Ka Mana Neʻe Kūpono: Ke Hoʻohālikelike nei i nā Pae Hāpai Ea a me nā ʻōnaehana Granite ma ka Metrology Optical

ʻO ka ʻimi mau ʻana i ka pololei o ka pae nanometer i ka hana semiconductor a me ka nānā ʻana o ka optical nui ua kau i nā koi i manaʻo ʻole ʻia ma nā ʻōnaehana kaohi neʻe. Kū pinepine nā ʻenekinia i kahi koho hoʻolālā koʻikoʻi: ka nani frictionless o nā pae ea a i ʻole ka hilinaʻi paʻa, ka hoʻemi haʻalulu o nā pae mechanical i hoʻokumu ʻia i ka granite. Ma ZHHIMG Group, ʻike mākou ʻo ka hopena kūpono loa e waiho pinepine ana ma ke kihi o ka ʻepekema mea a me ka dynamics wai.

ʻO ke kūkākūkā koʻikoʻi: Nā Pae Hāpai Ea vs Nā Pae Granite

I mea e maopopo ai ke ʻano o ka ʻokoʻa, pono e nānā i ke ʻano o ka hoʻopili ʻana. Hoʻohana pinepine nā pae granite kuʻuna i nā bearings mechanical kiʻekiʻe - e like me ke cross-roller a i ʻole nā ​​​​​​paheʻe pōpō - i hoʻohui pololei ʻia ma luna o kahikumu granite. Ua mahalo ʻia kēia mau ʻōnaehana no ko lākou hiki ke hoʻouka kiʻekiʻe a me ka paʻakikī kūikawā. ʻO nā waiwai damping kūlohelohe o ka granite e hōʻoia i ka hoʻopau koke ʻia ʻana o kekahi haʻalulu koena mai ka motika a i ʻole ke kaiapuni, e lilo ana lākou i mea nui i ka metrology hana kaumaha.

I ka hoʻohālikelike ʻana, hōʻike nā pae ea i ka piko o ka laumania. Ma ke kākoʻo ʻana i ke kaʻa e neʻe ana ma luna o kahi ʻili lahilahi o ka ea i hoʻopaʻa ʻia—ʻo ka maʻamau he mau microns wale nō ka mānoanoa—hoʻopau kēia mau pae i ka pili kino. ʻO kēia nele o ka friction e unuhi ʻia i ka ʻole o ke kuʻi a me ka ʻole o ka ʻaʻahu, e ʻae ana i ka wikiwiki mau loa e pono ai i nā noi scan. ʻOiai hāʻawi nā bearings ea i ka pololei geometric kiʻekiʻe, pono lākou i kahi lako ea maʻemaʻe a maloʻo a ʻoi aku ka maʻalahi o ka hoʻouka eccentric i hoʻohālikelike ʻia me ko lākou mau hoa mechanical.

Ke kālailai nei i nā ʻano o nā pae Optical no nā noi kūikawā

Pono ke kahua o ka optics i nā ʻano neʻe kūikawā, e alakaʻi ana i ka hoʻomohala ʻana o nā pae optical like ʻole. ʻO ke koho ʻana i ke ʻano kūpono e pili ana i nā kekelē o ke kūʻokoʻa e pono ai a me ke kaiapuni o ka nānā ʻana.

ʻO nā pae optical linear paha ka mea maʻamau, e hoʻohana ana i nā wili kēpau no ka ikaika kiʻekiʻe a i ʻole nā ​​​​motika linear no ka wikiwiki kiʻekiʻe. Ke koi ʻia ka pololei o ka nanometer ma luna o nā huakaʻi lōʻihi, hoʻopili pinepine ʻia nā pae linear ea me nā interferometers laser no ka manaʻo.

He mea nui nā pae optical Rotary no nā ana e pili ana i ke kihi, e like me ka goniometry a i ʻole ka nānā ʻana i ke kikowaena o nā mea lens. He mea maikaʻi loa nā pae rotary e hali ana i ka ea ma ʻaneʻi, no ka mea, hōʻike lākou i ka holo axial a me ka radial kokoke i ka zero, e hōʻoiaʻiʻo ana e noho pololei ana ke axis optical i ka wā o ka hoʻohuli ʻana.

