1. Pololei o ke ana
Palahalaha: pono e hōʻea ke ʻano palahalaha o ka ʻili o ke kumu i kahi kūlana kiʻekiʻe loa, a ʻaʻole pono e ʻoi aku ka hewa palahalaha ma mua o ± 0.5μm ma kekahi wahi 100mm × 100mm; No ka mokulele kumu holoʻokoʻa, ua kāohi ʻia ka hewa palahalaha i loko o ± 1μm. Hōʻoia kēia e hiki ke hoʻokomo paʻa ʻia a hoʻohana ʻia nā ʻāpana koʻikoʻi o nā lako semiconductor, e like me ke poʻo hōʻike o nā lako lithography a me ka papa probe o nā lako ʻike chip, ma kahi mokulele kiʻekiʻe, e hōʻoia i ka pololei o ke ala optical a me ka pilina kaapuni o nā lako, a pale i ka neʻe ʻana o nā ʻāpana i hoʻokumu ʻia e ka mokulele ʻokoʻa o ke kumu, kahi e hoʻopilikia ai i ka hana ʻana o nā chip semiconductor a me ka pololei o ka ʻike ʻana.
Pololei: He mea koʻikoʻi ke pololei o kēlā me kēia lihi o ke kumu. Ma ke kuhikuhi o ka lōʻihi, ʻaʻole e ʻoi aku ka hewa o ke pololei ma mua o ±1μm no 1m; Hoʻomalu ʻia ka hewa o ke pololei diagonal i loko o ±1.5μm. Ma ka lawe ʻana i ka mīkini lithography kiʻekiʻe-pololei ma ke ʻano he laʻana, ke neʻe ka papa ma ke ala alakaʻi o ke kumu, pili pololei ka pololei o ka lihi o ke kumu i ka pololei o ke ala o ka papa. Inā ʻaʻole kūlike ke pololei me ke kūlana maʻamau, e hoʻopilikia ʻia ke ʻano o ka lithography a e hoʻololi ʻia, e hopena ana i ka emi ʻana o ka hua hana chip.
Parallelism: Pono e kāohi ʻia ka hewa parallelism o nā ʻili luna a me lalo o ke kumu i loko o ± 1μm. Hiki i ka parallelism maikaʻi ke hōʻoia i ke kūpaʻa o ke kikowaena holoʻokoʻa o ka umekaumaha ma hope o ke kau ʻana o nā lako, a like ka ikaika o kēlā me kēia ʻāpana. I nā lako hana wafer semiconductor, inā ʻaʻole like nā ʻili luna a me lalo o ke kumu, e hili ka wafer i ka wā o ka hana ʻana, e hoʻopilikia ana i ke ʻano like o ke kaʻina hana e like me ke kālai ʻana a me ka uhi ʻana, a pēlā e hoʻopilikia ai i ke kūlike o ka hana chip.
ʻO ka lua, nā ʻano mea
Paʻakikī: Pono ka paʻakikī o ka mea kumu granite e hōʻea i ka paʻakikī Shore HS70 a i ʻole ma luna. Hiki i ka paʻakikī kiʻekiʻe ke pale pono i ka ʻaʻahu i hoʻokumu ʻia e ka neʻe pinepine ʻana a me ka friction o nā ʻāpana i ka wā o ka hana ʻana o nā lako, e hōʻoia ana e hiki i ke kumu ke mālama i kahi nui pololei kiʻekiʻe ma hope o ka hoʻohana lōʻihi. I loko o nā lako hoʻopili chip, hopu pinepine ka lima robot a kau i ka chip ma ke kumu, a ʻo ka paʻakikī kiʻekiʻe o ke kumu hiki ke hōʻoia i ka maʻalahi o ka ʻili e hana i nā ʻōpala a mālama i ka pololei o ka neʻe ʻana o ka lima robot.
ʻO ka nui o ka mea: Pono ka nui o ka mea ma waena o 2.6-3.1 g/cm³. ʻO ka nui kūpono e hōʻoia i ke kūpaʻa maikaʻi o ke kumu, hiki ke hōʻoia i ka paʻa pono e kākoʻo i nā lako, a ʻaʻole e lawe mai i nā pilikia i ke kau ʻana a me ka lawe ʻana i nā lako ma muli o ke kaumaha nui. I nā lako nānā semiconductor nui, kōkua ka nui o ke kumu paʻa i ka hōʻemi ʻana i ka hoʻoili haʻalulu i ka wā o ka hana ʻana o nā lako a hoʻomaikaʻi i ka pololei o ka ʻike ʻana.
Paʻa wela: ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka coefficient hoʻonui linear ma mua o 5 × 10⁻⁶/℃. He ʻike nui nā lako semiconductor i nā loli o ka mahana, a pili pono ke kūpaʻa wela o ke kumu i ka pololei o nā lako. I ka wā o ke kaʻina hana lithography, hiki i nā loli o ka mahana ke hana i ka hoʻonui a i ʻole ka ʻūlū ʻana o ke kumu, e hopena ana i kahi ʻokoʻa i ka nui o ke ʻano hōʻike. Hiki i ke kumu granite me ka coefficient hoʻonui linear haʻahaʻa ke kāohi i ka loli o ka nui ma kahi pae liʻiliʻi loa ke loli ka mahana hana o nā lako (ma ke ʻano maʻamau 20-30 ° C) e hōʻoia i ka pololei o ka lithography.
