ʻO ka "pale ʻike ʻole ʻia" o ka paepae neʻe ea lana hydrostatic precision: nā koi kaiapuni koʻikoʻi o ke kumu precision granite.

Ma nā kahua o ka hana kiʻekiʻe a me ka noiʻi ʻepekema ʻoi loa, ʻo ke kahua neʻe ea lana kaomi static precision ka lako nui e hoʻokō ai i ka hana ultra-precision. ʻO ke kumu precision granite ka ʻāpana kākoʻo koʻikoʻi o ke kahua, a pili pono kāna hana i ke kaiapuni hana. ʻO ka hoʻomaopopo ʻana a me ka hoʻokō ʻana i kēia mau koi kaiapuni ʻaʻole hiki ke hōʻoia i ka hana kiʻekiʻe o ke kahua, akā he ʻāpana koʻikoʻi hoʻi o ka ʻoihana e hoʻonui i kona hoʻokūkū ma nā kahua pili, e wehewehe kikoʻī ʻia ma lalo nei.

1. Mahana: kaohi pololei e hōʻoia i ke kūpaʻa o ka dimensional
ʻOiai ua ʻike ʻia ka granite no kona kūpaʻa, ʻaʻole ʻole kona coefficient o ka hoʻonui wela, a hiki i nā loli liʻiliʻi o ka mahana ke hoʻopilikia i kona pololei o ka dimensional. Ma ke ʻano laulā, ʻo ke coefficient hoʻonui wela o ka granite he 5-7 ×10⁻⁶/℃. I ke ʻano noi o ka paepae neʻe ea static precision, hoʻonui ʻia kēia hoʻololi iki e ka paepae, kahi e alakaʻi ai i ka ʻokoʻa o ka pololei o ka neʻe ʻana. No ka laʻana, i ke kaʻina hana hana semiconductor chip, ʻo ke kaʻina hana lithography no nā koi pololei o ke kūlana o ka pae danami, ʻo ka loli o ka mahana ambient o 1 ° C, ʻo ka lōʻihi o ka ʻaoʻao o ke kumu granite 1 mika hiki ke hana i 5-7 microns o ka hoʻonui linear a i ʻole ka ʻaelike, ʻo ia ka mea e lawa ai e hana i ka ʻokoʻa o ke ʻano lithography chip, e hōʻemi i ka hua. No laila, ʻo ka paepae ea static precision i hoʻolako ʻia me ke kumu granite precision, pono e hoʻomalu pono ʻia ka mahana hana kūpono ma 20 ° C ±1 ° C, hiki i nā ʻoihana ke hoʻokomo i ka ʻōnaehana ea mahana mau kiʻekiʻe, e nānā mau a hoʻoponopono pololei i ka mahana ambient, e mālama i ka nui o ke kūpaʻa o ke kumu granite, e hōʻoia i ka hana kiʻekiʻe o ka paepae.
2.humidity: kaohi kūpono, pale i ka hana kumu
He hopena koʻikoʻi nō hoʻi ka makū i nā kumu granite kikoʻī. I loko o kahi kaiapuni haʻahaʻa kiʻekiʻe, maʻalahi ka granite e omo i ka mahu wai, a aia paha ka condensation ma luna o ka ʻili, ʻaʻole ia e hoʻopilikia wale i ka hana maʻamau o ka ʻōnaehana lana ea, akā e alakaʻi pū kekahi i ka ʻino lōʻihi o ka ʻili granite, e hōʻemi ana i kona pololei a me ke ola lawelawe. Ke lawe nei i ka hale hana wili lens optical ma ke ʻano he laʻana, inā ʻoi aku ka haʻahaʻa ma mua o 60% RH no ka manawa lōʻihi, ʻo ka mahu wai i hoʻopili ʻia ma luna o ka ʻili o ke kumu granite e hoʻopau i ke ʻano like o ka ʻili lana ea, e hopena ana i ka emi ʻana o ka pololei o ka wili lens a me nā hemahema o ka ʻili. No laila, pono e hoʻomalu ʻia ka haʻahaʻa pili o ke kaiapuni hana ma waena o 40% -60% RH. Hiki i nā ʻoihana ke hoʻohana i nā dehumidifiers, nā mea ʻike haʻahaʻa a me nā lako ʻē aʻe e nānā a kāohi i ka haʻahaʻa i ka manawa maoli, e hana i kahi kaiapuni haʻahaʻa kūpono no ke kumu granite kikoʻī, a e hōʻoia i ka hana paʻa o ka paepae neʻe ea lana static precision.

