,
Ma ke kahua o ka hana semiconductor, ʻo ka pololei o nā lako nānā wafer e hoʻoholo pololei i ka maikaʻi a me ka hua o nā ʻāpana. Ma ke ʻano he kahua e kākoʻo ana i nā ʻāpana ʻike koʻikoʻi, ʻo ke kūpaʻa dimensional o ka mea kumu lako e pāʻani i kahi kuleana koʻikoʻi i ka hana hana lōʻihi o nā lako. ʻO ka Granite a me ka hao i hoʻolei ʻia ʻelua mau mea kumu i hoʻohana pinepine ʻia no nā lako nānā wafer. Ua hōʻike ʻia kahi noiʻi hoʻohālikelike 10 makahiki i nā ʻokoʻa koʻikoʻi ma waena o lākou ma ke ʻano o ke kūpaʻa dimensional, e hāʻawi ana i nā kuhikuhi koʻikoʻi no ke koho ʻana i nā lako.
Ka Hoʻolālā a me ke Kumu Hoʻokolohua
He kiʻekiʻe loa nā koi o ke kaʻina hana o nā wafers semiconductor no ka pololei o ka ʻike ʻana. ʻOiai kahi ʻokoʻa dimensional pae micrometer hiki ke alakaʻi i ka emi ʻana o ka hana chip a i ʻole ka ʻōpala ʻana. No ka ʻimi ʻana i ke kūpaʻa dimensional o ka granite a me ka hao i hoʻolei ʻia i ka wā lōʻihi, ua hoʻolālā ka hui noiʻi i nā hoʻokolohua e hoʻohālike i nā wahi hana maoli. Ua koho ʻia nā laʻana Granite a me ka hao i hoʻolei ʻia o ka kikoʻī like a waiho ʻia i loko o kahi keʻena kaiapuni kahi i loli ai ka mahana mai 15 ℃ a i 35 ℃ a ua loli ka haʻahaʻa mai 30% a i 70% RH. Ua hoʻohālike ʻia ka haʻalulu mechanical i ka wā o ka hana o nā lako ma o kahi papa haʻalulu. Ua ana ʻia nā ana koʻikoʻi o nā laʻana i kēlā me kēia hapaha me ka hoʻohana ʻana i kahi interferometer laser kiʻekiʻe, a ua hoʻopaʻa mau ʻia ka ʻikepili no 10 mau makahiki.
Ka hopena hoʻokolohua: ʻO ka pono piha o ka granite
Hōʻike nā ʻikepili hoʻokolohua he ʻumi makahiki e hōʻike ana he kūpaʻa kupaianaha ka substrate granite. He haʻahaʻa loa kona coefficient o ka hoʻonui wela, ʻo ka awelika he 4.6 × 10⁻⁶/℃ wale nō. Ma lalo o nā loli wela nui, hoʻomalu mau ʻia ka ʻokoʻa dimensional i loko o ± 0.001mm. I ke alo o nā loli haʻahaʻa, ʻo ke ʻano mānoanoa o ka granite e aneane ʻaʻole i hoʻopilikia ʻia, a ʻaʻohe loli dimensional hiki ke ana ʻia. I loko o kahi kaiapuni haʻalulu mechanical, ʻo nā ʻano damping maikaʻi loa o ka granite e hoʻopili pono i ka ikehu haʻalulu, a he liʻiliʻi loa ka fluctuation dimensional.
I ka hoʻohālikelike ʻana, no ka substrate hao i hoʻolei ʻia, ʻo kona coefficient awelika o ka hoʻonui wela e hiki i ka 11 × 10⁻⁶/℃ - 13 × 10⁻⁶/℃, a ʻo ka ʻokoʻa dimensional kiʻekiʻe loa i hoʻokumu ʻia e nā loli mahana i loko o 10 mau makahiki he ± 0.05mm. I loko o kahi kaiapuni haumī, ua maʻalahi ka hao i hoʻolei ʻia i ka popo a me ka pala. Hōʻike kekahi mau laʻana i ka deformation kūloko, a piʻi hou ka ʻokoʻa dimensional. Ma lalo o ka hana o ka haʻalulu mechanical, ʻaʻole maikaʻi ka hana damping haʻalulu o ka hao i hoʻolei ʻia a loli pinepine kona nui, e paʻakikī ai ke hoʻokō i nā koi kikoʻī kiʻekiʻe o ka nānā ʻana o ka wafer.
ʻO ke kumu nui no ka ʻokoʻa o ke kūpaʻa
Ua hoʻokumu ʻia ʻo Granite ma luna o nā haneli miliona mau makahiki ma o nā kaʻina hana geological. He ʻano paʻa a like kona ʻano kūloko, a ua hoʻonohonoho paʻa ʻia nā kristal mineral, e hoʻopau ana i ke kaumaha kūloko ma ke ʻano. ʻO kēia ka mea e hoʻolilo ai iā ia i mea paʻakikī loa i nā loli o nā mea o waho e like me ka mahana, ka makū a me ka haʻalulu. Hana ʻia ka hao i hoʻolei ʻia ma ke kaʻina hana hoʻolei a he mau kīnā microscopic e like me nā pores a me nā lua one i loko. I kēia manawa, ʻo ke kaumaha i koe i hana ʻia i ka wā o ke kaʻina hana hoʻolei he mea maʻalahi ia e hoʻololi i nā dimensional ma lalo o ka hoʻoulu ʻana o ke kaiapuni o waho. ʻO nā waiwai metala o ka hao i hoʻolei ʻia e maʻalahi ia i ka popo ma muli o ka makū, e hoʻolalelale ana i ka hōʻino ʻana o ke ʻano a me ka hōʻemi ʻana i ke kūpaʻa dimensional.
Ka hopena ma nā lako nānā wafer
ʻO nā lako nānā wafer e pili ana i ka substrate granite, me kāna hana paʻa dimensional, hiki ke hōʻoia i ka mālama ʻana o ka ʻōnaehana nānā i ka pololei kiʻekiʻe no ka manawa lōʻihi, e hōʻemi i ka hoʻoholo hewa a me ka ʻike ʻole ʻia i hoʻokumu ʻia e ka pololei o nā lako, a hoʻomaikaʻi nui i ka hua huahana. I kēia manawa, ʻo nā koi mālama haʻahaʻa e hōʻemi ana i ke kumukūʻai ola piha o nā lako. ʻO nā lako e hoʻohana ana i nā substrates hao i hoʻolei ʻia, ma muli o ka paʻa ʻole o ka dimensional, pono ka calibration pinepine a me ka mālama ʻana. ʻAʻole wale kēia e hoʻonui i nā kumukūʻai hana akā hiki ke hoʻopilikia i ka maikaʻi o ka hana semiconductor ma muli o ka lawa ʻole o ka pololei, e hana ana i nā pohō waiwai.
Ma lalo o ke ʻano o ka ʻimi ʻana o ka ʻoihana semiconductor i ka pololei kiʻekiʻe a me ka maikaʻi ʻoi aku ka maikaʻi, ʻo ke koho ʻana i ka granite ma ke ʻano he mea kumu no nā lako nānā wafer he neʻe naʻauao ia e hōʻoia i ka hana o nā lako a hoʻonui i ka hoʻokūkū o nā ʻoihana.
Ka manawa hoʻouna: Mei-14-2025