ʻO ke kolu, ka maikaʻi o ka ʻili
ʻOʻoleʻa: ʻAʻole ʻoi aku ka waiwai o ka ʻili ʻo Ra ma ke kumu ma mua o 0.05μm. Hiki i ka ʻili laumania loa ke hōʻemi i ka adsorption o ka lepo a me nā mea haumia a hōʻemi i ka hopena i ka maʻemaʻe o ke kaiapuni hana ʻāpana semiconductor. I loko o ka hale hana ʻole lepo o ka hana ʻāpana, hiki i nā ʻāpana liʻiliʻi ke alakaʻi i nā hemahema e like me ka pōkole o ka ʻāpana, a kōkua ka ʻili laumania o ke kumu i ka mālama ʻana i kahi kaiapuni maʻemaʻe o ka hale hana a hoʻomaikaʻi i ka hua ʻāpana.
Nā kīnā microscopic: ʻAʻole ʻae ʻia ka ʻili o ke kumu e loaʻa nā māwae ʻike ʻia, nā lua one, nā pores a me nā kīnā ʻē aʻe. Ma ka pae microscopic, ʻaʻole e ʻoi aku ka nui o nā kīnā me ke anawaena ʻoi aku ma mua o 1μm no kenimika kuea ma mua o 3 e ka microscopy electron. E hoʻopilikia kēia mau kīnā i ka ikaika o ke kūkulu ʻana a me ka pālahalaha o ka ʻili o ke kumu, a laila e hoʻopilikia i ke kūpaʻa a me ka pololei o nā lako.
ʻEhā, kūpaʻa a me ke kū'ē ʻana i ka haʻalulu
Paʻa ikaika: I loko o ke kaiapuni haʻalulu i hoʻohālikelike ʻia i hana ʻia e ka hana o nā lako semiconductor (alapine haʻalulu 10-1000Hz, amplitude 0.01-0.1mm), pono e hoʻomalu ʻia ka neʻe ʻana o ka haʻalulu o nā kiko hoʻopaʻa koʻikoʻi ma ke kumu i loko o ±0.05μm. Ke lawe nei i nā lako hoʻāʻo semiconductor ma ke ʻano he laʻana, inā hoʻouna ʻia ka haʻalulu ponoʻī o ka hāmeʻa a me ka haʻalulu o ke kaiapuni a puni i ke kumu i ka wā o ka hana, hiki ke hoʻopilikia ʻia ka pololei o ka hōʻailona hoʻāʻo. Hiki i ke kūpaʻa ikaika maikaʻi ke hōʻoia i nā hopena hoʻāʻo hilinaʻi.
Ke kū'ē ʻana i ka ōlaʻi: Pono ke kumu i ka hana ōlaʻi maikaʻi loa, a hiki ke hoʻēmi koke i ka ikehu haʻalulu ke kau ʻia i ka haʻalulu waho koke (e like me ka haʻalulu hoʻohālike nalu seismic), a hōʻoia i ka loli ʻana o ke kūlana pili o nā ʻāpana koʻikoʻi o nā lako i loko o ± 0.1μm. I loko o nā hale hana semiconductor ma nā wahi i maʻalahi i ka ōlaʻi, hiki i nā kumu kū'ē i ka ōlaʻi ke pale pono i nā lako semiconductor pipiʻi, e hōʻemi ana i ka pilikia o ka hōʻino ʻana o nā lako a me ka hoʻopilikia ʻana i ka hana ma muli o ka haʻalulu.
5. Paʻa kemika
Ke kūpaʻa ʻana i ka pala: Pono ke kumu granite e kū i ka pala o nā mea kemika maʻamau i ke kaʻina hana semiconductor, e like me ka hydrofluoric acid, aqua regia, a pēlā aku. Ma hope o ka hoʻomoʻa ʻana i loko o ka hopena hydrofluoric acid me ka hapa nui o 40% no 24 mau hola, ʻaʻole e ʻoi aku ka nui o ka pohō maikaʻi o ka ʻili ma mua o 0.01%; E hoʻomoʻa i loko o ka aqua regia (lakio nui o ka hydrochloric acid i ka nitric acid 3:1) no 12 mau hola, a ʻaʻohe ʻike maopopo o ka pala ma ka ʻili. Pili ke kaʻina hana semiconductor i nā ʻano hana kemika like ʻole a me ka hoʻomaʻemaʻe ʻana, a ʻo ke kūpaʻa maikaʻi o ke kumu e hiki ai ke hōʻoia i ka hoʻohana lōʻihi ʻana i ke kaiapuni kemika ʻaʻole e hoʻopau ʻia, a mālama ʻia ka pololei a me ke kūpaʻa o ke kūkulu ʻana.
Pale i ka haumia: He haʻahaʻa loa ka omo ʻana o ka mea kumu i nā mea haumia maʻamau i loko o ke kaiapuni hana semiconductor, e like me nā kinoea organik, nā ion metala, a pēlā aku. Ke kau ʻia i loko o kahi kaiapuni e loaʻa ana he 10 PPM o nā kinoea organik (e laʻa, benzene, toluene) a me 1ppm o nā ion metala (e laʻa, nā ion keleawe, nā ion hao) no 72 mau hola, ʻaʻohe mea nui ka loli o ka hana i hoʻokumu ʻia e ka adsorption o nā mea haumia ma ka ʻili o ke kumu. Pale kēia i nā mea haumia mai ka neʻe ʻana mai ka ʻili o ke kumu a i ka wahi hana chip a hoʻopilikia i ka maikaʻi o ka chip.
Ka manawa hoʻouna: Malaki-28-2025