Hoʻohana pinepine ʻia nā ʻōnaehana multi-axis, e like me XY a i ʻole XYZ stacks, i ka nānā ʻana i ka wafer automated. Ma kēia mau hoʻonohonoho ʻana, ʻaʻole hiki ke kūkākūkā ʻia ke koho ʻana o kahi kumu granite. Hāʻawi ka granite i ka nuipa e pono ai a me ka inertia thermal e pale aku ai i ka neʻe ʻana o kekahi axis mai ka hoʻopilikia ʻana i ka pololei o kekahi.

ʻO ka Synergy o Granite a me Air Bearings

He kuhi hewa maʻamau ia he mau pae e halihali ana i ka ea a menā kahua graniteua kūʻokoʻa kekahi i kekahi. ʻO ka ʻoiaʻiʻo, ʻo nā ʻōnaehana neʻe holomua loa he hybrid o nā mea ʻelua. Hoʻohana pinepine nā pae ea kiʻekiʻe i ka granite ma ke ʻano he alakaʻi. Aia ke kumu i ka hiki o ka granite ke hoʻopili ʻia i ka palahalaha sub-micron ma luna o nā wahi nui - kahi hana paʻakikī ke hoʻokō me ka alumini a i ʻole ke kila.

Ma muli o ke ʻano o nā bearings ea e "awelike" ana i nā ʻano ʻē o ka ʻili o ke alakaʻi, ʻo ka pālahalaha loa o kahi kukuna granite i hana ʻia e ZHHIMG e ʻae i ka ʻili ea e noho mau i ka holoʻokoʻa o ka huakaʻi holoʻokoʻa. ʻO kēia synergy ka hopena i nā ʻōnaehana neʻe e hāʻawi i ka maikaʻi loa o nā ao ʻelua: ka neʻe ʻana o ka ea me ka ʻole o ka friction a me ke kūpaʻa paʻa o ka granite.

Metrology ʻOihana

Nā Manaʻo no ka Mālama ʻana a me ke Kaiapuni

Pono ka hoʻokele ʻana i kēia mau ʻōnaehana i ka kaohi koʻikoʻi o ke kaiapuni. He paʻa loa nā pae granite mechanical akā pono ka lubrication manawa a me ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i nā ala bearing e pale aku i ka hōʻiliʻili ʻana o nā ʻōpala. ʻOiai ʻaʻohe mālama ma ke ʻano o ka lubrication, hilinaʻi nā ʻōnaehana bearing ea i ka maikaʻi o ka lako pneumatic. Hiki i kekahi makū a i ʻole ka ʻaila i loko o ka laina ea ke alakaʻi i ka "orifice plugging," hiki ke hoʻopilikia i ka ʻili ea a hoʻoulu i ka hoʻopili ʻana o ka ʻili.

Eia kekahi, he mea nui ka hoʻokele wela. Loaʻa i nā ʻōnaehana ʻelua ka pōmaikaʻi mai ka nui o ka wela o ka granite, kahi e hana ai ma ke ʻano he poho wela no nā motika linear. Eia nō naʻe, i nā noi nanometer-scale, ʻoiai ka loli hoʻokahi kekelē Celsius hiki ke hoʻonui nui. Hoʻohana pinepine nā keʻena hoʻokolohua ʻoihana i nā pā granite kūikawā e mālama i kahi micro-climate paʻa a puni ke kahua.

Hopena: Ke koho ʻana i ke kahua kūpono no kāu hana hou

Inā paha e koi ana kāu noi i ka hiki ke lawe i ke kaumaha kiʻekiʻe o kahi kahua granite mechanical a i ʻole ka kaohi wikiwiki ultra-smooth o kahi ʻōnaehana ea, ʻo ke kahua ka mea koʻikoʻi loa. Ma ZHHIMG, ʻaʻole mākou e hāʻawi wale i nā kahua; hāʻawi mākou i ka ʻoiaʻiʻo geological a me ka mechanical e pono ai no kāu mau papahana nui loa. I ka neʻe ʻana o nā ʻoihana semiconductor a me optical i nā hoʻomanawanui paʻa, ʻo kā mākou kūpaʻa i ka maikaʻi o nā mea a me ka ʻenekinia pololei e hōʻoiaʻiʻo ana ʻaʻole loa kāu ʻōnaehana kaohi neʻe e lilo i mea palena i kāu noiʻi a hana paha.


Ka manawa hoʻouna: Ian-22-2026