3. ka hoʻomaʻemaʻe: kaohi pono, hoʻopau i ke komo ʻana o nā ʻāpana
ʻO nā ʻāpana lepo ka "ʻenemi" o ka paepae neʻe ea static precision, a hana i ka pōʻino nui i ke kumu granite precision. Ke komo nā ʻāpana liʻiliʻi i loko o ka hakahaka kiʻiʻoniʻoni kinoea ma waena o ka slider lana kinoea a me ke kumu granite, hiki iā lākou ke hoʻopau i ke ʻano like o ke kiʻiʻoniʻoni kinoea, hoʻonui i ka friction, a hiki ke kahakaha i ka ʻili o ke kumu, e hoʻopilikia nui ana i ka pololei o ka neʻe ʻana o ke kahua. Ma ka hale hana mīkini ultra-precision o nā ʻāpana aerospace, inā hāʻule nā ​​​​ʻāpana lepo i ka lewa ma luna o ke kumu granite, hiki ke hoʻololi ʻia ke ala neʻe o ka mea hana mīkini, e hoʻopilikia ana i ka pololei o ka mīkini ʻana o nā ʻāpana. No laila, pono e mālama ʻia ka wahi hana maʻemaʻe loa a hiki i kahi kūlana maʻemaʻe o 10,000 a ʻoi aku paha. Hiki i nā ʻoihana ke kānana i nā ʻāpana lepo i ka lewa ma ke kau ʻana i nā kānana ea kiʻekiʻe (HEPA), a koi aku i nā limahana e ʻaʻahu i nā lole ʻaʻohe lepo, nā uhi kāmaʻa, a me nā mea ʻē aʻe, e hōʻemi i ka lepo i lawe ʻia mai e nā kānaka, a mālama i ke kaiapuni hana kiʻekiʻe o ke kumu granite a me ka paepae neʻe ea static precision.
4. Haʻalulu: Hoʻokaʻawale kūpono e hana i kahi ākea laumania
E hoʻopilikia nui ka haʻalulu o waho i ka pololei o ka paepae lana ea paʻa pololei, ʻoiai he mana hoʻēmi haʻalulu ko ke kumu granite pololei, akā hiki i ka haʻalulu ikaika kiʻekiʻe ke uhaki i kona palena buffer. Hoʻouna ʻia ka haʻalulu i hana ʻia e ke kaʻa a puni ka hale hana a me ka hana o nā lako mīkini nui i ke kumu granite ma o ka honua, kahi e hoʻopilikia ai i ka pololei o ka neʻe ʻana o ka paepae. I ka CMM kiʻekiʻe, hiki i ka haʻalulu ke hana i ka pilina ma waena o ka probe ana a me ka workpiece e ana ʻia i mea paʻa ʻole, e hopena ana i ka ʻokoʻa o ka ʻikepili ana. I mea e hoʻoponopono ai i kēia pilikia, pono e hoʻohana i nā hana hoʻokaʻawale haʻalulu kūpono, e like me ke kau ʻana i nā pads hoʻokaʻawale haʻalulu ma kahi hoʻokomo lako, ke kūkulu ʻana i ke kahua hoʻokaʻawale haʻalulu, a i ʻole ka hoʻohana ʻana i ka ʻōnaehana hoʻokaʻawale haʻalulu ikaika e hoʻopau ikaika i ka haʻalulu o waho, a hana i kahi ʻano hana mālie a paʻa no ke kumu pololei granite a me ka paepae neʻe ea paʻa pololei.
E hoʻokō i nā koi kaiapuni i luna, i mea e hāʻawi piha ai i ka pāʻani i nā pono o ke kumu kikoʻī granite i loko o ka paepae neʻe ea lana kaomi static pololei, e hōʻoia i ka hāʻawi ʻana o ka paepae i nā lawelawe kaohi neʻe kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa kiʻekiʻe no nā ʻoihana like ʻole. Inā hiki i nā ʻoihana ke hoʻolohe i kēia mau kikoʻī i ke kaiapuni hana, e hopu lākou i ka manawa kūpono i ka hana kikoʻī, ka noiʻi ʻepekema a me nā ʻoihana ʻē aʻe, e hoʻonui i ko lākou hoʻokūkū, a hoʻokō i ka hoʻomohala hoʻomau.