui ai i ka pono o ka hoʻoili wafer ma 40%, hoʻemi i ka helu hanana o nā hewa e like me ke kuʻi ʻana a me ka offset i ka wā o ke kaʻina hoʻoili ma 85%, a hoʻomaikaʻi i ka helu hua holoʻokoʻa o nā ʻāpana ma 6%. Ma hope o ka ʻikepili e waiho ana ka hōʻoia o ka paʻa o ka hoʻoili ʻana i hāʻawi ʻia e ke kumu granite a me ka hopena synergy wikiwiki a pololei o ka motika linear, kahi e hoʻemi nui ai i ka pohō a me ka hewa i ke kaʻina hoʻoili wafer.
Mai nā waiwai o nā mea a hiki i ka hana pololei ʻana, mai nā pono hana a hiki i ka hōʻoia pono, ua wehewehe hou ka hui pū ʻana o nā motika linear a me nā kumu granite i nā kūlana o nā ʻōnaehana hoʻoili wafer. I ka wā e hiki mai ana, ke holomua ka ʻenehana semiconductor i nā kaʻina hana 3nm a me 2nm, e hoʻomau nā mea granite i ka hoʻokomo ʻana i ka ikaika ikaika i ka hoʻomohala ʻana o ka ʻoihana me ko lākou mau pono hiki ʻole ke hoʻololi ʻia.