Ke hoʻokele nei ka ʻoihana semiconductor honua i kahi au o ka pololei i ʻike ʻole ʻia. I ka emi ʻana o nā nui o nā hiʻohiʻona ma nā wafers silicon i nā kikowaena 2nm a me 1nm, ua nalowale loa ka palena no ka hewa i ka metrology a me ka nānā ʻana. I loko o kēia kaiapuni kiʻekiʻe, ʻoiai nā ʻōnaehana optical a me nā electron-beam holomua loa e like me ka hilinaʻi e like me nā kahua a lākou e noho ai. Ua hoʻāla kēia ʻoiaʻiʻo i kahi neʻe nui o ka ʻoihana holoʻokoʻa: ʻo ka hilinaʻi nui ʻana ma lunagranite non-magnetic no ka nānā ʻana i ka waferma ke ʻano he mea kumu no nā wahi hoʻāʻo throughput kiʻekiʻe.
No nā makahiki he ʻumi, ʻo ka granite kūlohelohe ke "kūlana gula" no ka ʻenekinia pololei ma muli o kona damping haʻalulu kūikawā a me ke coefficient haʻahaʻa o ka hoʻonui wela. Eia nō naʻe, i loko o ke ʻano o ka nānā ʻana o ka wafer hou, ʻaʻole like nā granite āpau. ʻO ke alo o nā hoʻokomo metala a i ʻole nā minelala magnetic i loko o ka pōhaku maʻamau hiki ke hana i ka hoʻopilikia ʻana o ke kahua magnetic kūloko. No nā ʻōnaehana e hoʻohana ana i nā kukuna electron a i ʻole nā mea ʻike magnetic koʻikoʻi, he mea weliweli kēlā ʻano hoʻopilikia, e alakaʻi ana i ka deflection beam a me nā hewa ana e hoʻopilikia ai i ke kaʻina hana kaohi maikaʻi holoʻokoʻa.
Ua hoʻolilo ʻo ZHHIMG i nā makahiki he nui i ka hoʻomaʻamaʻa ʻana i ke kaʻina koho e loaʻa ai nā ʻano geological me ka susceptibility magnetic haʻahaʻa loa. Ma ka hāʻawi ʻana i kahi ʻoiaʻiʻogranite non-magnetic no ka nānā ʻana i ka wafer, hiki iā mākou ke hoʻokuke i nā palena o ka hoʻonā me ka ʻole o ka "walaʻau" phantom e hoʻopilikia nei i nā mea liʻiliʻi. ʻO kēia ʻano loea ka mea e hoʻokaʻawale ai i kahi mea hana nānā maʻamau mai kahi suite metrology papa honua i hiki ke hoʻomau i ka hana hou ʻana ma lalo o ka nanometer.
ʻO ke kūlike me nā koi magnetic ʻo ia ke koi kūpaʻa ʻole no ka maʻemaʻe o ke kaiapuni. I loko o kahi Fab hou, pono ka paepae e hana i nā mea hou aʻe ma mua o ka noho mālie; pono ia e noho "ʻike ʻole ʻia" e ke kaiapuni. ʻO kēia kahi e manaʻo ai ka manaʻo o kahikahua granite kūpono no ka lumi maʻemaʻelilo i mea nui. Hoʻopau pinepine nā mea ʻoihana kuʻuna i nā wahi hakahaka a i ʻole nā wahi maʻemaʻe kiʻekiʻe ma muli o ka outgassing—ka hoʻokuʻu ʻana o nā kinoea i hoʻopaʻa ʻia a i ʻole nā hui organik volatile e hiki ke hoʻohaumia i nā optics a noho paha ma luna o ka ʻili wafer, e hana ana i nā "killer defects" weliweli.
Manaʻo ka ʻike loea ʻenekinia ZHHIMG i ka ʻili granite ma ke ʻano he ʻāpana hana kiʻekiʻe ma mua o kahi poloka pōhaku paʻa. Hōʻoia kā mākou hana kūikawā i kēlā me kēiakahua granite kūpono no ka lumi maʻemaʻeke hele nei i kahi kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe a me ka sila ʻana i hoʻolālā ʻia e hoʻopau i ka hoʻokahe ʻana o nā micro-particulate. He mea koʻikoʻi kēia pae o ka pono o nā mea no nā mea hana lithography a me nā mea nānā e hana ana ma nā lumi maʻemaʻe Class 1 a i ʻole ISO 3, kahi hiki i kahi ʻāpana hele hewa hoʻokahi ke hopena i nā tausani kālā i ka nalowale o ka hua.
Ma waho aʻe o nā waiwai kino o ka pōhaku ponoʻī, ʻo ka hoʻohui ʻana o ka granite i loko o ka hoʻolālā mīkini ākea e pono ai ka ʻike hohonu o nā dinamika kūkulu. ʻAʻole e ʻimi hou ana nā OEM semiconductor ʻEulopa a me ʻAmelika i nā mea hoʻolako maʻalahi; ke ʻimi nei lākou i nā hoa hana like e hoʻomaopopo i nā pilikia thermal a me nā mechanical o ka lawelawe wafer wikiwiki 24/7. ʻO ka ʻike loea o ZHHIMG i ka lapping pololei a me nā hoʻokomo maʻamau e ʻae i ka hoʻohui maʻalahi o nā pae ea a me nā motika linear ma luna o ke kumu granite, e hana ana i kahi ʻōnaehana hoʻokahi e hoʻemi ana i nā hewa stack-up.
I ko mākou nānā ʻana i ka wā e hiki mai ana o ka ʻoihana, e ulu nui ana ke kuleana o ke kahua kūkulu. Me ka hiki ʻana mai o ka High-NA EUV lithography a me ka 3D NAND scaling, ka nuipa a me ke kūpaʻa o kagranite non-magnetic no ka nānā ʻana i ka waferPono e ulu nā kahua e lawelawe i nā wikiwiki kiʻekiʻe a me nā ukana wela paʻakikī. Aia ʻo ZHHIMG ma ke alo o kēia ulu ʻana, e hoʻopukapuka ana i nā mea hana metrology holomua e hōʻoia i ka palahalaha a me ka parallelism i nā hoʻomanawanui i manaʻo ʻia he hiki ʻole i hoʻokahi makahiki i hala.
ʻO ke kūpaʻa i ka maikaʻi ma ZHHIMG ua hoʻokele ʻia e ka ʻike ʻana i loko o ka honua semiconductor, ʻo ke kūpaʻa ke kumu o ka hana hou. He hana kiʻekiʻekahua granite kūpono no ka lumi maʻemaʻeʻoi aku ma mua o ke kūʻai ʻana; he hoʻopukapuka kālā ia i ka hilinaʻi lōʻihi o ka laina hana. Ma ka hoʻopau ʻana i ka hoʻopilikia magnetic a me ka haumia o nā ʻāpana ma ke kumu, hāʻawi ʻo ZHHIMG i kahi mālie, maʻemaʻe, a paʻa hoʻi e pono ai nā ʻāpana o ka lā ʻapōpō.
No nā hui e hoʻoikaika nei e hoʻonui i kā lākou throughput nānā a hoʻemi i ke kumukūʻai holoʻokoʻa o ka loaʻa ʻana o kā lākou waiwai metrology, ʻo ke koho ʻana o ka mea kumu ka hoʻoholo koʻikoʻi loa i ka pae hoʻolālā. Ke hoʻomau nei ʻo ZHHIMG i ke kākoʻo ʻana i nā alakaʻi honua ma ka hāʻawi ʻana i nā ʻāpana pōhaku e hoʻokō i nā kūlana honua koʻikoʻi loa no ka maʻemaʻe a me ka pololei.
I loko o kahi honua i wehewehe ʻia e ka microscopic, ʻo ke kūpaʻa nui o ka granite ZHHIMG ke kiaʻi mālie o ka au kikohoʻe. Ke kono nei mākou i nā ʻenekinia hana a me nā mea hoʻolālā lako e ʻimi pehea e hiki ai i kā mākou ʻepekema mea kūikawā ke wehewehe hou i nā palena o nā mea hiki i kā lākou ʻōnaehana nānā ke hoʻokō.
Ka manawa hoʻouna: Malaki-05-2026